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1 CONCOURS EXTERNES IT 2015 EPREUVE TECHNIQUE D ADMISSION Durée : 2 heures Coefficient : 2 CONCOURS N 137 Corps : Assistants Ingénieurs BAP : B : Sciences chimiques et sciences des matériaux Emploi-type : Assistant en élaboration de matériaux en couches minces Délégation organisatrice : Ile de France Ouest et Nord, Meudon REMARQUES IMPORTANTES - Documents, calculatrices et téléphone portable non autorisés durant l épreuve. - Il sera tenu compte dans la notation de l écriture, de l orthographe, de la qualité de l expression écrite et de la clarté de la présentation des réponses. Page introductive à lire attentivement par le candidat

2 Concours externe IT 2015 Concours n 137 I) Connaissances générales (8 points) I.1) Rédaction d une lettre de réclamation en français Vous venez de réceptionner un équipement de métrologie dont les performances ne sont pas conformes au cahier des charges. Rédigez une lettre d une dizaine de lignes maximum au fournisseur pour lui signaler vos doléances. I.2) Traduction en français du texte suivant X-ray photoemission spectroscopy (XPS) gives information on elements and theirs chemical bonds, allowing the identification of the different chemical compounds bearing the material surface. For example, with XPS spectroscopy, one may distinguish if fluoride is present in an ionic or covalent state or, for many metallic elements, if they are oxidized or reduced. This technique allows the characterization of the first atomic layers, although it is possible to study the deeper layers by using the ionic sputtering too. The atomic sensitivity is about 0.1% excepted with H and He, undetectable elements. XPS can be used to analyze all solid samples, including insulators like glasses and polymers. It is a non-damaging technique and, therefore, it does not alter the chemical and physical properties of the sample during the measurements. The main characteristics of XPS are determination of chemical bond and its concentration, elemental and chemical depth profile. The XPS is based on the photoelectric effect. In such a process, an incident photon with a well defined energy hν is absorbed by the sample. If the photon energy is high enough, the excited electron could escape from the surface with a kinetic energy given by KE = hν - BE - Φs where BE is the binding energy of ejected electron in the atom and Φs is the work function of the solid. The kinetic energy of the photoelectrons depends strongly on the excited atoms and therefore gives elemental information. Moreover, the energy position and the peak lineshape identify the chemical state of the surface atoms and, analyzing their small variations, it is possible to characterize the compound. In conclusion, the XPS technique allows us to determine the different atomic species (elemental analysis), the atomic concentration and the chemical state of the sample. 1

3 II) Connaissances techniques (28 points) II.1) Physique et chimie a) Classer par ordre décroissant la conductivité électrique à température ambiante de ces différents matériaux : acier, PVC, silicium, alumine. b) Donner le nom des trois états classiques associés aux températures avec T1<T2<T3 et préciser le nom des six changements d état associés. T2 T3 T1 II.2) Techniques du vide Vous devez réaliser des dépôts de couches minces sur un substrat de silicium grâce à un dispositif comprenant une chambre dépôt avec un sas d introduction. La chambre est sous un vide de torr et le sas d introduction des échantillons de torr. a) Décrivez brièvement les dispositifs que vous pourriez envisager pour une mesure de température d un substrat chauffé dans cette enceinte à vide? b) Indiquer dans le tableau suivant les gammes de pressions, les pompes et les capteurs de pression associés aux vides primaire, secondaire et ultravide. vide primaire secondaire ultravide Gamme pression en torr ou Pa 2 Types de pompe Types de capteurs de pression associés c) Pour une des pompes citées dans la question précédente, décrivez brièvement la maintenance à réaliser. II.2) Techniques de dépôt a) Citez deux procédés de dépôts sous vide de couches minces d épaisseur inférieure au micromètre. En quelques phrases, expliquez leur principe physique. b) Proposez et décrivez une technique in-situ de mesure d épaisseur de films déposés sous vide et une technique ex-situ de mesure de rugosité de surface. 2

4 II.3) Environnement technique a) Dans quelle situation, a-t-on besoin de placer des équipements dans une salle blanche? b) Citez deux paramètres régulés dans une salle blanche. c) Dans quel cas, la salle blanche est-elle en surpression ou en dépression par rapport à l extérieur, pourquoi? d) Parmi les trois classes suivantes, quelle est la plus propre? Classes , 1000, 100 III) Hygiène et sécurité (4 points) a) Reliez par des flèches chacun des textes de la partie centrale à un ou plusieurs pictogrammes. Entrée interdite Dangereux pour l environnement Produit corrosif Produit toxique ou mortel Produit dangereux pour la santé Danger électrique Douche de sécurité Protection obligatoire du visage Matières radioactives, radiations ionisantes Produit inflammable 3

5 b) Dans le cas d un dispositif sous ultravide à concevoir, quels sont les risques que vous devez prendre en considération dans les domaines suivants. Le vide : L électricité : Les gaz : Autres.. 4

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