Plate-forme Caractérisation CIMPACA

Dimension: px

Commencer à balayer dès la page:

Download "Plate-forme Caractérisation CIMPACA"

Raoul Bouffard
il y a 8 ans
Total affichages :

1 24 Novembre 2011 Plate-forme Caractérisation CIMPACA Labellisée plate-forme d innovation par le Ministère de l Industrie (30/09/2009) Agréée au titre du C.I.R. (15/10/2009) Partenaires:

2 Mission La plate-forme Caractérisation CIMPACA (*) a pour mission principale de: Regrouper et développer en commun les outils et les méthodes nécessaires à la caractérisation des nouvelles technologies, des nouveaux procédés et des nouveaux équipements de fabrication de composants électroniques Supporter les projets de ses partenaires, qu ils soient collaboratifs ou non, dans les domaines suivants : La caractérisation physico-chimique et électrique des procédés et des dispositifs micro et nanostructures Le développement et la caractérisation des procédés à ultra haute pureté L analyse de défaillance des composants de dernière génération (*) CIMPACA = Centre Intégré de Microélectronique en région PACA Partenaires:

collaboratifs ou non, dans les domaines suivants : La caractérisation physico-chimique et électrique des procédés et des dispositifs micro et nanostructures Le développement et la

3 Localisation & Membres La plate-forme Caractérisation CIMPACA a été créée en 2005 sous la forme d une association loi Elle est essentiellement implantée sur la Z.I. de Rousset (13790). 5 membres fondateurs: 2 grands industriels substitution par LFoundry en PME 1 Université agissant en son nom propre et au nom des laboratoires publics régionaux

4 Evolution du nombre de membres 5 membres fondateurs en membres à ce jour CIMPACA Phase 1 CIMPACA Phase Grands industriels Académiques* PME * Université Paul Cézanne (agissant en son nom propre et au nom des laboratoires publics de la région PACA)

2009 2010 2011 Grands industriels Académiques* PME * Université Paul Cézanne

5 Moyens matériels (Phase 1 + Phase 2 en cours) 15M d équipements investis lors de la Phase M pour la Phase 2 Equipements de dernière génération Analyse chimique Métrologie Ultrapropreté D-SIMS Cameca IMS 7f ToF-SIMS ION-TOF 5 Micro Auger PHI 700 XPS Kratos Axis Nova Ellipsomètre/GXR Sopra GES5-GXR Profilomètre optique 3D Sensofar Neox Profilomètre 1D AlphaStep KLA-Tencor AFM Veeco Dimension modules électriques SCM / SSRM / Extended-TUNA Micro Raman (LabRAM HR800 couplé à un PSIA X100) VPD/ICP-MS IAS Expert / PerkinElmer NexION 300S ATD/GC/MS PerkinElmer Wafer Outgassing System WOS 2000 PerkinElmer PTR/MS Banc de contamination organique (banc de perméation + réacteur) Banc de contamination inorganique FIB dual beam FEI Strata 400S TEM FEI Titan TEM UHR FEI Titan avec Cs corrigé SEM Hitachi S-4800 Amincisseur ionique NanoMill 1040 Testeur électrique Diamond D10 Microscope à émission de lumière & test par faisceaux lasers Meridian IV Microscope à émission de lumière dynamique EmiScope IIIt Station de nanoprobing Multiprobe Thermographie infrarouge HR ELITE Décapsulation laser Sesame 1000 Banc de test faible courant Cascade avec instrumentation Agilent Banc de test d électromigration Aetrium Wafer tester Semilab WT-2000 (JPV, SPV, µ-pcd, Non-contact V-Q) Analyse physique Analyse de défaillance Caractérisation électrique

GES5-GXR Profilomètre optique 3D Sensofar Neox Profilomètre 1D AlphaStep KLA-Tencor AFM Veeco Dimension 3100 + modules électriques SCM / SSRM / Extended-TUNA Micro Raman (LabRAM HR800 couplé à un

6 Localisation des équipements LFoundry (11) ST (7) Université P. Cézanne (4) Tera (3) Biophy (2) IBS (1) USTV (1) Analyse chimique Métrologie Ultrapropreté D-SIMS Cameca IMS 7f ToF-SIMS ION-TOF 5 Micro Auger PHI 700 XPS Kratos Axis Nova Ellipsomètre/GXR Sopra GES5-GXR Profilomètre optique 3D Sensofar Neox Profilomètre 1D AlphaStep KLA-Tencor AFM Veeco Dimension modules électriques SCM / SSRM / Extended-TUNA Micro Raman (LabRAM HR800 couplé à un PSIA X100) VPD/ICP-MS IAS Expert / PerkinElmer NexION 300S ATD/GC/MS PerkinElmer Wafer Outgassing System WOS 2000 PerkinElmer PTR/MS Banc de contamination organique (banc de perméation + réacteur) Banc de contamination inorganique FIB dual beam FEI Strata 400S TEM FEI Titan TEM UHR FEI Titan avec Cs corrigé SEM Hitachi S-4800 Amincisseur ionique NanoMill 1040 Testeur électrique Diamond D10 Microscope à émission de lumière & test par faisceaux lasers Meridian IV Microscope à émission de lumière dynamique EmiScope IIIt Station de nanoprobing Multiprobe Thermographie infrarouge HR ELITE Décapsulation laser Sesame 1000 Banc de test faible courant Cascade avec instrumentation Agilent Banc de test d électromigration Aetrium Wafer tester Semilab WT-2000 (JPV, SPV, µ-pcd, Non-contact V-Q) Analyse physique Analyse de défaillance Caractérisation électrique

7 Feuille de route des investissements en cours (Phase 2) Les investissements de la Phase 2 (4.3M ) répondent au besoin impératif de: Maintenir l état de l art sur la plate-forme pour les thématiques existantes Themes Projects Physico-chemical characterization New FIB generation for lamella preparation Post-FIB lamella processing and milling for advanced TEM imaging and analysis CIMPACA - Phase 1 CIMPACA - Phase 2 AlphaStep TEM ATD GC EMMI AFM MS/ OBIRCH EELS WOS SEM HR Imagerie Ref Enceinte Mesures Correcteur roidi Ablation électromagnétique de laser Probing sonde in-situ HRpour Nano- Monochromateur Mesures EBIC Réacteur / RCI Traction Dual Beam FIB TEM Resolution improvement Eléments constitutifs Plate-f Prototype orme Nano-SIMS mutualisée d'analyseur DLTS mobile global des contaminations Imaging and analysis improvement 2D and 3D contactless measurement at nanometric scale 1D mechanical prof iler AFM 3D optical profiler Nanoprobing at metal level and defect localization with electronic image resolution AFP nanoprober SEM probing EBIC / EBAC Dynamic measurement of internal signals in integrated circuits EMMI / OBIRCH LVI + SIL Failure Analysis Thermal imaging of integrated circuits Infrared thermography Defect localization without package opening HR electromagnetic imaging Ultra-cleanliness Localized and non-destructive decapsulation Metallic contamination analysis at very low concentration (<ppb) ATD GC MS WOS Enceinte Inorganic conta bench LVI = Laser Voltage Imaging SIL = Solid Immersion Lens EBIC = Electron Beam Induced Current EBAC = Electron Beam Absorbed Current Laser ablation VPD ICP-MS now

characterization New FIB generation for lamella preparation Post-FIB lamella processing and milling for advanced TEM imaging and analysis CIMPACA - Phase 1 CIMPACA - Phase 2 AlphaStep TEM ATD GC EMMI

8 Organisation (Personnel mis à disposition par les membres) ST Biophy Research LFoundry Air Liquide Balazs Tera Environnement Université P. Cézanne P. Galand Directeur opérationnel (100%) V. Gamblin A. Planchais Contrôleur financier (20%) Responsable Equipements / Facilities / Projets / TIC / Qualité (20%) ToF-SIMS D-SIMS (50%) XPS (20%) L. Dupuy C. Roukoss Responsable Laboratoire Analyse Défaillance (100%) L. Forli Technicien VPD- ICPMS (40%) Technicien VPD- ICPMS (5%) S. Giorgi N. Boulot VPD- ICPMS (5%) C. Galvez Chercheur D-SIMS (50%) Chercheur FIB / TEM (30%) T. Neisius R. Daineche C. Grosjean Responsable Laboratoire Micro-Analyse (100%) F. Figarols D-SIMS AES Profilo. 3D Ellipsomètre (100%) B. Bortolotti Technicien AES XPS FIB SEM (100%) AFM Raman FIB / TEM (20%) AFM TEM (20%) Technicien AFM FIB (10%) S. Caiveau C. Effernelli A. david Technicien VPD- ICPMS (5%) J. Perrizzolo Une équipe multi sociétés/laboratoires : 18 personnes (8 équivalent temps plein)

Roukoss Responsable Laboratoire Analyse Défaillance (100%) L. Forli Technicien VPD- ICPMS (40%) Technicien VPD- ICPMS (5%) S. Giorgi N. Boulot VPD- ICPMS (5%) C.

9 Projets R&D collaboratifs initiés par la plate-forme Projets CIM PACA mis en œuvre sur la plate-forme Caractérisation CIMCOSIS (*) Période Effort 13 des Grands Industriels Engagements des PME publics Engage ment total CIMDOPANT (*) Mi-2006 à ST fin 2009 CIMCONTA (*) 20 Leader du projet Kemesys (PME) Tera Environnement (PME) (*) CIMCOSIS, CIMDOPANT et CIMCONTA sont les 3 sous-projets du projet ARTHEMIS ORTOFIB 2008 à Orsay Physics (PME) MADISON 2008 à LFoundry OPTIM MERISIER COMET 2008 à à à Rockwood (PME) Kemesys (PME) ST TOTAL 2006 à h.an 4.3 M 6.0 M 10.2 M 20.5 M 5 PME chefs de file (sur 8 projets) La participation des PME représente près de 60% de l'engagement privé Partenaires:

9 ST fin 2009 CIMCONTA (*) 20 Leader du projet Kemesys (PME) Tera Environnement (PME) (*) CIMCOSIS, CIMDOPANT et CIMCONTA sont les 3 sous-projets du projet ARTHEMIS ORTOFIB 2008 à 2011 26.5 0.3 1.3 1.7 3.

10 Grands industriels Projets collaboratifs PME Académiques Partenaires:

11 Contacts pour une demande de micro-analyse i Contacts principaux sur la plate-forme Pascal GALAND Directeur de la plate-forme Bureau: +33 (0) Mobile: +33 (0) pascal.galand@caracterisation.org Catherine GROSJEAN Responsable du laboratoire de micro-analyse Bureau: +33 (0) catherine.grosjean@caracterisation.org i Interfaces chez les différents membres (liste non exhaustive) Bernard PICART Catherine GROSJEAN Rachid DAINECHE Hasnaa ETIENNE Nicolas RODRIGUEZ

org Catherine GROSJEAN Responsable du laboratoire de micro-analyse Bureau: +33 (0)4 42 68 86 08 E-mail: catherine.

12 Les techniques de microanalyse présentées aujourd hui Sont complémentaires A quel type d information donnent-elles accès? ( élémentaire, liaisons chimique, moléculaire? ) Avec quelle résolution spatiale ( latérale et en profondeur) Avec quelle sensibilité? ( éléments majoritaires, impuretés ) Sur quel type d échantillons?

( élémentaire, liaisons chimique, moléculaire?

13 LEEM PEEM ATP EELS TEM /EDX AES XPS ToFSIMS Liaisons chimiques, informations moléculaires Information élémentaire D SIMS Imagerie Préparé par: Taille de sonde novem

Documents pareils

La plate-forme Caractérisation CIM PACA

La plate-forme Caractérisation CIM PACA Un partenaire de choix pour la caractérisation chimique de vos matériaux Partenaires: Qui sommes-nous? La plate-forme Caractérisation CIM PACA est une association