Présentation C(PN)2. Convention technologique LPL Mardi 19 juin

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1 Présentation C(PN)2 Convention technologique LPL Mardi 19 juin Opération soutenue par l Etat / fonds national d aménagement et de développement du territoire.

2 Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord C(PN)2

3 Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord C(PN)2 Plan de la présentation 1- Description générale 2- Exemples de réalisations technologiques 3- Les activités au sein de la centrale

4 1- Description : Localisation - Nord de Paris - Située sur le campus de Villetaneuse - Salle blanche située dans les locaux de l'iut de Villetaneuse

5 1- Description de la Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord : C(PN)2 Plateforme de 300 m2 200 m2 en atmosphère contrôlée ISO 8 10 postes à flux laminaires ISO 5 Local évaporateurs Spécificités : matériaux alternatifs pour la photonique et l'optoélectronique Local de lithographie optique Local de lithographie électronique Zone chimie acides/solvants Semiconducteurs organiques (OLED) Diamants (poly, nano, monocristallin) Oxydes Labellisée par le CNRS en 2009 comme Centrale de Proximité. Inaugurée en Mars 2011

6 1- Description : Les équipements de C(PN)2 Les équipements de micro et nano-fabrication 10 Hottes à flux laminaire Nettoyages Gravure humide Manipulation résine Bâti d évapor ation _ par canon e dépôt IAD (1,5KeV) Pfeiffer PLS580 Aligneur de masque Bâti de gravure ICP Karl Süss MA100 Corial 200IL Sourc e UV : 400 nm Bâti d évaporation par effet joule dépôt d OLED MHS Equipement Boite à gant Jacomex Système de lithographie électronique Pioneer Raith Les équipements caractérisation Microscope optique M-lines Leica LWS3000 Metricon Objectifs x5,x10,x20, x50,x100 (ON 0.9) Mesure d indices de réfraction Microscope à Force At omique-afm Nanosurf Easyscan Profilomètre mécanique KLA-Tencor Alpha-step IQ Mode contact Rayon pointe 5 µm Testeur sous pointe Keithley 2635A micromanilateurs Signatone S725 MEB + CathodoLuminescence (Livraison fin 2012)

7 2- Exemples de réalisations technologiques Approche Top Down de la fabrication 1- Lithographie électronique 2- Gravure plasma (ICP) (gaz chlorés) ITO, Diamant, ZnO, TiO2 1µm

8 2- Exemples de réalisations technologiques Approche bottom-up 1- Nanoparticules autoorganisées (80 nm à 2500nm) 2-Lithographie optique à base de nanoparticules (Motif <1µm)

9 2- Exemples de réalisations Réalisation d'oled 1- Lithographie optique (Eventuellement) 2- Dépôt d'oled ( substrat verre ou substrats souples) 3- Couleurs visibles + blanc

10 3- Les activités au sein de C(PN)2 Recherche académique Formation continue et enseignement supérieur Formations initiales (Diplômante) Formation continues (Diplômant ou Qualifiant) Partenariats Université-Entreprise Etudes courtes de dégrossissage (quelques semaines) Etudes de faisabilité ou de caractérisation (6 mois) Etudes approfondies ( 3 ans )

11 3- Les activités au sein de C(PN)2 Recherche académique Laboratoire de Physique des Lasers (LPL UMR CNRS 7538) Laboratoire des Sciences et des Procédés et des Matériaux (LSPM UPR CNRS 1311) Labex SEAM (Sciences and Engieneering for Advanced Materials) Thématiques de Recherche Diodes Electroluminescentes organiques (LPL) Diode laser à semiconducteur organique (LPL) Nanoparticules et Nanostructures photoniques (LPL) Nanostructuration du diamant (LPL LSPM)...

12 3- Les activités au sein de C(PN)2 Formation continue et enseignement supérieur Licence professionnelle Electronique Optique et Nanotechnologies (IUT de Villetaneuse) Formation initiale (Diplômant) Formation continue (Diplômant) Formations continue (Qualifiant)(Ex : Habilitations Salle blanche, Liaison optique avec soudure de Fibre optique) Accès CNFM (travaux pratiques) Licence Sciences Pour l'ingénieur Parcours Nanotechnologies (Diplômant) Master Physique et Nanotechnologies (Diplômant)

13 3- Les activités au sein de C(PN)2 Partenariats Université-Entreprise Accès à la salle blanche via un étudiant déjà habilité Accès aux domaines de compétences des équipes impliquées dans le projet Etudes courtes (dégrossir un sujet) (quelques semaines) : Stage de Licence Professionnelle (Adveotec, Corial,...) Etudes de faisabilité ou de caractérisation (6 mois) : Stage de Master : (Saint Gobain Recherche,...) Etudes approfondies ( 3 ans ) : Thèse CIFRE : (3S photonics )

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16 1- Description : Localisation - Nord de Paris - Située sur le campus de Villetaneuse - Salle blanche située dans les locaux de l'iut de Villetaneuse

17 1- Description de la Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord : C(PN)2 Plateforme de 300 m2 200 m2 en atmosphère contrôlée ISO 8 10 postes à flux laminaires ISO 5 Local évaporateurs Spécificités : matériaux alternatifs pour la photonique et l'optoélectronique Local de lithographie optique Local de lithographie électronique Zone chimie acides/solvants Semiconducteurs organiques (OLED) Diamants (poly, nano, monocristallin) Oxydes Labellisée par le CNRS en 2009 comme Centrale de Proximité. Inaugurée en Mars 2011

18 1- Description : Les équipements de C(PN)2 Les équipements de micro et nano-fabrication 10 Hottes à flux laminaire Nettoyages Gravure humide Manipulation résine Bâti d évapor ation _ par c anon e dépôt IAD (1,5KeV) Pfeiffer PLS580 Aligneur de masque Bâti de gravur e IC P Karl Süss MA100 Corial 200IL Source UV : 400 nm Bâti d évaporation par effet joule dépôt d OLED MHS Equipement Boite à gant Jacomex Système de lithographie électronique Pioneer Raith Les équipements caractérisation Microscope optique M-lines Leic a LWS3000 Metricon Objectifs x5,x10,x20, x50,x100 (ON 0.9) Mesure d indices de réfraction Microscope à Force At omi que- AFM Nanosurf Easyscan Profilomètre mécanique KLA-Tencor Alpha-step IQ Mode contact Rayon pointe 5 µm Testeur sous pointe Keithley 2635A micromanilat eurs Signatone S725 MEB + CathodoLuminescence (Livraison fin 2012)

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22 3- Les activités au sein de C(PN)2 Recherche académique Formation continue et enseignement supérieur Formations initiales (Diplômante) Formation continues (Diplômant ou Qualifiant) Partenariats Université-Entreprise Etudes courtes de dégrossissage (quelques semaines) Etudes de faisabilité ou de caractérisation (6 mois) Etudes approfondies ( 3 ans )

23 3- Les activités au sein de C(PN)2 Recherche académique Laboratoire de Physique des Lasers (LPL UMR CNRS 7538) Laboratoire des Sciences et des Procédés et des Matériaux (LSPM UPR CNRS 1311) Labex SEAM (Sciences and Engieneering for Advanced Materials) Thématiques de Recherche Diodes Electroluminescentes organiques (LPL) Diode laser à semiconducteur organique (LPL) Nanoparticules et Nanostructures photoniques (LPL) Nanostructuration du diamant (LPL LSPM)...

24 3- Les activités au sein de C(PN)2 Formation continue et enseignement supérieur Licence professionnelle Electronique Optique et Nanotechnologies (IUT de Villetaneuse) Formation initiale (Diplômant) Formation continue (Diplômant) Formations continue (Qualifiant)(Ex : Habilitations Salle blanche, Liaison optique avec soudure de Fibre optique) Accès CNFM (travaux pratiques) Licence Sciences Pour l'ingénieur Parcours Nanotechnologies (Diplômant) Master Physique et Nanotechnologies (Diplômant)

25 3- Les activités au sein de C(PN)2 Partenariats Université-Entreprise Accès à la salle blanche via un étudiant déjà habilité Accès aux domaines de compétences des équipes impliquées dans le projet Etudes courtes (dégrossir un sujet) (quelques semaines) : Stage de Licence Professionnelle (Adveotec, Corial,...) Etudes de faisabilité ou de caractérisation (6 mois) : Stage de Master : (Saint Gobain Recherche,...) Etudes approfondies ( 3 ans ) : Thèse CIFRE : (3S photonics )

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