Gamme de produits 2015 Systèmes et composants innovants pour le vide destinés à un large éventail d applications



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Gamme de produits 2015 Systèmes et composants innovants pour le vide destinés à un large éventail d applications

Le monde du vide Table des matières: Vide primaire Vide Poussé Page Oerlikon Leybold Vacuum Audit, vente et services... 3 Pompes lubrifiées: Pompes à palettes mono-étagées SOGEVAC B/BI/D... 3 Pompes à palettes bi-étagées TRIVAC B... 4 Pompes sèches: Pompes à membranes DIVAC... 4 Pompes sèches SCROLLVAC... 4 Pompes et systèmes secs à vis LEYVAC et DRYVAC... 5 Pompes et systèmes secs à vis SCREWLINE... 6 Pompes Roots: RUVAC WA/WS et RUVAC WH... 6/7 Pompes à fluide: LEYBOJET OB... 7 DIP et LEYBOJET... 8 Système d économie d énergie pour pompes à diffusion d huile... 8 Pompes turbo moléculaires: Pompes turbo moléculaires à paliers céramiques TURBOVAC... 9 TURBOVAC i/ix avec système de paliers hybrides... 9 Pompes turbo moléculaires à paliers magnétiques MAGintegra / 10 MAGdigital... Pompes cryogéniques et têtes froides: Pompes cryogéniques COOLVAC... 11 Têtes froides COOLPOWER... 11 Instruments de mesure et de contrôle Jauges et systèmes de mesure de pression, contrôleur de vide VACVISION 12 Détecteurs de fuites Détecteurs de fuite PHOENIX L300i et PHOENIX L500i... 13 Solutions Solutions de vide sur mesure / Ingénierie... 14 Contrôle et pilotage de pompe novateurs et interface Homme machine... 14 Groupes de pompage à plusieurs étages (RUTA)... 15 Systèmes de centrale de vide CVS... 15 Systèmes d étalonnage de jauges CS... 16 Groupe de pompage secondaires PT / TURBOLAB... 16 Systèmes de dépôt et d expérimentation UNIVEX... 17 Réacteurs thermiques pour applications CVD / CVD Cube... 17 Composants Pièces détachées, pièces d usures et matériaux de réparation... 17 Systèmes de brides, éléments de raccordement et composants... 18 Vannes LEYCON... 18 Huiles, lubrifiants spéciaux Huiles LEYBONOL, fluides pour pompes à vide et lubrifiants spéciaux... 18 Services Académie du vide... 19 Support Après-vente... 19 2006 Table Austauschangebot des matières TRIVAC B

Support Global Vide Primaire Oerlikon Leybold Vacuum Audit, vente et services Votre partenaire pour l ingénierie du vide à une renommée internationale. - Conseil de qualité - Excellente qualité des produits et ratio prix-performance optimum - Réseau mondial de vente et de services - Personnel hautement qualifié et motivé - Audit - Support client dédié aux applications spécifiques - Des solutions fiables et de hautes qualités - Des prix compétitifs - Certification DIN ISO 9001/9002 - Service après-vente, support produits et applications SOGEVAC B/BI/FP Pompes à palettes mono-étagées Faibles coûts d investissements, longue durée de vie. Pas de fuite d huile, faible consommation d énergie. - Générateurs de vide pour applications industrielles difficiles - Bon rapport prix / performance - Grande fiabilité - Version ATEX disponible - Vitesse de pompage de 10 à 1200 m 3 /h - Vide limite: 5 10-2 mbar - Versions compatibles O 2 disponibles - Gamme de produits spécialement dédiée au marché de l alimentaire et du packaging - Version de pompes personnalisables - Certification ATEX RL 94/9/EC leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog Oerlikon Leybold 2012 Vacuum audit et service, vide primaire 4 3

Vide Primaire Pompes sèches TRIVAC B Pompes à palettes bi-étagées Une technologie éprouvée pour un fonctionnement longue durée. Large éventail d accessoires tels que filtres à poussières, pièges à adsorption, etc. - Générateurs de vide robustes - Haute fiabilité - Version ATEX disponible DIVAC Pompes à membranes - Vitesse de pompage de 2,5 à 65 m 3 /h - Vide limite: 10-4 mbar - Pour des applications de vide poussé ou industriel - Certification ATEX RL 94/9/EG Respectueuses de l environnement, faibles coûts d entretien. - Pompes primaires pour pompes turbo-moléculaires hybrides - Résistance aux gaz agressifs et corrosifs (laboratoires) - Vitesse de pompage de 0,8 à 4,8 m 3 /h - Vide limite 1 mbar - Pompes sèches, absence d huile - Vitesse de pompage en environnement agressif de 0,6 à 2,2 m 3 /h - Pièces en contact avec les gaz en PTFE et PVDF SCROLLVAC Pompes sèches à spirales Solutions universelles sèches et à faibles coûts d exploitation. - Pompes sèches - Silencieuses, faible vibrations - Intervalles de maintenances espacés - Peu de particules générées - Vitesse de pompage de 5 à 60 m 3 /h - Vide limite 1 10-2 mbar - Conception robuste, maintenance réduite - Vitesse de pompage élevée même à pression atmosphérique 4 Composants pour le vide primaire

Pompes sèches LEYVAC Pompes et systèmes secs à vis Pompes à vide robustes pour des applications difficiles et avec des débits de pompage importants. Performances accrues en ajoutant une pompe roots RUVAC. - Générateurs de vide industriel - Haute fiabilité - Débit de pompage élevé pour applications industrielles difficiles - Compacité - Vitesse de pompage de 80 à 145 m 3 /h - Vide limite 1 10-2 mbar - Performance optimisée pour gaz légers - Pompes étanches - Peu bruyantes en opération, haut rendement - Connexion directe aux pompes Roots RUVAC grâce à un adaptateur DRYVAC Pompes et systèmes secs à vis Solutions de vide compactes et robustes avec surveillance et contrôle intelligents pour applications de dépôt sous vide, l industrie photovoltaïque et les processus industriels. - Plusieurs versions disponibles - Faibles coûts d exploitation - Encombrement minimum - Auto protection de la pompe et communication aisée - Vitesse de pompage de 450 à 5.000 m 3 /h - Pompes robustes pour des procédés difficiles - Haut rendement énergétique - Systèmes modulaires flexibles et compacts pour installation verticale ou horizontale - Certification ATEX RL 94/9/EC, version ATEX catégorie 2i disponible sur certains modèles - Surveillance intégrée des principaux paramètres; i-version avec écran tactile et interface profibus leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Composants pour le vide primaire 6 5

Pompes sèches Systèmes Roots SCREWLINE Pompes sèches à vis Pompes extrêmement robustes adaptées aux applications les plus exigeantes, maintenance sur site aisée. - Grande vitesse de pompage - Nettoyage facile - Refroidissement à l air - Protection contre les risques d explosion ATEX - Vitesse de pompage de 250 et 630 m 3 /h - Vide limite 1 10-2 mbar - Possibilité d extension avec pompes Roots - Système de contrôle des paramètres - Générateur de vide facile à démonter pour nettoyage rapide - Certification ATEX RL 94/9/EC RUVAC WA/WS Pompes Roots Longévité et fiabilité. Connexion facile avec toutes sortes de pompes primaires. - Augmentation de la vitesse de pompage à basses pressions - Facilité d utilisation - Sans huile - Protection contre les risques d explosion version ATEX - Vitesse de pompage de 250 à 4.000 m 3 /h - Pompes fiables et robustes - Versions disponibles moteurs à brides ou à induits sous vide - Compatibilité pour application 100% O 2 - Certification ATEX RL 94/9/EC 6 Composants pour le vide primaire

Systèmes Roots compactes à haut rendement Pompes à vide à jet de vapeur d huile RUVAC WH Pompes Roots Gamme innovante de produits performants efficaces et économiques répondant aux besoins des applications industrielles modernes. - Vitesse de pompage réglable grâce à un convertisseur de fréquence - Temps de descente en vide rapide - Encombrement réduit - Sans huile - Compatibilité des systèmes - Economie d énergie, faible consommation - Vitesse de pompage de 720 à 9.800 m 3 /h (avec variateur de fréquence) - Spécifications de consommation et de performance excellentes - Moteur à haut rendement énergétique (IE2) - Conception compacte - Vanne de bypass intégrée - Connexion directe aux pompes primaires grâce à un adaptateur LEYBOJET OB Pompes à vide à jet de vapeur d huile Intervalles de maintenance espacés, pas de pièces d usure. Niveau de sécurité élevé. - Vide poussé - Travail à haute pression - Grande vitesse de pompage - Sûres et économiques - Alimentation électrique conforme aux normes CE - Vitesse de pompage de 6.000 à 18.000 l/s - Plage de fonctionnement de 10-1 à 10-4 mbar - Vitesse de pompage constante - Pas de pièces d usure - Conception compacte - Facilité d utilisation leybold Oerlikon Composants Leybold Vacuum pour Gesamtkatalog le vide primaire, 2012 pompes à vide à jet de vapeur d huile 8 7

Pompes à diffusion d huile DIP / LEYBOJET Pompes à diffusion d huile Intervalles de maintenance espacés, pas de pièces d usure. Niveau de sécurité élevé. - Vitesse de pompage constante - Travail à haute pression - Grande vitesse de pompage - Sécurité et économie - Alimentation électrique conforme aux normes CE - Vitesse de pompage: DIP: 3.000 à 50.000 l/s LEYBOJET: 12.000 l/s - Plage de fonctionnement: DIP: < 10-2 à 10-7 mbar LEYBOJET: < 10-2 à 10-5 mbar - Vitesse de pompage optimale dans la gamme de pression < 10-4 mbar (DIP) et 10-2 à 10-3 mbar (LEYBOJET) - Pas d usure due aux frottements - Facilité d utilisation - Adaptées pour les applications et procédés de pulvérisation (LEYBOJET) - Optimisation innovante de la consommation énergétique (Retour sur investissement < 2 ans) Contrôleur de Consommation Système de contrôle pour pompes à diffusion d huile Retour sur investissement rapide (< 2 ans) avec une économie d énergie allant jusqu à 30%. Facile et pratique d utilisation. Optimisation des données de puissance et de consommation d huile. - Economies grâce à la réduction de la consommation d énergie - Simple d utilisation - Contrôlé par automate - Economie d énergie jusqu à 30% - Amélioration de la durée de vie de l huile et des résistances de chauffage - Surveillance visuelle simple du paramétrage via une interface graphique - Equipé d un port USB et Ethernet 2006 8 Pompes Austauschangebot à diffusion d huile TRIVAC B

Pompes Turbo moléculaires TURBOVAC Pompes Turbo moléculaires à paliers céramiques Gamme fiable et produits éprouvés pour les applications exigeantes avec électronique intégrée ou séparée. - Vide poussé et ultravide - Fiabilité même sous conditions de fonctionnement difficiles - Longue durée de vie - Vitesse de pompage jusqu à 1.150 l/s - Technologie à 2 paliers céramiques - Version à haute pression de refoulement disponible - Versions sans électronique pour les applications de rayonnement disponibles TURBOVAC i/ix Pompes Turbo moléculaires avec technologie de palier hybride (mécanique / magnétique) Gamme innovante de produits modulaires avec électronique intégrée proposant des performances exceptionnelles. - Vide poussé et ultravide - Longue durée de vie - Facilité d installation et d exploitation - Fiabilité dans la plupart des applications et opérations - Vitesse de pompage jusqu à 440 l/s - Roulements hybrides sans huile (mécaniques / magnétiques à aimants permanents) - Electronique intégrée, comprenant une grande variété d options et d accessoires pour la communication et le contrôle des accessoires - Proposées avec ou sans étage de compression supplémentaire pour s adapter aux différentes applications leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2012 Composants pour le vide poussé 10 9

Pompes Turbo moléculaires TURBOVAC MAGiNTEGRA Pompes Turbo moléculaires à paliers magnétiques Ligne de produits la plus compacte pour des applications industrielles. Variateur de fréquence et d alimentation embarqué. Gain de place et intégration aisée à vos systèmes. - Vide poussé et ultravide - Une utilisation industrielle, (PVD et processus de dépôt sous vide, écrans et revêtement sur verre, etc.) - Insensibilité aux particules ou aux dépôts - Faible besoin de maintenance - Vitesse de pompage et taux de compression élevés pour tous types de gaz - Etage Holweck intégré - Résistance aux particules et aux dépôts - Insensibilité aux remises à l air intempestives - Fonctions d auto protection et de surveillance - Sans entretien dans la plupart des applications TURBOVAC MAG digital Pompes Turbo moléculaires à paliers magnétiques Pompes turbo moléculaires possédant un convertisseur de fréquence séparé. Multiposition, sans vibration et peu de maintenance. - Vide poussé et ultravide - Robustes et fiables dans les processus semi-conducteurs exigeants - Montage multi-position, technologie à paliers magnétiques - Grande variété de pompage primaire - Longue durée de vie - Vitesse de pompage jusqu à 3.200 l/s - Paliers magnétiques - Version à haute pression de refoulement disponible - Vitesse de pompage et taux de compression élevés pour tous types de gaz - Intégration aisée du système - Système de contrôle de la température (TMS) 10 Composants pour le vide poussé

Pompes Cryogéniques, Têtes froides COOLVAC Pompes cryogéniques Capacité de pompage élevée de la vapeur d eau, intervalles de maintenance espacés, facilité d installation. - Absence d hydrocarbures - Vide poussé et ultravide - Vitesse de pompage jusqu à 60.000 l/s - Versions avec brides ISO-K et CF - Cycle de régénération automatique COOLPOWER Têtes froides pour pompes cryogéniques et cryostats Production de températures cryogéniques selon le principe Gifford-MacMahon. Conçues pour le refroidissement des supraconducteurs (aimants, échantillons) pour la médecine et la recherche. - Grande capacité de refroidissement - Conception compact - Intervalles de maintenances espacés - Faibles vibrations - Puissance de refroidissement: Modèle bi-étagé jusqu à 8 K Modèle mono-étagé jusqu à 25 K - Grande capacité de réfrigération - Résistant aux particules et aux dépôts - Opération simple - Pas besoin d hélium liquide ou d azote liquide leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog Composants 2012 pour le vide poussé et secondaire 12 11

Jauges Contrôleurs de vide Instruments de mesure Jauges à vide et de pression Contrôle fiable des applications sous vide. - Systèmes de mesure de vide pour chaque application - Mesure précise de la pression des gaz et vapeurs - Mesure reproductible sur une large plage de pression - Mesure du vide avec capteurs actifs ou passifs dans une plage de mesure allant de 2.000 à 10-12 mbar - Utilisation intuitive et récupération facile des informations - Pressostats et instruments de mesure de pression - Calibration usine ou étalonnage DAkkS des jauges sur des pressions allant de 10-8 à 1.000 mbar VACVISION Contrôleur de vide Système modulaire pour le contrôle facile de votre système de vide par écran tactile. - Contrôle entièrement automatisé de votre système de vide - Configuration flexible et contrôle automatique de votre système de pompage - Manipulation et fonctionnement simple (plug & play) - Processus rapide de stockage et de transfert des données via USB vers le PC - Connexion de tous les composants vide. Par exemple: pompe primaire et secondaire, jusqu à 5 vannes et 5 capteurs actifs - Auto détection des périphériques à vide connectés - Visualisation de l ensemble de votre système de vide sur un large écran graphique tactile TFT 12 Jauges, contrôleurs de vide

Détecteurs de fuite PHOENIX L300i Détecteur de fuite et système de détection de fuite PHOENIX L500i Systèmes de détection de fuite Matériel de production industrielle. Système éprouvé, menu d utilisation convivial pour s adapter à chaque application. - Tests non destructifs des composants pour l assurance qualité - Solution technique fiable - Conseils professionnels - Conception et livraison de système de détection de fuite sur mesure - Configurable en station de test fixe ou mobile, en mode vide ou reniflage - Configuration du taux de fuite, de la sensibilité et du type de gaz H 2, He 3, 4 He, selon les spécifications du client - Démarrage rapide, grande précision de mesure - Télécommande pour un fonctionnement sans fil jusqu à une distance de 100 m Très haute productivité et fiabilité lors de tests de fonctionnement en continu sur cycle court, sur tous types de composants. Concept d utilisation unique. - Détection de fuites totalement fiable pour l assurance qualité - Résultats des tests rapides et reproductibles - Très haute productivité - Série de tests effectués en cycles courts - Test de tous types de composants - Simple et pratique d utilisation - Mobile, prêt à l emploi - Démarrage et temps de récupération rapide - Temps de réponse: < 1 s - Vitesse de pompage sur l hélium à l entrée: 50 l/s - Opération possible par ipad via Wifi - Utilisation simple, visualisation claire des résultats - Stockage des données - Robuste, conception industrielle innovante leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog Système 2012 de détection de fuite et détecteur de fuite 14 13

Solution de vide sur mesure / Ingénierie Systèmes de vide Ingénierie Grande variété de solutions de pompage et de systèmes proposée grâce à une longue expérience mondialement reconnue. Profitez de notre savoir-faire. - Audit par une équipe spécialisée connaissant votre application - Support applications spécifiques aux clients - Conception et fabrication de groupes de pompage standards ou sur mesure - Fiabilité et flexibilité élevées - Solutions adaptées - Solution de groupes de pompage sur mesure répondant aux attentes spécifiques du client - Groupes de pompage primaires ou secondaires en fonction des spécificités du client - Ingénierie mondiale, centres de production et de services locaux - Coordination globale des projets - Logiciels de programmation personnalisés et adaptés - Innovation et amélioration constante des produits - Mise en service et formation sur le site Contrôleurs Contrôle commande de dernière génération des pompes et des systèmes Contrôleurs et systèmes de contrôle faits sur mesure, adaptés aux clients et à leurs applications pour une meilleure performance et un meilleur confort pour l utilisateur. - Interface spécifique homme/machine - Gestion intégrée de l alimentation - Contrôle simple de l ensemble des composants du système - Supervision simple à plus élaborée - Contrôle et acquisition de données de paramètres du système via des interfaces digitales I/O, systèmes de bus, Ethernet, Profibus, RS 232, Wifi, GSM, par exemple - Mise en place d un logiciel personnalisé - Présentation digitale simple grâce à un écran tactile jusqu à la visualisation sur Smartphones (par le biais des apps) 14 Solution de vide sur mesure / Ingénierie

Groupes de pompage RUTA Groupes de pompage à plusieurs étages Réalisation de groupe de pompage sur mesure en fonction de votre application, grâce à notre longue expérience et savoir-faire. - Audit d un professionnel - Groupes de pompage sur mesure adaptés à l application - Solution d ingénierie pertinente et économique - Groupes de pompage sur mesure pour des besoins spécifiques clients - Groupes de pompage secs ou lubrifiés - Vitesse de pompage et vide limite adaptés à l application - Gamme de pression jusqu à 10-7 mbar intégrant un étage de vide poussé additionnel CVS Centrales de vide Systèmes modulables pour une meilleure fiabilité des opérations notamment dans la variation de la consommation du vide. Livraison clé en main, appareils testés et prêts à l usage. - Générateurs de vide industriel de qualité - Pour centraliser la demande de nombreux petits utilisateurs de vide - Conception modulaire afin d adapter au mieux les différents procédés spécifiques des clients - Comprenant typiquement une pompe SOGEVAC, un réservoir tampon, une armoire électrique avec un contrôleur et tous les composants de connectique - Vitesse de pompage de 25 à 560 m 3 /h - Vide limite 0,5 mbar - Volume de la cuve de 60 à 1000 l - Puissance électrique de 0,8 à 11 kw - Type de contrôle manuel ou automatique Groupes de pompage 15

Systèmes de vide poussé Système de calibration CS Bancs d étalonnage des jauges Fiabilité de votre processus par vérifications régulières, ajustement et réétalonnage des jauges à vides et capteurs. - Vérification des caractéristiques des jauges à vides - Etalonnage précis des jauges à vide selon le DAkkS (Service d étalonnage Allemand) - Assurance de la reproductibilité des paramètres - Systèmes d étalonnage universels constitués d une chambre à vide spéciale, d un système de pompage turbo moléculaire, de jauges à vide et de composants additionnels pour les tests d étalonnage PT-Systems / TURBOLAB Groupe de pompage secondaire Systèmes de pompage de vide poussé plug & play basés sur des composants éprouvés. Possibilité de différentes configurations en fonction des applications. - Groupe de pompage secondaire pour l industrie et la recherche - Pompes primaires lubrifiées ou pompes sèches pour un vide exempt d hydrocarbures - Compact et convivial d utilisation - Vitesse de pompage de 33 à 600 l/s - Vide limite jusqu à 10-10 mbar - Appareils de table entièrement assemblés avec une pompe turbo moléculaire, un convertisseur de fréquence et une pompe primaire - Commande manuelle ou automatique 16 Systèmes de calibration, systèmes de vide poussé

Solutions de vide pour applications spéciales Pièces détachées UNIVEX Systèmes de dépôt et d expérimentation CVD Cube Réacteurs thermiques pour applications CVD Pièces détachées Pièces détachées et consommables Fonctionnement et manipulation aisés du fait de l accès facile à la chambre à vide. Possibilité d un contrôle du système entièrement automatisé ou manuel. - Systèmes de laboratoire modulaires pour le revêtement des couches minces - Systèmes pour universités et centres de recherche industrielle - Résultats transférables sur toute une gamme de systèmes ou de production de série - Reproductibilité élevée - Systèmes multi-usage pour la production de couches minces - Systèmes extrêmement flexibles et modulaires, large gamme d accessoires - Solutions d un système sur mesure selon les spécifications du client - Les tailles de chambre sont définies en fonction des besoins propres de l application Appareil de table extrêmement compact pour le dépôt chimique en phase gazeuse pour la production de nanotubes de carbone, et graphène. - Pour applications CVD difficiles - Résultats rapides et reproductibles - Grande sécurité - Système plug & play - Connexion USB - Utilisation conviviale incluant le logiciel permettant le fonctionnement et le contrôle de l appareil - Masse ajustable pour les gaz par ex. Ar, H 2, CH 4, N 2 Pièces détachées d origine pour un fonctionnement de longue durée. - Pièces d origine fabriquant - Haute qualité fabriquant - Délais de livraison courts - Grande variété de pièces de rechange et d usure les plus demandées, souvent proposées en kits de maintenance. - Les pièces détachées sont soumises aux mêmes exigences de qualité que celles s appliquant aux composants de production de série de nos produits leybold Oerlikon Leybold Solutions Vacuum Gesamtkatalog de vide pour 2012 applications spéciales, pièces détachées 18 17

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