EQUIPEMENT SPECIAL. 1. Produits salle blanche 1.1 KP 1.2 SRF 1.3 LLB

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1 EQUIPEMENT SPECIAL 1. Produits salle blanche 1.1 KP La série KP est une série de raccords instantanés pour les systèmes de soufflage pour les salles blanches et les systèmes pneumatiques. La série KP est complètement sans huile et les zones de contact avec les liquides sont non métalliques. Les pièces sont nettoyées, assemblées et conditionnées dans un emballage double épaisseur dans un environnement salle blanche. Les éléments en résine des séries instantanées KPQ/KPG (pour le raccordement des systèmes pneumatiques) sont en polypropylène. 1.2 SRF La série SRF30 a été conçue pour régler l'eau déminéralisée et le gaz N2 dans les salles blanches. La zone de contact avec les fluides est en résine fluorée. La zone de contact avec les fluides est nettoyée à l'eau déminéralisée et par des ultrasons au fréon. 1.3 LLB Clean Air Module series LLB, available in a standard or high flow type, was designed to easily obtain clean air. The space-saving module design reduces piping man-hours. The series is assembled and double-packed in a clean room environment. Available in 24 variations the LLB offers a nominal filtration rating of 0.01 µm. Parts in contact with fluid are grease-free and silicon-free. Options include digital flow switch, regulator, ON/OFF valve, and restrictor.

2 1.4 SRP Le régulateur de haute précision et à faible consommation de fluide en acier inox SRP offre une excellente résistance à la corrosion. Toutes les pièces métalliques en contact avec les fluides sont en SUS316. Une production correspondant aux critères salle blanche est obtenue en effectuant les opérations de nettoyage, assemblage, contrôle et scellage dans un conditionnement double épaisseur dans un environnement de classe ARP Un contrôle et un réglage précis de la pression peuvent être des facteurs critiques lorsque l on travaille avec des fluides amenés sous pression, une alimentation pour un régulateur piloté ou dans des applications d essai et d inspection. Conscients de cela, les ingénieurs R&D de SMC, le leader mondial de la technologie pneumatique, ont développé une nouvelle gamme améliorée de régulateurs de précision à commande directe, la série ARP 20/30/40. Développée sur la base des vastes connaissances de SMC en matière de régulateurs à commande directe, la série ARP présente maintenant plusieurs avantages par rapport aux précédents modèles SMC, notamment une réduction de la consommation d air de jusqu à 80% par rapport aux modèles précédents (moins de 1 /min (ANR) à 0,4 MPa), un réglage plus précis de la pression (répétitivité à ±1% près et sensibilité maintenant à 0,2% E.M. près). Les autres avantages de ce nouveau régulateur modulaire comprennent des manomètres numériques en standard et la fonction du débit inversé. 1.6 SRH Les régulateurs salle blanche de la série SRH sont des régulateurs à contamination contrôlée en acier inox conçus pour minimiser les fluides résiduels. Leur conception inclut un orifice d'échappement/d'aspiration dans le compartiment de la membrane facilitant ainsi le débit. La résistance de la série SRH à la corrosion est remarquable. Toutes les parties métalliques en contact avec les fluides sont en acier inox SUS316.

3 2. Produits haute pureté LVA 2.1 Vannes et embases Le corps des vannes de grande pureté de la série LVA de SMC est disponible dans 3 types de matériau (SUS/PPS/PFA) pouvant être choisis en fonction de l'application du client. La construction spéciale de la membrane assure une ouverture et une fermeture sans à-coups et prévient ainsi l'apparition de microbulles. Un joint-guide unique situé sur la tige du piston élimine les mouvements latéraux du clapet et augmente ainsi grandement la durée de vie du joint tout en réduisant la formation de particules LVC Les vannes grande pureté pour les produits chimiques de la série LVC, avec leur raccords intégrés, éliminent les risques de trouver des liquides résiduels dans le taraudage des canalisations. De plus, leur corps a été conçu pour un débit sans à-coups avec volume mort interne minimal. La construction spéciale de la membrane assure une ouverture et une fermeture sans à-coups et prévient ainsi l'apparition de microbulles. Un joint-guide unique situé sur la tige du piston élimine les mouvements latéraux du clapet et prolonge ainsi la durée de vie du joint tout en réduisant la formation de particules LVQ La série LVQ est une série de vannes 2/2 pour les produits chimiques avec une surface extérieure non-métallique. Le boîtier haute densité du PVDF offre une résistance accrue aux produits chimiques et la construction spéciale de la membrane assure une ouverture et une fermeture en douceur de celle-ci afin d'éviter la formation de microbulles. Le joint guide de la série LVQ élimine les mouvements latéraux du soufflet, ce qui réduit les fuites internes.

4 2.1.4 LVM La série LVM est une série d'électrovannes compactes 2/2 et 3/2 à action directe pour les produits chimiques. Sa construction unique réduit les liquides résiduels au minimum. La résistance supérieure aux produits chimiques diminue les besoins en entretien. Sa durée de vie (sur la base des conditions de test de SMC) est de 10 millions de cycle voire plus LVN Une plainte souvent écoutée dans l industrie des semi-conducteurs ainsi que dans l industrie des produits chimiques est qu il est pratiquement impossible d éviter la formation de bulles dans les circuits de fluide dans les processus de fabrication. Après une période intensive de recherche et développement, les ingénieurs de SMC, le leader mondial expert en contrôle d automation, sont fiers d annoncer que ce n est désormais plus le cas, grâce au lancement de leurs nouvelles vis de réglage - Séries LVN. Spécialement développés pour empêcher la génération de bulles lorsque des liquides légers sont employés, les vis de réglage LVN sont fabriquées dans un nouveau type de matériau PFA léger qui est hautement compatible avec les acides, les bases et l eau désionisée. Normalement installées dans la partie supérieure des unités de filtrage, ces vis de réglage sont capables de réguler des débits compris entre 0 et 12 l/min et, utilisés en combinaison avec les raccords hyper LQ2 en PFA de SMC, avec leur conception unique de joint quadruple, des performances exceptionnelles sont obtenues tout en garantissant des niveaux de fuites minimaux, un fluide résiduel réduit et un effort de flexion important. Les vis de réglage des séries LVN constituent la réponse parfaite pour travailler avec des fluides entre 5 et 90º C, à des pressions d utilisation comprises entre 0 et 0,5 MPa et à une température ambiante de 0 à 60º C une solution à la hauteur du champagne, mais sans les bulles.

5 2.1.6 LVD Following semiconductor industry requests for a range of high purity valves for wet process applications, engineers from SMC, the worlds leading automation experts, have reaped the benefits of their substantial R&D investment with the launch of their latest 2/3 port Series LVA, LVC and LVD valves. Designed specifically for both semi and medical applications, these air operated high purity valves are the perfect answer to overcome the harsh environments often encountered in wet process applications. Constructed from different materials, dependent on their performance needs, and with a wide range of body options, Series LVA, LVC and LVD with their resin fluid paths, are the perfect choice when working with acids, alkalis and ultra pure water. Series LVC features integral compression fittings and uses the latest PFA material for its body. Series LVA features threaded body fittings and uses a combination of body materials including SUS316, PPS and PFA with Series LVD using PFA body materials and SMC s one touch fittings - Series LQ1 and the clean Series KP. In the case of the LVC model one further feature is also available - a suck back valve to overcome and eliminate any possible leakage following the valves closure. With their unique design and construction, these valves have no measurable leakage when operated at normal working pressures and SMC s development testing has indicated extremely long life cycle performance LVH Les vannes chimie pour l'ultra-pur de la série LVH sont résistantes à la corrosion. Elles sont compatibles avec des produits agressifs tels que les acides, l'alcali et l'eau ultra-pure, devenant ainsi la réponse parfaite dans les environnements humides. La série LVH est à commande manuelle, disponible avec des raccords intégrés ou taraudés.

6 2.2 Raccords LQ Les HYPER FITTING d'une grande pureté de la série LQ* de SMC répondent aux dernières demandes des contrôles de processus. Du nettoyage des pièces à l'assemblage et à l'emballage, tous les processus sont contrôlés pour une meilleure propreté et l'utilisation de la nouvelle série PFA élimine quasiment toute génération de particules et de TOC (carbone totalement organique) permettant une utilisation en toute confiance même dans les applications les plus exigeantes. Si les conditions chimiques ou le débit varie en cours de processus, la conception de notre joint frontal permet de changer rapidement les tubes et/ou leur diamètre, en utilisant le même corps de raccord TIL 2.3 Tuyauterie Les tuyaux en fluoropolymère de grande pureté de la série TIL sont disponibles en standard en rouleaux de 50' et 100' (en pouces). La série TIL offre une résistance remarquable à la corrosion, et est compatible avec les produits chimiques tels que les acides, les bases et l'eau ultra pure. La série TIL est également compatible avec les fluides dont la température s'élève jusqu'à 200 C TL Les tuyaux en fluoropolymère de grande pureté de la série TL sont disponibles en standard en rouleaux de 10 m et 20 m (en mètres). La série TL offre une résistance remarquable à la corrosion, et est compatible avec les produits chimiques tels que les acides, les bases et l'eau ultra pure TID TD/TID series is a highly flexible fluorine resin tubing that was designed for installation in small spaces. The denatured PTFE fluorine resin tubing was developed to realize high flexibility, while maintaining the same heat and chemical resistance as the series, TL/TH. TD/TID series is suitable for industries that require heat and chemical resistance and conforms to Food Sanitation Law.

7 2.3.4 TD TD/TID series is a highly flexible fluorine resin tubing that was designed for installation in small spaces. The denatured PTFE fluorine resin tubing was developed to realize high flexibility, while maintaining the same heat and chemical resistance as the series, TL/TH. TD/TID series is suitable for industries that require heat and chemical resistance and conforms to Food Sanitation Law. 3. Ioniseur 3.1 IZS La plupart d'entre nous, à un moment ou à un autre, recevra une décharge électrostatique inattendue. Ceci arrive lorsqu'une charge électrique générée entre deux matériaux est ensuite déchargée. Comme par exemple lorsqu'on sort d'une voiture ou lorsque l'on touche une poignée métallique après avoir marché sur un tapis. Cette décharge électrostatique, généralement considérée comme un problème mineur, est souvent accompagnée d'une étincelle, ce qui peut occasionner de sérieux problèmes dans les procédés de fabrication. En tant qu expert et leader mondial en automatisation, SMC a détecté les risques éventuels liés à l'électricité statique et l'ioniseur de la nouvelle série IZS31, élimine l'électricité statique de façon simple et efficace. Conçu initialement pour les applications dans lesquelles mêmes de faible charges statiques peuvent casser ou endommager des composants électroniques, ce ioniseur en forme de barre utilise une méthode d'élimination par effet couronne pour éliminer l'électricité statique. Pour ceux qui ne sont pas familiarisés avec cet effet, l'effet couronne est un phénomène observé lorsqu'une tension élevée est appliquée avec une électrode pour ioniser les atomes de l'air entourant l'aiguille. Le ioniseur de la série IZS31 proposent 3 modes d'émission d'ions : le mode CC avec détection, le mode CC continu ou le mode CC pulsé, dont la fréquence peut être réglée de 1 à 60 Hz en fonction de la fréquence de fonctionnement requise. Avec son profil arrondi et ses surfaces aérodynamiques, les perturbations du débit et la génération de particules sont réduites au strict minimum ce qui rend l'emploi du IZS31 idéal dans les environnements salle blanche. Disponible dans neuf longueurs de barre standard (de 300 mm à 2300 mm), il est possible de choisir entre trois types de matériau d'électrode : le tungstène pour les applications générales, le silicone spécial pour les environnements sensibles aux métaux et, l acier inox (économique) pour les applications n'exigeant pas autant de précision. En cas de chute des performances du ioniseur en cours de fonctionnement, un signal de sortie prévient l'utilisateur qu'il faut nettoyer les électrodes, effectuer des travaux d'entretien ou tout simplement les remplacer. Bien que les électrodes soient sécurisées avec un double système pour éviter toute chute accidentelle, une sécurité additionnelle est disponible pour encore plus de protection lorsque le ioniseur est utilisé dans des applications critiques.

8 3.2 IZN L une des façons les plus efficaces d éliminer l électricité statique accumulée à l intérieur d applications industrielles est l utilisation d un ioniseur. Cependant, dans certains cas, les fabricants de machines ne disposent pas toujours de l espace suffisant pour installer un ioniseur dans leurs applications ou bien, aucun ioniseur ne répond à leurs besoins. Aujourd hui, grâce aux experts de SMC, leader mondial de l automatisation, et à sa nouvelle gamme d ioniseurs de série IZN10, les problèmes d électricité statique appartiennent au passé. D une épaisseur de seulement 16 mm, les ioniseurs de la série IZN 10 comptent parmi les ioniseurs les plus compacts du marché grâce à leur alimentation électrique à faible tension intégrée. Disponible en deux options, l ioniseur peut être sélectionné avec une buse de courte ou grande portée et s adapter ainsi parfaitement à de nombreuses applications. L option à grande portée et débit élevé utilise de l air comprimé pour améliorer la performance de l air ionisé qui atteint un équilibre de ±15V, idéal pour éliminer l électricité statique et la poussière à des distances de jusqu à 500mm. Autrement, l option courte portée à économie d énergie atteint un équilibre ionique de ±10V, consommant moins d air et parfaite pour l élimination rapide de l électricité statique dans des applications ponctuelles. Parmi les principales caractéristiques de la série IZN 10, on peut citer un indicateur d aiguille-électrode qui avertit rapidement de toute réduction de la performance de l ioniseur due à des taches ou à l usure de l aiguille, ainsi que deux entrées de détection qui désactivent l ioniseur en cas de détection d une chute de la pression de l air ou simplement lorsque toute l électricité statique a été éliminée assurant une fonction économie d énergie. Le remplacement ou l entretien simple, rapide et sûr de l aiguille est également garanti grâce à la conception de type cartouche de l aiguille du IZN 10. Disponible dans une large gamme d options d accessoires, incluant le montage direct et avec fixations, la série IZN 10 est entièrement conforme aux directives CE et RoHS.

9 3.3 Accessoires De l'électricité statique s'accumule souvent pendant le processus de fabrication et a pour conséquence une qualité de production finale médiocre et un rendement sensiblement réduit. Pour vous aider à détecter et surveiller ce phénomène naturel, les ingénieurs de SMC, les meilleurs experts mondiaux de l automatisation, ont apporté la solution avec le lancement des nouveaux capteurs électrostatiques avec contrôleur des séries IZD10 et IZE11. Initialement développé pour fonctionner avec l'ioniseur IZS31 de SMC, le nouveau capteur électrostatique et son contrôleur peuvent mesurer avec précision les niveaux de potentiel de l'électricité statique avant l'introduction de mesures de prévention et, très important, confirmer l'efficacité des mesures de préventions introduites. Le capteur IZD10 est actuellement disponible en deux versions en fonction de la grandeur de l'objet chargé - ±0.4 kv à 25 mm et ±20 kv à 50 mm - avec une plage de distance de détection de 10 à 50 mm et 25 à 75 mm respectivement. Les relevés du capteur sont convertis en une sortie de 1 à 5 Vcc qui peut être visualisée sur le contrôleur du capteur électrostatique IZE11 (écran très compact de 30 mm²) ou sur d'autres instruments pour une analyse en aval. Avec son affichage numérique en couleur rouge et vert, le moniteur du capteur peut être réglé sur l'un des quatre modes d'affichage possibles et peut être commandé avec des caractéristiques de sorties commutées NPN ou PNP et de sortie analogique 1 5 Vcc ou 4 20 ma. 3.4 IZH Lorsque l'électricité statique de formation naturelle cause des dysfonctionnements sur la ligne de production ou la machine, sa détection précoce et son erradication font souvent la différence entre succès et échec. Aujourd'hui, ingénieurs et équipes de production peuvent tout simplement vérifier le potentiel électrostatique d'un objet et en obtenir une lecture immédiate grâce au nouveau détecteur électrostatique portatif de la série IZH10 et créé par les experts en automation de SMC. Alimenté par deux piles AA standards, l'izh10 est extrêmement léger, portatif, et son capteur pourvu d'une unité d'affichage séparée permet d'être utilisé même dans les endroits les plus étroits. À la fois précis et fiable, l'izh10 peut mesurer de façon efficace le potentiel électrostatique dans diverses situations et, par exemple, un potentiel de charge de ±20kV peut être détecté dans des zones ciculaires d'un diamètre de seulement 180mm à une distance de 50mm. Lorsqu'il est utilisé en mode continu, le capteur et l'affichage peuvent fonctionner pendant plus de 15 heures avant que la lumière d'avertissement du niveau de piles ne confirme qu'elles doivent être remplacées. De plus amples fonctions du détecteur IZH10 incluent un économiseur automatique de piles qui éteint le détecteur après 5 minutes d'inactivité, un rétroéclairage assurant la lecture des valeurs même dans les endroits les plus obscurs, l'option de réglage de l'affichage du détecteur à zéro et la possibilité que l'affichage indique et stocke des valeurs potentielles minimales et maximales.

10 4. Unités de contrôle thermique 4.1 HRS Les industries étant à la recherche d'un thermo chiller compact et léger haute performance, ont été satisfaits grâce au lancement de la nouvelle série de Thermo Chiller HRS. Développé pour une utilisation dans un large éventails d applications industrielles, ce nouvel ajout à notre gamme de thermo chiller qui se développe à toute vitesse est idéal lorsque l'espace d'installation et le débit de ventilation sont limités tout en conservant une performance frigorifique stable. Ne pesant que 43 kilos, le HRS est conçu pour fonctionner avec des températures de fluide calorigène circulant entre 5 40 ºC et son contrôle PID assure des changements de températures en douceur et une excellente stabilité de ±0.1ºC. Disponible avec air, ou eau réfrigérée et trois capacités frigorifiques allant jusqu'à 2.500W, la série HRS est compatible avec toutes les alimentations monophasées AC100V, AC V et AC V. Entièrement conforme à la norme CE, UL et aux normes européenne RoHS, la série HRS est aussi respectueuse de l'environnement avec son fonctionnement silencieux de 60dB (A) et zéro émission d ozone avec le réfrigérant R407C. 4.2 HRGC La série HRGC forme une gamme complète de régulateurs de température de l'eau qui peuvent fournir une alimentation d'eau réfrigérante constante dans n'importe quel environnement. Disponible dans un large éventail de tension d'alimentation, la série HRGC peut être utilisée à travers le monde et constitue une solution d'eau réfrigérante à la fois économique et respectueuse de l'environnement. Avec une réduction de la consommation électrique jusqu'à 74% et du réfrigérant jusqu'à 35%, la série HRGC est véritablement le leader dans la production d'eau réfrigérante respectueuse de l'environnement. La série HRGC peut parvenir à une stabilité de la température à ± 0,5 ºC en utilisant une commande PID de distributeur proportionnel. Conçue pour être simple d'installation et d'entretien, la série HRGC est en outre simple d'utilisation avec ses capacités de commande à distance. Avec une capacité de refroidissement de 0.9 à 4.8 kw, la série HRCG propose deux versions, refroidissement à air ou refroidissement à eau.

11 4.3 HEC Si votre machine a besoin d'un contrôle de température précis, nos nouveaux thermo-cons de la série HEC sont parfaits pour vous. Développée à l'origine pour l'industrie des semiconducteurs, la Série HEC est une gamme de thermo-cons de type Peltier idéaux pour assurer une température constante des fluides calorigènes. Actuellement disponibles soit refroidi à l'air sans réfrigérant soit refroidi à l'eau; la Série HEC fournit un contrôle de température précis de +-0,01 à +- 0,03ºC. Disponible dans une grande gamme de tensions d'alimentation ; 100 à 240 Vca, 50/60Hz pour les modèles refroidis à l'air et de 200 à 220 Vca, 50/60 Hz pour les modèles à refroidis à l'eau ou options Galden HT 135, FluorinertTM FC-3283, cette nouvelle gamme compacte de réfrigérateurs offre des performances exceptionnelles de capacités frigorifiques de 230 à 1200 W selon le modèle sélectionné. Les autres avantages du dispositif HEC Peltier sont que les bruits et les vibrations sont réduits au minimum. La Série HEC est conforme aux normes CE et IEC sur la Sécurité des Équipements Médicaux et les modèles refroidis à l'air sont parfaits pour contrôler les températures dans les endroits où aucune source d'alimentation d'eau est disponible. 4.4 HED Élaboré à l origine pour être utilisé avec du matériel de gravure, de chromage industriel et de polissage chimique des métaux, notre nouvelle série Thermocon chimie HED, extrêmement compacte et mise au point par SMC, assure un contrôle thermique précis des applications à base de produits chimiques acides ou basiques. Conçue pour refroidir ou réchauffer le fluide calorigène, cette gamme d échangeurs de chaleur à effet Peltier contrôle directement la température des fluides agressifs à des pressions allant jusqu à 0.35 MPa avec une précision de contrôle de ± 0.1ºC grâce à l élément Peltier. Avec un nombre de pièces moulées en PFA qui aident à réduire la contamination des ions métalliques, la série HED est 50 % plus petite que les thermocons disponibles sur le marché, mais aussi considérablement plus légère, de 6 à 15 kg selon le modèle choisi. Disponible dans une large gamme de tensions d alimentations : 180 à 242 VCA, 50/60Hz, ces nouveaux échangeurs de chaleur, de taille compacte, disposent de capacités frigorifiques de 300 W, 500 W et 750 W et de capacités calorifiques de 600 W, 1000 W et 1800 W selon le modèle choisi. La série HED respecte l environnement, elle est compatible avec les normes RoHS, CE, UL et eti.

12 5. Produits vide élevé XL 5.1 Vannes angulaires ou axiales Les vannes angulaires pour les vides élevés de la série XL offrent une excellente conductivité thermique qui permet d'obtenir une température uniforme le long du corps de la vanne et une diminution notable de la condensation de gaz au sein de la vanne. Les vannes ne contiennent pas de métaux lourds tels que Ni (nickel) ou Cr (chrome) et le débit à faible piétinement aide également à réduire la contamination par les métaux lourds des pastilles semi-conductrices XM and XY Le corps des séries XM (vanne angulaire pour le vide élevé) et XY (vanne en ligne pour les vides élevés) sont en SUS (acier inox). La structure de la série XM est la même que celle de la série XL, mais le corps de la série XL est en aluminium. La série XM est interchangeable avec la série XL. Le processus de fabrication monobloc par moulage de précision de la série XY évite les imperfections liées à l'accumulation de gaz et assure l'absence de porosité du corps. XGT 5.2 Vannes fendues Les vannes fendues de la série XGT peuvent être employées avec la vanne de cloisonnement entre la chambre de verrouillage de la charge et la chambre de transfert, et entre la chambre de transfert et la chambre de processus dans les appareils de fabrication de semi-conducteurs, etc.

13 5.3 Event sans à-coups XV La série de vannes à évent et à faible frottement de la série XVD2 est une série de vannes normalement fermées avec des types de connexions VCR (mâle et femelle) et Swagelok. Le raccordement de l'alimentation principale est de 1/4" et le diamètre de l'orifice est de 3 mm. Les matériaux utilisés sont SUS316L (corps et soufflets) SUS304 (membrane) et Viton (vanne et joint externe). 6. Pompes de process 6.1 PA La série PA est une série de pompes à membrane de grande capacité, compactes et double effet s'adaptant au transfert et au recouvrement d'une grande variété de fluides. La série PA est disponible dans 3 modèles ; à commande automatique, à commande pneumatique ou à commande automatique avec un atténuateur de pulsation intégré PB La série PB est une série de pompe à membrane simple effet pour les applications de transferts et de recouvrement d'une grande variété de fluides. La série PB est disponible avec un électrodistributeur intégré ou avec une commande pneumatique. L'encombrement est réduit grâce à la centralisation des zones de raccordement sur les surfaces du dessus ou du dessous.

14 6.3 PAF3000 Avec le lancement de la nouvelle pompe à membrane PAF3000 de SMC, les fabricants de semi-conducteurs et LCD trouvent maintenant une réponse à leurs demandes. Conçue tout spécialement pour répondre aux besoins du marché, cette pompe haute performance en fluorésine a été construite pour être parfaitement compatible avec l'emploi de produits chimique d'une grande pureté. Toutes les pièces en contact avec les liquides sont en nouveau PFA ou en PTFE, ce qui attribue à la série PAF3000 des caractéristiques optimales de tenue à la température et aux produits chimiques. Elles sont par ailleurs encore renforcées par la construction double en PFA-PPS qui, elle, améliore les performances mécanique de la pompe concernant la pression d'épreuve et les cycle de chaleur. Actuellement disponible dans deux versions, l'une à fonctionnement automatique avec électrodistributeur de pilotage intégré au corps de la pompe et l'autre à commande automatique avec électrodistributeur de pilotage et circuit électrique différenciés de la pompe, la PAF3000 offre une solution légère, compacte et un haut débit qui satisfont les demandes les plus exigeantes. Parmi les caractéristiques additionnelles, existe l'option d'inclure un détecteur de fuite optique qui permet de détecter au plus tôt une panne de la membrane (pour le modèle à commande pneumatique),et la possibilité d ajouter des capteurs de course optiques qui permettent de vérifier le bon fonctionnement de la pompe et de contrôler le cycle de façon précise. 6.4 PAF5000 Avec le lancement de la nouvelle pompe à membrane PAF5000 de SMC, les fabricants de semi-conducteurs et LCD trouvent maintenant une réponse à leurs demandes. Conçue tout spécialement pour répondre aux besoins du marché, cette pompe haute performance en fluorésine a été construite pour être parfaitement compatible avec l'emploi de produits chimique d'une grande pureté. Toutes les pièces en contact avec les liquides sont en nouveau PFA ou en PTFE, ce qui attribue à la série PAF5000 des caractéristiques optimales de tenue à la température et aux produits chimiques. Elles sont par ailleurs encore renforcées par la construction double en PFA-PPS qui, elle, améliore les performances mécanique de la pompe concernant la pression d'épreuve et les cycles de chaleur. Actuellement disponible dans deux versions, l'une à fonctionnement automatique avec électrodistributeur de pilotage intégré au corps de la pompe et l'autre à commande automatique avec électrodistributeur de pilotage et circuit électrique différenciés de la pompe, la PAF5000 offre une solution légère, compacte et un haut débit qui satisfont les demandes les plus exigeantes. Parmi les caractéristiques additionnelles, existe l'option d'inclure un détecteur de fuite optique qui permet de détecter au plus tôt une panne de la membrane (pour le modèle à commande pneumatique),et la possibilité d ajouter des capteurs de course optiques qui permettent de vérifier le bon fonctionnement de la pompe et de contrôler le cycle de façon précise.