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Transcription:

AiryLab. 12 impasse de la Cour, 83560 Vinon sur Verdon Rapport de mesure Référence 2010-37001 Client Airylab Date 07/09/2010 Type d'optique Objectif 50mm Opérateur FJ Fabricant Canon Procédure de mesure RF-DP Nom/modèle 50mm EF 1.8 II Haso HA-4333 S/N 50431408 LIP Objectif(s) LI-1028 MOD32-4, MOD32-10, MOD32-2 Longueur d onde Miroir BD-6 473 543 635 805 Termes d'aberration Rognage 0 (1 à N=10) Tilt X Interpolation x1 Tilt Y Mode Zonal + modal Focus référence oui Astig 0 Mesures moyennées 200 Astig 45 Double passage oui Coma 0 température 25 Coma 90 Sous pupilles - Sphérique Conjugaison de pupille Oui sauf N=2 Centrage sur l'axe (1) Mesure sur l'axe Mesure chromatisme Mesure sur mécanique Alignement optique Mesure dans le champ Courbure de champ Système correcteur Conjugaison Essais réalisés RR + RA Oui non non non Oui à F4 NA non Foyer (1) : RR rétroréflexion laser HENE, RA réduction des aberrations de champ. Page 1

1 Mesure à pleine ouverture : N=1,8 Focale : 50mm Nombre d ouverture : 1,7 Taille théorique de la tâche de diffraction : 1,4µm Fréquence théorique de coupure : 937 cycles/mm 1.1 Front d onde Ratio de Strehl : 0,44 Erreur PTV : 1586 nm Erreur RMS : 453 nm 1.2 Fonction de Transfert de Modulation MTF Sur l axe : 0 et 90 à 10 cycles par mm : 88 0 et 90 à 30 cycles par mm : 60 MTF50 : 39 cycles par mm sur les deux axes Page 2

-18,52-15,02-11,52-8,02-4,52-1,02 2,48 5,98 9,48 12,98 16,48 1,2 1 0,8 0,6 0,4 MTF MTF 0 MTF 90 0,2 0 0 200 400 600 800 1000-0,2 FMT à 0 et 90. Unité : Cycles/mm 1.3 Réponse percussionnelle Tâche de diffraction. Unité : µm Page 3

1.4 Développement de Zernike Développement standard, unité µm. Astigmatism at 0 0,0766 Astigmatism at 45 0,19 Coma at 0 0,0563 Coma at 90-0,0345 3th order spherical aberration 0,6585 Trefoil at 0 0,0019 Trefoil at 90 0,0237 5th order astigmatism at 0 0,0263 5th order astigmatism at 45-0,0392 5th order coma at 0 0,0858 5th order coma at 90-0,0682 5th order spherical aberration 0,0962 Tetrafoil at 0-0,0123 Tetrafoil at 45-0,0047 7th order trefoil at 0 0,0193 7th order trefoil at 90-0,0141 7th order astigmatism at 0 0,0118 7th order astigmatism at 45 0,0233 7th order coma at 0-0,0511 7th order coma at 90 0,0777 7th order spherical aberration -0,121 Pentafoil at 0 0,013 Pentafoil at 90-0,0218 9th order tetrafoil at 0-0,0055 9th order tetrafoil at 45-0,0075 9th order trefoil at 0 0,007 9th order trefoil at 90-0,012 9th order astigmatism at 0 0,0276 9th order astigmatism at 45 0,0108 Page 4

2 Mesure à N=4 Focale : 50mm Nombre d ouverture : 4 Taille théorique de la tâche de diffraction : 3 µm Fréquence théorique de coupure : 431 cycles/mm 2.1 Front d onde Ratio de Strehl : 0,64 Erreur PTV : 285 nm Erreur RMS : 67 nm 2.2 Fonction de Transfert de Modulation MTF Page 5

Contraste 1,2 1 0,8 0,6 0,4 MTF MTF 0 MTF 90 0,2 0 0 100 200 300 400 500-0,2 FMT à 0 et 90. Unité : Cycles/mm Fonction de Transfert de Modulation dans le champ Mesure dans le champ de 0 à 21mm tous les 3mm. Note : l objectif diaphragme à 21mm. 1 0,9 0,8 0,7 0,6 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0 0 5 10 15 20 MTF10 et MTF30, unité contraste sur 1 MTF10 0 MTF30 0 MTF10 90 MTF30 90 Page 6

-9,77-8,54-7,31-6,08-4,85-3,62-2,39-1,15 0,08 1,31 2,54 3,77 5,00 6,23 7,47 8,70 180 160 140 120 100 80 60 40 20 0 0 5 10 15 20 MTF50, unité cycles/mm MTF50 0 MTF50 90 2.3 Réponse percussionnelle Tâche de diffraction. Unité : µm 2.4 Développement de Zernike Développement standard, unité µm. Tilt at 0 0,1125 Tilt at 90 0,0123 Focus -0,0261 Astigmatism at 0-0,0373 Astigmatism at 45-0,0814 Page 7

Coma at 0-0,0293 Coma at 90 0,0144 3th order spherical aberration -0,0127 Trefoil at 0 0,0017 Trefoil at 90-0,0261 5th order astigmatism at 0-0,001 5th order astigmatism at 45-0,0249 5th order coma at 0-0,0354 5th order coma at 90-0,0125 5th order spherical aberration -0,0123 Tetrafoil at 0 0,0031 Tetrafoil at 45-0,0071 7th order trefoil at 0-0,0018 7th order trefoil at 90-0,0244 7th order astigmatism at 0-0,0046 7th order astigmatism at 45-0,0091 7th order coma at 0-0,0605 7th order coma at 90-0,0025 7th order spherical aberration -0,0452 Pentafoil at 0-0,0019 Pentafoil at 90-0,0262 9th order tetrafoil at 0 0,0034 9th order tetrafoil at 45-0,0114 9th order trefoil at 0-0,005 2.5 Spot diagramme dans le champ Axe 3mm 6mm 9mm Unité µm Page 8

3 Mesure à N=10 Focale : 50mm Nombre d ouverture : 10 Taille théorique de la tâche de diffraction : 7.4 µm Fréquence théorique de coupure : 155 cycles/mm 3.1 Front d onde Ratio de Strehl : 0,97 Erreur PTV : 74 nm Erreur RMS : 16 nm 3.2 Fonction de Transfert de Modulation MTF Sur l axe : 0 à 10 cycles par mm : 93 90 à 10 cycles par mm : 93 0 à 30 cycles par mm : 75 90 à 30 cycles par mm : 74 MTF50 0 : 59 cycles par mm MTF50 90 : 58 cycles par mm Page 9

-23,15-19,50-15,86-12,21-8,57-4,92-1,28 2,37 6,02 9,66 13,31 16,95 20,60 1,2 1 0,8 0,6 0,4 MTF MTF 0 MTF 90 0,2 0 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 FMT à 0 et 90. Unité : Cycles/mm 3.3 Réponse percussionnelle Tâche de diffraction. Unité : µm 3.4 Développement de Zernike Développement standard, unité µm. Page 10

Tilt at 0 0,1125 Tilt at 90 0,0123 Focus -0,0261 Astigmatism at 0-0,0373 Astigmatism at 45-0,0814 Coma at 0-0,0293 Coma at 90 0,0144 3th order spherical aberration -0,0127 Trefoil at 0 0,0017 Trefoil at 90-0,0261 5th order astigmatism at 0-0,001 5th order astigmatism at 45-0,0249 5th order coma at 0-0,0354 5th order coma at 90-0,0125 5th order spherical aberration -0,0123 Tetrafoil at 0 0,0031 Tetrafoil at 45-0,0071 7th order trefoil at 0-0,0018 7th order trefoil at 90-0,0244 7th order astigmatism at 0-0,0046 7th order astigmatism at 45-0,0091 7th order coma at 0-0,0605 7th order coma at 90-0,0025 7th order spherical aberration -0,0452 Pentafoil at 0-0,0019 Pentafoil at 90-0,0262 9th order tetrafoil at 0 0,0034 9th order tetrafoil at 45-0,0114 9th order trefoil at 0-0,005 Page 11