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Master 2 P&R Professionnel (depuis 2003) et Recherche (depuis 2007) PHYSIQUE ET APPLICATIONS DES PLASMAS Micro-nanofabrication, énergie, environnement, bio-ingénieries http://physique-eea.ujfgrenoble.fr/intra/formations/m2/physique/m2pro/plasma/ (descriptif détaillé des cours) ana.lacoste@ujf-grenoble.fr tél. 04 76 28 40 14 1

Les Plasmas Solide Liquide Gaz Plasma naturels décharges artificielles PLASMAS étudiés en M2 P&R Décharges artificielles (Recherche et Industrie) Champ Électrique (HF) Gaz X + Ions e- Electrons X Neutres (état fondamental) X * États excités, Métastables Espèces utilisées pour les applications plasma hν X o Radicaux 2

Domaines d applications plasmas Micro-nanofabrication Microélectronique Micro-nanotechnologies (micro-générateurs, microsystèmes) Energie ITER (plasma, sources d'ions) Cellules photovoltaïques Piles à combustible, micro batteries Environnement Traitement des effluents (COV, gaz à effet de serre) Analyse chimique Eclairage basse consommation Bio-ingénierie Biomatériaux Stérilisation plasma 3 Implants chirurgicaux

Applications des plasmas Propulsion ionique Satellite Stentor Propulseur Ionique SNECMA 4

Applications des plasmas Écran plasma Archéologie déchloration d objets antiques Éclairages Affichage Écrans 5

Applications des plasmas Métallurgie Plasma d arc pour la création de poudre Torche plasma découpe Réacteur haute pression pour la synthèse de diamant 6

Applications des plasmas Microélectronique / Micro-technologies 50 μm 200 μm 100 μm 7

Organisation de l'enseignement PARCOURS RECHERCHE 36 ECTS théoriques 21 ECTS (7 UE) PLASMA 15 ECTS (5 UE) MNE (Micro Nano Electronique) autres filières pour applications hors microélectronique (e.g. M2 PE) 24 ECTS (4 mois) Stage en laboratoire PARCOURS PROFESSIONNEL 30 ECTS théoriques 21 ECTS (7 UE) PLASMA 12 ECTS (3 UE) TC en Physique 27 ECTS (6 mois) Stage en milieu industriel 8

Formation Pré-requis M1 Physique M1 Physique-Chimie EEATS Disciplines Physique atomique Physique statistique (mécanique statistique, cinétique des gaz) Electrostatique Electromagnétisme Optique Un plus pour la microélectronique Physique du solide Semi-conducteurs et composants Nano-physique M1 Physique - option 2 ème semestre Cours : Introduction à la physique des plasmas 9

Bilan / 5 ans Situation des étudiants 2008-2009 : 6 inscrits 5 diplômés 100 % 1 embauche (IRELEC) 4 thèses (1 BDI, 2 CIFRE, 1 autre financement) 2007-2008 : 6 inscrits 6 diplômés (1 Polytech) 100 % M2P - poursuite d'études (Ecole polytechnique Québec, Management) M2R - 4 thèses (1 bourse ED, 3 autre financement) 2006-2007 : 12 inscrits 9 diplômés 100 % 6 embauches 3 thèses (1 CIFRE, 1 BDI, 1 autre financement) 2005-2006 : 14 inscrits 9 diplômés 100 % 5 embauches 3 thèses (2 CIFRE + 1 autre financement) 1 poursuite autres études 2004-2005 : 11 inscrits 9 diplômés 8 identifiés (89 %) 5 embauches (1 en dehors du domaine plasma) 2 thèses CIFRE 1 poursuite d'études (Ecole de Mines) 2003-2004 : 15 inscrits 11 diplômés 9 identifiés (82 %) 5 embauches 4 thèses CIFRE 10

Thèses Offres thèses (avec financement) par le Réseau National Plasmas Froids Plus de 20 propositions de thèse pour 2007-2008 Plus de 30 propositions de thèse pour 2008-2009 Universités / CNRS : Grenoble, Paris (Ecole de Chimie), Nancy (Ecole des Mines), Montpellier, Orléans, Nantes Heindhoven University of Technology, Université de Neuchatel (Suisse), Montréal (LITAP) 11

Bilan / 5 ans Sociétés (embauches et/ou thèses CIFRE) ALCATEL Vacuum & Technology (2 Annecy 2005, 1 Etats Unis 2004) ST Microelectronics (2 Crolles, 1 Italie, 1 CIFRE en cours) Oerlikon-Balzers (Liechtenstein, 2007) THALES Avionics (2007) RC Lux (2006 et 2007) IONITEC (2004) DALSA (Québec, 2006) Raynor (Québec, 2006) ATMEL (CIFRE 2004-2007) HEF R&D (CIFRE 2007-2010) THALES Electron Devices (CIFRE 2007-2010) LETI (3 CIFRE ) Xenocs (2006) Dolphin Integration (2007) CORIAL (2007) Institut de Recherche (Algérie, 2004) CNRS (2008) 12

Bilan / 5 ans Emplois dans le secteur public : laboratoires de recherche Emplois en milieu industriel R&D microélectronique et hors microélectronique ou Production Ingénieur Système Ingénieur Procédé Ingénieur Support Ingénieur Expert Descriptif des emplois Mise au point des procédés (nouveaux matériaux, nouveau procédés) - recettes d'élaboration Mise au points de recettes de fabrication des composants (microélectronique, micro-nanotechnologies) Développement / optimisation des technologies plasma (réacteurs - sources plasma) Support technique client pour équipements et procédés plasma Support technique en production 13