Fonctionnement 0 to 30 C Etuvage 150 C Aluminium, Titane, Acier inoxydable

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1 Photo non contractuelle Photo non contractuelle La série NLS X est une gamme de produit basée sur une technologie fiable permettant d effectuer des déplacements horizontaux (XY) avec une résolution nanométrique. Ces tables ont été créées pour répondre aux nouveaux besoins en matière de nanotechnologies (ex. Microscope Electronique à Balayage, Lithographie laser, Microscopie à Force Atomique, fabricants de circuits intégrés (gravure wafer), ) Caractéristiques Moteur Pression Contrôleur Capteurs de déplacement Course Résolution statique Résolution dynamique Rectitude dans les trois directions Charge admissible Mode de scanning Vitesse maximale Sens de travail Températures Matériaux Dimensions (pour table 5mm de course) Spécifications Voice-coil (VC) Atmosphérique (ATM), Vide primaire (LV), Vide secondaire (HV) ou Ultravide (UHV) Boucle ouverte (OL) ou fermée (CL) *Capacitif (C) ou Optique (O) De 0.5 à 5 mm Course de 0.5 mm : 0.375nm à 2Hz Course de 0.5mm : 10nm à 8KHz ±25 nm (course de 2mm) 250 g (NLSx...5) A la volée (Fly scan) 10 mm/s Horizontal Fonctionnement 0 to 30 C Etuvage 150 C Aluminium, Titane, Acier inoxydable Voir croquis ci-dessous * Informations complémentaires disponibles sur demande.

2 Référence Course (mm) Dimensions (mm) NLS x *40x40x30 NLS x...1 and 2 1 and 2 *60x60x30 NLS x x100x41.5 *Dimensions approximatives Vue de côté Outils de bridage (optionnels) Mouvement de l axe Vue de dessus Taille et dimensions : pour la référence NLSx Al VC UHV CL C 5 Nous pouvons discuter de vos besoins et travailler ensemble sur une version spécifique. Nous serons heureux d adapter nos produits et leurs spécifications à vos exigences.

3 Nos solutions de contrôleurs de mouvement NLS Application client Pilotes Contrôleur NLS ISP SYSTEM Contrôleur OEM OEM Carte d acquisition National Instrument Système PXI National Instrument Système déporté National Instrument BOÎTIER ELECTRONIQUE DE PILOTAGE ISP SYSTEM A Etage de puissance + Conditionneur Table de positionnement NLS

4 Contrôleur NLS Contrôleur OEM Système PXI Carte d acquisition Système déporté Résolution 24 bits 24 bits 24 bits 16 bits 16 bits Architecture système Contrôleur autonome Contrôleur autonome Système d acquisition temps réel déporté Carte placée à l intérieur du PC Système d acquisition temps réel déporté Communication USB FireWire Ethernet Interne au PC Ethernet Alimentation contrôleur VAC/50-60Hz VAC/50-60Hz VAC/50-60Hz Interne au PC 24VDC/1A (*) Alimentation moteur ±15VDC/2A (*) ±40VDC/3A (*) +24V/3A faible bruit (*) Capteur capacitif Oui Non Oui Capteur optique Oui Oui Non Entrées numériques 8 TTL 8 TTL 2 réservées (**) ; TTL Sorties numériques 8 TTL 2 TTL 3 réservées (**) ; TTL Entrées analogiques 4 ±10V 24 bits 4 entrées ±10V 16 bits 1 réservée (**) ; ±10V 24 bits 1 réservée (**) ; ±10V 16 bits Sorties analogiques 4 ±10V 24 bits 3 sorties ±10V 16 bits 1 réservée (**) ; ±10V 24 bits 1 réservée (**) ; ±10V 16 bits Asservissement Profils d asservissement Manuel, à la volée, pas à pas Position et vitesse Manuel Manuel Manuel Manuel Entrée de synchronisation Oui Non Non Non Non Sortie de synchronisation Oui Non Non Non Non Température d utilisation 0 à 50 C 0 à 50 C 0 à 55 C 0 à 40 C -20 C à +55 C Température de stockage -20 C à +70 C -30 C à +85 C -20 C à +70 C -20 C à +70 C -20 C à +70 C (*) : les alimentations ne sont pas fournies (**) : nous consulter pour un mapping différent des entrées/sorties

5 Logiciel de contrôle de mouvement Les tables linéaires de d ISP System peuvent être pilotées par différents types de contrôleur comme le montre le tableau précédent. Chaque solution dispose de son propre logiciel et donc de sa propre architecture. Pour permettre la meilleure intégration possible de chaque contrôleur, les pilotes et/ou les applications de démonstration sont fournies à l utilisateur. Ainsi, le développement d une application de pilotage est simplifié permettant un démarrage rapide et une mise en œuvre aisée. Le contrôleur NLS et le contrôleur OEM sont des interfaces fonctionnant sur plateforme Windows qui fournissent des outils puissants pour le diagnostic, le développement et l analyse (tâches d automatisation simples, observation du comportement du système, optimisation du système, ), le tout sur une plateforme facile à utiliser. Le mode jog permet à l utilisateur de programmer des profils de déplacement et de les exécuter manuellement ou en fonctionnement. Le contrôleur NLS dispose d un mode spécial qui permet d exécuter immédiatement des commandes en les envoyant depuis un PC via USB. Le mode jog est complété par les modes fly-scan et pas-à-pas qui permettent de synchroniser les acquisitions et les déplacements de la table sur la même horloge. Le transfert de données synchrone peut être effectué par l utilisateur et les acquisitions peuvent être synchronisées sur une entrée de type «Master clock». Les données sont stockées sur une mémoire interne et peuvent être lues (téléchargées) plus tard. Les contrôleurs basés sur des produits National Instruments peuvent être pilotés par une interface LabVIEW. Les profils de mouvement sont conçus et développés pour optimiser le déplacement de la table et obtenir le meilleur comportement. Contrôleur NLS Contrôleur OEM Contrôleurs basés sur des produits NI Plateforme Logiciel NLS Logiciel OEM LabVIEW 2009 et 2012 Langages supportés C, C++, LabVIEW (VIs fournis), C#, VB.NET, C, C++, LabVIEW (VIs fournis), C, Matlab, Système d exploitation Windows Windows Windows et Linux Profils de fonctionnement Manuel, jog, flyscan et pas-à-pas Manuel et jog Acquisition de données Synchrone Synchrone Manuel Selon la version du contrôleur (*) Synchronisation Oui Non Non Gestion par PLC Oui Oui (*) : Pour obtenir de plus amples informations, nous contacter Selon la version du contrôleur (*)

6 Code commande des tables NLSx Al VC UHV CL C 5 Série NLS: Table de nano positionnement Axis: x Matériau: Aluminium, Titane, Acier Inoxydable Moteur VC: Voice-coil Pression ATM: LV: HV: UHV: Contrôleur OL: CL: Atmosphérique Vide primaire Vide secondaire Ultravide Boucle ouverte Boucle fermée Capteur de déplacement C: Capacitif O: Optique X: Aucun (boucle ouverte) Course 0.5: 0.5 mm 1: 1 mm 2: 2 mm 5: 5 mm Exemple de code article Pour une table en aluminium compatible ultravide avec un contrôleur en boucle fermée, un capteur capacitif et une course de 5mm le code commande est : NLSxA_VC_UHV_CL_C_5.

7 Code commande des contrôleurs CT NLS 24 CL Série NLS: OEM: PXI: ACQ: REM: Contrôleur NLS Contrôleur OEM Contrôleur PXI Carte d acquisition Système déporté Résolution 24: 24 bits 20: 20 bits 16: 16 bits Asservissement OL: CL: Boucle ouverte Boucle fermée Exemple de code article Pour un contrôleur NLS 24 bits fonctionnant en boucle fermée le code est : CT NLS 24 CL