Régulateur de débit massique (MFC) pour gaz

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Françoise Faubert
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1 Régulateur de débit massique (MFC pour gaz Type 8713 version standard Régulateur de débit avec technologie CMOSens pour des débits de 20 ml N /min à 80 l N /min (N 2 Type 8713 Version pour embase Le Type 8713 peut être connecté à... Précision accrue Temps de réponse rapide Conception compacte et communication digitale Type 0330 Electrovanne 3/2 ou 2/2 Type 6013 Electrovanne 2/2 Mass Flow Communicator Logiciel de configuration Le type 8713 est un appareil de régulation de débit massique de gaz, qui est pertinent pour la plupart des applications de process technique. La valeur mesurée par le capteur est comparée par le régulateur électronique digitale du type 8713 avec la valeur de consigne donnée via la RS485. Dans le cas d'une différence entre la mesure et la consigne, l'ouverture de l'électrovanne proportionnelle est modifiée par l'algorithme PI. Du fait de la localisation directe du capteur dans le canal de dérivation, ce MFC a un temps de réponse rapide. Le débit massique peut être maintenu, même en cas de variations de pressions ou autres changement dans le process. Le type 8713 peut être étalonné pour deux gaz différents, l'utilsateur ayant la possibilité de commuter d'un gaz à l'autre. Caractéristiques techniques Gamme de débit pleine échelle 1 (Q nom Fluides Pression de service max. (pression d'entrée 0.02 à 80 l N /min (N 2 (Voir tableau page 2 Gaz neutre, non contaminés, autres gaz sur demande 10 bar (145 psi selon le diamètre nominal de l'électrovanne Fluide d'étalonnage Gaz réel ou air avec facteur de conversion Température du fluide -10 à +70 C Température ambiante -10 à +50 C Précision (Après 1 min. de préchauffage ± 0.8% de la mesure ±0.3% de pleine échelle Vanne de régulation Normalement fermée (Electrovanne proportionnelle Diamètre de l'électrovanne Valeur k vs 0.05 à 2.0 mm à 0.09 m 3 /h Branchement électrique Prise sub-d 9 broches Alimentation 24V DC Tolérance de tension ± 10% Ondulation résiduelle < 2% Consommation électrique Max. 7.5W selon la vanne Communication Classe de protection Digitale via RS485, RS232 avec adaptateur IP50 Linéarité Répétabilité Plage de mesure ±0.1% de pleine échelle ±0.1% de pleine échelle 1: 50, plage de mesure plus importante sur demande Dimensions [mm] (Appareil avec raccordement taraudé Poids total Position de montage 107 x 81.5 x 28 mm (longueur x hauteur x profondeur Env. 500 g (corps aluminium Horizontal ou vertical Temps de réponse (t 95% < 300 ms Matériau du corps Aluminium ou inox Matériau du boîtier Tôle en acier chromée Matériau du joint FKM, EPDM, autres sur demande Raccordement au process NPT 1/4, G 1/4, A visser ou montage sur embase, Autres sur demande 1 aux conditions standards (DIN 1343: bar(a et 0 C Affichage par LED (par défaut, autres attributions possibles Entrée binaire (Par défaut, autres attributions possibles Sortie binaire (Par défaut, autres attributions possibles Indication d'alimentation, Limite, Défaut Activation de la fonction Autotune Une sortie relais pour Consigne non atteinte Charge max.: 25V, 1A, 25VA p. 1/5

.. Précision accrue Temps de réponse rapide Conception compacte et communication digitale Type 0330 Electrovanne 3/2 ou 2/2 Type 6013 Electrovanne 2/2 Mass Flow Communicator Logiciel de configuration

2 Principe de mesure Le débit réel est détecté par un capteur. Ce capteur fonctionne selon un principe thermique qui a l'avantage de donner le débit massique sans avoir à apporter de correction pour la pression ou la température. Une petite quantité du flux gazeux total est dérivée à l'intérieur d'un canal de dérivation, canal qui assure des conditions d'écoulement laminaire. L'élément capteur est une puce placée dans la paroi de ce canal. La puce, de technologie CMOS, contient une résistance chauffante et deux capteurs de température (piles thermo-électriques positionnées symétriquement en amont et en aval de l'élément chauffant. La différence de tension des piles thermo-électriques est une mesure du débit massique circulant par ce canal de dérivation. La procédure d'étalonnage permet une calibration unique du capteur pour un débit total passant dans l'appareil. Gaz Min. Q Nom [Nl/min] Acétylene Argon Hélium Gaz Carbonique Air Méthane Propane Oxygène Azote Hydrogènen Max. Q Nom [Nl/min] Remarques à propos du choix de l'appareil Pour définir le bon choix de l'orifice de l'actionneur dans le MFC, il faut connaître le débit maximum Q nom, mais aussi les valeurs de pressions directement à l'entrée et à la sortie du MFC (P 1, P 2. En général, ces pressions ne sont pas les mêmes que l'ensemble des pressions d'entrée et de sortie de l'installation, car il y a souvent des pertes de débit supplémentaire (tubes, obturateurs, buses,... présentes à l'entrée et à la sortie du régulateur. Veuillez compléter le formulaire p. 5 et indiquer les pressions directement situées à l'entrée et à la sortie du MFC. Si elles sont inconnues ou inaccessibles pour être mesurées, une estimation est nécessaire en prenant en compte la chute de pression approximative avant et après le MFC pour un débit nominal Q nom. En plus, merci de donner la pression d'entrée P 1max à prendre en compte. Cette information est nécessaire pour être sûr que l'électrovanne puisse assurer la fonction de fermeture étanche dans les conditions d'utilisations spécifiées. Merci de joindre à votre demande de cotation et à votre commande le questionnaire page 5 dûment rempli. Utilisez l'expérience de nos ingénieurs Bürkert dès la phase de conception et transmettez l'ensemble de votre demande comprenant les données techniques de votre application. Tableau de commande des accessoires (les connecteurs ne sont pas compris dans la livraison à commander séparément Article Code Ident. Connexion électrique 9 broches Connecteur Sub-D 9 pôles à souder, avec boitier Adaptateur Adaptateur RS232 - pour connexion à un PC Câble PC pour port/prise RS232 9 broches, 2m Adaptateur USB Logiciel de communication MassFlowCommunicator Infos à télécharger sur p. 2/5

Une petite quantité du flux gazeux total est dérivée à l'intérieur d'un canal de dérivation, canal qui assure des conditions d'écoulement laminaire.

3 Dimensions [mm] Version standard avec raccord taraudé Version pour montage sur embase p. 3/5

4 Configuration Pin Broche Connexion 1 Entrée binaire (rattachée à GND PIN2 2 GND 3 Alimentation +24V DC 4 Relais, contact C 5 Relais, contact normalement fermé 6 TX+ (RS485-Y à Half-Dublex ; pont avec PIN 9 7 TX- (RS485-Z à Half-Dublex ; pont avec PIN 8 8 RX- (RS485-B 9 RX+ (RS485-A Raccordement Réseau Maître : Ex : Automate avec interface RS485 Esclaves (max. 32 Régulateur de débit massique p. 4/5

Half-Dublex ; pont avec PIN 9 7 TX- (RS485-Z à Half-Dublex ; pont avec PIN 8 8 RX- (RS485-B 9 RX+

5 Applications MFC/MFM - demande de définition Veuillez compléter ce formulaire et l'envoyer à votre agence* Bürkert avec votre demande de renseignements Note Vous pouvez compléter les champs directement dans le document PDF avant de l imprimer. Société Personne à contacter N Client Service Adresse Code postal/ville Tél./Fax Application MFC Application MFM Quantité Date de livraison souhaitée Données du gaz Type de gaz (ou % de gaz dans les mélanges Densité [kg/m 3 ] 1 Température du gaz [ºC ou ºF] Teneur en humidité [g/m 3 ] Composants abrasifs / particules solides Données fluidiques non ºC ºF Oui comme suit Débit maximum Q nom Débit minimum Q min l N /min 1 cm N3 /min 1 m N3 /h 1 cm S3 /min (sccm 2 kg/h l S /min (slpm 2 l N /min 1 cm N3 /min 1 m N3 /h 1 cm S3 /min (sccm 2 kg/h l S /min (slpm 2 Pression d'entrée pour Q nom Pression de sortie pour Q nom Pression d'entrée max. p 1max Canalisation (Ø extérieur Raccordement process MFC/MFM Installation Température ambiante Métrique, mm Impérial, pouce Sans raccord à visser Taraudage 1/4 G (DIN ISO 228/1 Taraudage 1/4 NPT (ANSI >B1.2 Avec raccord à visser Version pour embase Horizontal, vanne debout (Standard Horizontal, vanne couchée Vertical, écoulement d'en haut Vertical, écoulement d'en bas ºC Données matériaux Matériau du corps Matériau du joint Aluminium Inox FKM EPDM Autres Veuillez reporter toutes les valeurs de pression et de surpression par rapport à la pression atmosphérique [bar] 1 2 à : bar (a et 0ºC à : bar (a et 20ºC Pour trouver l'agence Bürkert la plus proche, cliquer sur la boîte Pour toute autre application, veuillez nous consulter. Sujet à modification. Christian Bürkert GmbH & Co. KG 1003/1_FRfr_ p. 5/5

/Fax E-mail Application MFC Application MFM Quantité Date de livraison souhaitée Données du gaz Type de gaz (ou % de gaz dans les mélanges Densité [kg/m 3 ] 1 Température du gaz [ºC ou ºF] Teneur en

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