Systèmes de déplacement automatisés pour tests, mesures et inspections

Dimension: px
Commencer à balayer dès la page:

Download "Systèmes de déplacement automatisés pour tests, mesures et inspections"

Transcription

1 Profilométrie de surface Tests de capteur Systèmes de déplacement automatisés pour tests, mesures et inspections Inspection des semi-conducteurs et métrologie Automatisation intégrée et acquisition de données Systèmes pour salle blanche et sous vide poussé Dédié aux Sciences du Déplacement Aerotech Worldwide États-Unis Allemagne Royaume-Uni Japon Chine Taïwan France

2 Capacités de test, de mesure et d inspection Depuis 1970, Aerotech se consacre au développement de solutions industrielles de test, de mesure et d inspection. Notre savoir-faire couvre les systèmes en atelier de production, en laboratoire R&D, dans les salles blanches et les chambres à vide. Notre capacité à fournir des produits et des systèmes spécialement adaptés aux besoins des utilisateurs finaux, des intégrateurs et des fabricants OEM à grand volume est inégalée et notre gamme offre qualité, performances, polyvalence et retour sur investissement maximum. Tests de capteurs Platines de rotation calibrées mono-axe et multiaxes Logiciel de simulation de déplacement Commandes avancées Excellente stabilité de vitesse et de position 5 Profilométrie de surface 15 Plateforme de mesure de surface compacte (SMP) Drivers linéaires Support de système intégré Mesure des wafers, des systèmes optiques et des formes cylindriques Tests non-destructifs 19 Inspection aux rayons X Tests par ultrasons Grande choix de composants Drivers linéaires Moteurs linéaires et rotatifs 2

3 Inspection et métrologie des semi-conducteurs Ellipsométrie, scanning par interférométrie en lumière blanche, mesures par palpage Platines à moteur linéaire haute performance Platines rotatives et verticales à entraînement direct de faible épaisseur Chuck à dépression avec mise à niveau intégré en option Contrôleurs digitaux linéaires ou PWM 23 Systèmes pour salle blanche et sous vide poussé Tests de système de navigation inertielle pour satellite Scanning pour la microscopie électronique Polissage d optiques Option de vide de 10-3 à 10-8 Expérience des applications sous vide 35 Automatisation et acquisition de données intégrées Contrôleurs standalone et sur PC Intégration PLC et déplacement avec MotionPAC Interface opérateur Acquisition de données Sensor Fusion Fonctions avancées de commande et de réglage 41 3

4 Table des matières SIÈGE SOCIAL Aerotech, Inc. 101 Zeta Drive Pittsburgh, PA États-Unis Tél. : Fax : Aerotech Royaume-Uni Jupiter House, Calleva Park Aldermaston, Berkshire RG7 8NN, United Kingdom Tél. : Fax : Aerotech Allemagne Südwestpark Nuremberg, Allemagne Tél. : Fax : Aerotech Japan chome Kitahoncho Funabashi-shi Chiba-ken, , Japon Tél. : Aerotech Chine Unit 3328, 33/F, China Merchants Tower, Connaught Road Central, Hong Kong Tél. : Aerotech Taïwan 1F No. 42 Lane 128 Jing Ye 1st Road Zhongshan District, Taipei, Taïwan RDC (104) Tél. : Aerotech France BP Villemandeur Cedex France Tél. : Capacités de test, de mesure et d inspection...2 Tests de capteurs Tests et étalonnage de capteur inertiel...6 Simulateurs de déplacement...8 Tests de capteur standards...12 Profilométrie de surface Plateforme de mesure de surface (SMP)...16 Solutions traditionnelles de profilométrie et de mesure...18 Tests non-destructifs Inspection aux rayons X...20 Tests par ultrasons...22 Inspection et métrologie des semi-conducteurs Mesure de film fin...24 Inspection de wafers...26 Microscopie à force atomique...28 Détection de défauts/balayage de particules...30 Caractérisation magnétique et électrique...32 Inspection de réticules...33 SEM, TEM, FIB...34 Systèmes pour salle blanche Capacités pour salle blanche...36 Systèmes sous vide poussé Applications sous vide...38 Plateforme de test rotative...40 Automatisation et acquisition de données intégrées Solutions d automatisation intégrées d Aerotech...42 Commandes standards...44 Commandes avancées...45 Acquisition de données Sensor Fusion...46 MotionPAC...48 Un grand éventail d options de driver...50 Déplacement rotatif et linéaire Solutions de déplacement rotatif...52 Solutions de déplacement linéaire...56 Platines XY à coussin d air...58 Nano-positionneurs...60 Des composants aux solutions intégrées...64 Pourquoi être partenaire avec Aerotech...65 Systèmes customisés...66 Capacités dans d autres marchés...68 Formation et support dans le monde...70 Prix et récompenses...71 Copyright 2012, Aerotech, Inc. Les informations de cette brochure sont sujettes à changement sans préavis. 4

5 Tests de capteurs

6 Tests et étalonnage de capteur inertiel Quels que soient la taille, la composition, les degrés de liberté ou la quantité de capteurs, Aerotech dispose d une solution de test et d étalonnage des capteurs inertiels d aujourd hui. Nos solutions sont conçues pour induire des accélérations, des positions et des excitations sinusoïdales en vue de tester et d étalonner les accéléromètres, les gyroscopes, les systèmes de navigation inertielle, les gyroscopes à fibre optique, les appareils de mesure inertiels et les systèmes stabilisés. Couplées à nos contrôleurs de pointe incluant la suppression d harmoniques, le logiciel Motion Simulator, le logiciel Motion Designer, et de nombreuses autres commandes avancées, ces solutions vous garantissent des tests et un étalonnage précis et très répétable. Applications Accéléromètres Gyroscopes Étalonnage de MEMS Appareils de mesure inertiels Caractéristiques et avantages Simulateurs de déplacement à entraînement direct de haute précision Couple reluctant nul Couple élevé Coussins d air ou roulements mécaniques Acquisition de données en temps réel Modes en position, vitesse et oscillation Importation de profil d utilisateur Outils de programmation faciles à utiliser Joints tournants électriques ou câbles torsadés d alimentation et de transmission de signaux des unités sous test Des systèmes mono-axes économiques aux systèmes à trois axes haute performance 6

7 Platines de rotation de précision à entraînement direct calibrées en vitesse et en position Roulements à contact oblique ou coussins d air à haute capacité de charge Contrôle en boucle fermée extrêmement précis Moteur brushless sans encoche pour un déplacement régulier sans couple reluctant Grand choix de joints tournants électriques intégrés à faible bruit, pour les signaux et l alimentation du client Plusieurs types de moteur pour configurations à haute vitesse ou à couple élevé Excellentes performances d erreur de déplacement Orifices doubles pour liquide ou gaz Design faible maintenance Résolution de position jusqu à 0, (0,1 μrad) (0,02 seconde d arc) ARMS-260 ARMS-200 ARMS-150 Erreur de position sans suppression d harmoniques Erreur de position avec suppression d harmoniques Le problème Une excitation sinusoïdale est souvent nécessaire pour effectuer des tests sur un dispositif inertiel ou pour l étalonner. La nature même du test introduit des erreurs de déplacement à la fréquence d excitation et à d autres harmoniques d ordre plus élevé. Si elles ne sont pas corrigées, ces erreurs risquent de fausser les résultats du test ou l étalonnage, ou de provoquer des défauts évitables d assurance qualité. Commande avancée : suppression des harmoniques La solution La suppression d harmoniques, qui fait partie de notre boîte à outils de commandes dynamiques, vous permet de compenser facilement toute perturbation provoquée par la fréquence d excitation ou par une charge déséquilibrée. Cette fonction s adapte à l amplitude et à la fréquence de la source d erreur. Un assistant de configuration facile d emploi est fourni sur le scope digital et le simulateur de déplacement. Aerotech comprend que toute perturbation est inacceptable et a développé une suppression d harmoniques sur tous ses contrôleurs afin de supprimer ces erreurs, ce qui conduit aux résultats de test et d'étalonnage les plus précis. 7

8 Simulateurs de déplacement - GUI Caractéristiques principales : Pour simulateurs de déplacement à 1, 2 ou 3 axes Interface utilisateur graphique conviviale Importation du profil de déplacement graphique PVAT (position, vitesse, accélération, temps) Sortie synchronisée avec la position (PSO) pour synchronisation d événement temps réel Suivi de trajectoire à partir d entrées digitales, analogiques ou programmées Le mode de réponse en fréquence permet un balayage d entrée sinusoïdal et la validation des performances des unités sous test du dispositif client. Apprentissage itératif pour minimiser les erreurs de position. GUI en mode client-serveur permet un traitement et un contrôle en parallèle par le réseau Ethernet La suppression d harmoniques minimise les erreurs de position créées par les déplacements sinusoïdaux. L'écran de Tracking permet de sélectionner les signaux externes de suivi Motion Designer Écran principal Réponse en fréquence Programme Analyse des données 8

9 Simulateurs de déplacement - mono-axe Table calibrée en vitesse mono-axe ARMS Les configurations mono-axes incluent en option un support autonome ultra-rigide avec pieds réglables Reconfigurable pour une course continue ou limitée Joint tournant électrique sur mesure en option Orientation verticale ou horizontale Taille de plateau interface customisable Zone de montage de plusieurs unités sous test (UUT) sur nos interfaces de grande taille pour tests simultanés ARMS-260 Charge utile de 227 kg Accélération sans charge > /s 2 Vitesse minimale 0,001 /s Rotation ou oscillation à vitesse élevée Acheminement de la puissance et des signaux UUT par des joints tournants Mouvement de tilt Commande sur PC par le logiciel de simulation de mouvement Aerotech et les électroniques montées en rack Npaq ou HLE Platine de rotation calibrée en vitesse mono-axe haute précision avec tilt Permet de travailler à différents angles d'inclinaison Montée sur une rotation à vis tangente assurant le tilt 9

10 Simulateurs de déplacement deux axes Des simulateurs de déplacement sur deux axes sont utiles pour les tests d'axe simultanés des capteurs de position, de vitesse et d'accélération. Platine de rotation calibrée en vitesse deux axes avec électronique intégrée Rotation continue des deux axes Déplacements sans à-coups, grâce aux moteurs brushless sans encoches sans couple reluctant Joints tournants électriques pour puissance et signaux capteurs Joints tournants d alimentation gas/liquide Roulis continu Base machine contient le contrôleur de déplacement, les drivers digitaux linéaires et le bandeau de sécurité avec arrêt d'urgence. Tests des centrales inertielles et des systèmes gyroscopiques Lacet continu Arrêt d urgence déporté pour sécurité ergonomique p 1 0,8 0,6 0,4 Précision (arcsec) 0,2 0-0,2-0,4-0,6-0,8 Vers l avant Vers l arrière Moyenne -1 Graphique de précision supérieure à ±1 arcsec (±4,85 μrad) Position (degrés) ALAR-150 ES12803 DWH Options de PC à distance ou intégré Drivers linéaires et commande d arrêt d urgence intégrés pour minimiser l'espace au sol 10

11 Simulateurs de déplacement trois axes Les simulateurs de déplacement à trois axes assurent des mouvements de roulis, de tangage et de lacet simultanés pour les profils de vitesse angulaire dans l espace 3D réel. Roulis, tangage et lacet continus Concept à encombrement réduit pour le test des gyroscopes MEMS Conception modulaire basée sur les rotations de la série ARMS Course continue ou limitée en option Pied support en option La précision et le voilage sont testés sur chaque simulateur de déplacement. Le voilage typique est inférieur à 10 μrad. La précision typique est de ±5 à ±10 μrad. Précision (arcsec) 1 0,8 0,6 0,4 0,2 0-0,2-0,4-0,6-0,8-1 Vers l avant Vers l arrière Moyenne Position (degrés) Platine de rotation en vitesse mono axe intégrées dans une étuve Montage vertical ou horizontal disponible Temps de cycle fiable pour tests en température 11

12 Tests de capteurs standards Les produits fabriqués de nos jours contiennent des capteurs d une grande diversité de formes et de tailles, qui leur permettent de fonctionner de façon plus intelligente et plus sûre. Il est donc essentiel de tester le bon fonctionnement de ces capteurs. Quel que soit le type de capteur, Aerotech a une solution répondant à vos besoins. Applications Capteurs de position Détecteurs infrarouges Capteurs automobiles Capteurs de pression Produits APR ADRT/ADRS Série PRO (vis à billes et moteur linéaire) AGC ACS AGS1500 Solutions personnalisées Contrôleurs multiaxes A3200 et Ensemble Caractéristiques et avantages Excellente stabilité de vitesse Mise en position rapide Rendement élevé Grande précision Des composants au système clé en main Large choix de platines Interface utilisateur personnalisable Environnement de développement intégré (IDE) Techniques de contrôle commande avancées ADRS APR PRO165LM 12

13 Une variété de platines de déplacement linéaire pour chaque application ANT130-L : platine à moteur linéaire à résolution nanométrique PRO165LM-XY : Combinaisons standards XY, XYZ et XYθ ACT115 : actionneurs à faible coût et à délais rapide de livraison MPS75SL : platine linéaire miniature à vis Vaste sélection de contrôleurs intégrés Série Ensemble Série Soloist 13

14 Tests de capteurs standards Goniomètres AGC Goniomètres pour environnements de test uniques Drivers linéaires pour environnements de test délicats Solutions intégrées pour minimiser les temps de mise en route Drivers linéaires Ndrive (ML, CL, HLe) Le problème Les capteurs actuels ont une grande diversité de formes et de tailles, avec des fonctionnalités de plus en plus variées. En tant que développeur et fabricant de ces capteurs, vous attachez une grande importance aux phases de test et d inspection. Aerotech sait que vous avez souvent besoin de solutions de tests et d étalonnage personnalisées. La solution Nos ingénieurs mécaniciens, électriciens et systèmes développeront avec vous une solution correspondant exactement à vos exigences de test. Nous pouvons fournir une personnalisation à tous les niveaux. Des moteurs spéciaux aux platines personnalisées et aux machines complètes avec capot fermé, sécurité et consoles, Aerotech est votre unique fournisseur pour vos besoins d automatisation customisés. 14

15 Profilométrie de surface 15

16 Plate-forme de mesure de surface (SMP) La plate-forme de contrôle de déplacement pour mesure de surface d'aerotech (SMP) est une solution unique de profilométrie de surface. La SMP est particulièrement bien adaptée aux mesures et aux tests d'objets symétriques en rotation, mais aussi d objets plus petits asymétriques. Avec un encombrement mécanique minimal, des commandes intégrées et des options polyvalentes de capteurs, la SMP peut être facilement installée dans tout laboratoire, centre d'essai ou atelier de fabrication. Les axes R et Thêta sont disponibles avec paliers à coussins d'air ou mécaniques, offrant une solution pour tous les budgets. Caractéristiques et avantages Idéale pour les objets à symétrie de rotation Comprend jusqu à 4 axes de déplacement sous un format compact - Disponible avec palier mécanique ou à coussin d air Mesure possible des surfaces supérieures et latérales pour des pièces plates ou sphériques Conception mécanique permettant diverses options de capteurs - Interféromètre à lumière blanche - Interféromètre à plusieurs longueurs d onde - Système de vision - Sondes de contact Modèle compact 60 % plus petit que les systèmes cartésiens traditionnels Modèle haute vitesse 40 % plus rapide que les systèmes cartésiens traditionnels Excellente répétabilité de position, de l ordre du nanomètre Technologie de driver linéaire Architecture logicielle polyvalente à intégration facile Techniques de contrôle commandes avancées, afin d éliminer les perturbations de l'environnement Interface d'opérateur personnalisable pour réduire les temps de programmation RR TT Z C 16

17 Position Le problème Les composants mécaniques et les commandes sont seulement des éléments d une machine de profilométrie ou d inspection complète. L intégration des capteurs, le développement des procédés et l'acquisition des données sont des éléments beaucoup plus importants. Il est souvent long et difficile de coordonner la position de la partie mécanique avec les valeurs des capteurs. Il est aussi nécessaire d intégrer les résultats dans une interface d'utilisateur performante avant de mettre le produit final sur le marché. Temps Grâce au module d amélioration de rendement ETM d Aerotech, augmentez la stabilité de la vitesse et réduisez les délais de mise en position en présence de vibrations. La solution Aerotech offre une série d'outils logiciels puissants qui permettent de développer plus rapidement une interface adaptée. C# VB.NET Managed C++ LabVIEW (VI fournis) Bibliothèque C EPICS, TANGO IEC Motion Designer - Génération graphique de trajectoires et analyse de données VI LabVIEW de programmation d interface personnalisée Utilisez l'interface d opérateur Aerotech pour un déploiement rapide 17

18 Solutions traditionnelles de profilométrie et de mesure Les applications de profilométrie de surface posent divers types de difficultés en ce qui concerne la technologie des commandes de déplacement : les systèmes avancés sont munis de sondes extrêmement sensibles, ce qui contraint de réduire le plus possible les déplacements parasites (planéité, par exemple), et l acquisition rapide des données ne doit pas être ralentie par le contrôleur. Les plates-formes de balayage intégrées d Aerotech offrent des fonctions clés qui augmentent à la fois le rendement et les performances. Produits Gantry à moteur linéaire AGS10000 et AGS15000 Nano-positionneur multiaxes ANT130-XY Nano-positionneur vertical ANT130-L-Z Composants pour solutions personnalisées Caractéristiques et avantages Stabilité de position Haute précision Coût global de possession inférieur Du composant au système clé en main Des solutions à tous les niveaux de précision - Platines à vis à billes - Platines à moteur linéaire - Platines à coussin d air Série AGS15000 Gantry cartésien ANT130-XY et ANT130-L montés sur une base/un pont en granit 18

19 Tests non-destructifs

20 Inspection aux rayons X Aerotech comprend les défis posés par les technologies à rayons X actuelles et fournit les composants et les platines nécessaires pour tous les domaines d inspection aux rayons X. Avec des tolérances de plus en plus basses, la précision des axes est de plus en plus importante. C est pourquoi vous devez choisir vos produits chez un fournisseur capable de pourvoir à vos besoins non seulement aujourd'hui, mais également demain. Produits Platines à vis à billes PRO115 et PRO165 Platine rotative à engrenage AGR Platine ADRS à entraînement direct et roulement mécanique Platines rotatives à entraînement direct et coussin d air ABRS et ABRT Solutions personnalisées Caractéristiques et avantages Fonctionnement basse vitesse précis Excellente stabilité de vitesse Solutions de commande pour tous les axes Grand choix de composants Platine rotative à engrenage AGR-50 Platine ABRS-200MP à entraînement direct et roulement coussin d air Platine linéaire à vis à billes PRO

21 Le problème Les machines d inspection à rayons X nécessitent des axes différents, avec des niveaux de précision variés. Les axes inutilisés pendant les phases de tests nécessitent souvent une technologie de type engrenage ou vis à billes seulement, mais les autres peuvent exiger un déplacement à entraînement direct ou même une précision de niveau coussin d air. Drivers linéaires pour faible émission électromagnétique et commande de vitesse sans à-coups ABL1500Z avec platine rotative ABRT Platines rotatives à entraînement direct et coussin d air ABRT La solution Aerotech a une vaste gamme de platines et de composants satisfaisant tous les besoins des machines d inspection à rayons X. Au niveau composant, nous disposons de moteurs linéaires, de moteurs rotatifs et de solutions de commande. Nos platines à vis à billes série Pro et nos platines rotatives à engrenage série AGR sont parfaites pour les axes non utilisés pour les tests. Pour les axes de test, nous offrons un grand choix d'options à entraînement direct et à coussin d air, capables de répondre à toutes les spécifications. 21

22 Tests par ultrasons Que vous recherchiez une machine de test aux ultrasons complète ou seulement les composants pour bâtir votre propre système, Aerotech a la solution. À notre grand choix d'actionneurs motorisés linéaires, de systèmes rotatifs à engrenage et de platines à vis à billes s'ajoute notre gamme complète de commandes parfaitement intégrées, pour vous offrir la meilleure solution, disponible auprès d'un même fabricant. Gantry XYZ personnalisé, bâti à partir des platines linéaires série PRO Produits Platine linéaire à vis à billes PRO115 Actuateur linéaire ACT Drivers linéaires Drivers rackables Moteurs linéaires Moteurs rotatifs Machines d inspection clés en main Caractéristiques et avantages Économique Pas d émission de bruits électromagnétiques Des solutions polyvalentes Des composants aux systèmes complets Gamme complète de moteurs et de drivers linéaires 22

23 Inspection et métrologie des semi-conducteurs

24 Mesure de film fin Aerotech offre un grand nombre d options de platines linéaires, rotatives et Z pour les outils à deux, trois et quatre axes servant à mesurer le profil et l épaisseur des films fins. Chaque système a été conçu pour maximiser le rendement tout en minimisant les erreurs de géométrie des profils et des épaisseurs. Tous les composants mécaniques sont étudiés pour être compatibles salle blanche, en respectant des normes de fabrication strictes, par le choix attentif des matériaux et grâce à des câblages bien pensés. Le contrôleur Ensemble d Aerotech, doté de drivers Ensemble MP ultra compact, fournit une plate-forme de déplacement haute performance de faible encombrement. Produits Contrôleur/driver PWM Ensemble MP Platines motorisées linéaires haute performance (ALS20000, PRO225LM) Platines à faible épaisseur, rotatives et Z (WaferMax-Z, WaferMax-T, ADRS) Applications Ellipsométrie Réflectométrie Interférométrie à balayage en lumière blanche (SWLI) Mesures par palpeur Caractéristiques et avantages Contrôle en boucle fermée de haute précision Codeur à sortie digitale en option Moteur brushless sans encoche pour déplacement doux sans cogging Platines thêta et Z de faible épaisseur Joint tournant intégré pour opération du chuck sous vide Chuck sous vide avec mécanisme de mise à niveau Wafer chuck de 300 mm avec 3 points de mise à niveau Platine XY ALS20000 à course de 350 mm avec platine WaferMax-T Drivers PWM Ensemble MP 24

25 Le problème Les considérations de place sont un souci constant dans les usines, ce qui force les fabricants de machines-outils à proposer des machines d un encombrement le plus faible possible. Par ailleurs, Il faut également satisfaire diverses normes de sécurité. Des drivers compacts capables de fonctionner à des tensions non mortelles (48 VDC et en dessous) et pouvant être montés n importe où sur la machine sont essentiels pour pouvoir satisfaire aux normes de réglementation comme Semi S2. Drivers Ensemble ML10-40-IO-MXH (linéaire) et Ensemble MP10-IO-MXU (PWM) 141,2 mm La solution Les drivers MP et ML d Aerotech sont compacts et compatibles avec une alimentation continue. Ils offrent presque toutes les fonctionnalités de commande des autres drivers, avec un encombrement quatre fois moins important. Cette taille compacte leur permet d'être montés pratiquement n importe où et ils sont compatibles avec les alimentations de 24 et 48 VDC disponibles. 41,1 mm 107 mm 25

26 Inspection de wafers Les systèmes d inspection optique (fond clair et fond noir) font partie intégrante de toutes les unités de production de wafers. Ces outils de caractérisations des surfaces détectent une variété de défauts, y compris les vides, les creux et les rayures sur la surface du wafer. Un balayage ligne par ligne régulier à haute vitesse est nécessaire pour satisfaire les besoins des usines actuelles. L ABL9000 d Aerotech a longtemps été la norme de perfection pour ce type d'inspection, en fournissant d excellentes caractéristiques de performance dynamiques. Produits Platines à haute dynamique (Planar HD, ABL9000, ABL1500, ALS3600) Platines verticales et rotatives à entraînement direct (WaferMax Z et T) Plates-formes de commande A3200 à haute performance Caractéristiques et avantages Les moteurs linéaires à entraînement direct Aerotech permettent un balayage à haute vitesse et des temps d inversion rapides, ce qui maximise le rendement de la machine d inspection. Aerotech offre une vaste gamme d'axes pouvant être montés sur une platine XY, y compris des axes thêta d'alignement de mires et des axes Z pour la focalisation. Platine à ouverture centrale pour applications de microscopie La base de la machine et le système d'isolation fournis par Aerotech réduisent au minimum les temps d'intégration. Les ingénieurs expérimentés d Aerotech peuvent vous aider à concevoir un système dédié à vos spécifications. Plate-forme de contrôle de déplacement ABL9000 avec pont en granit/axe Z, système d isolation optimisé et base machine. Aerotech fournit un grand nombre de combinaisons de platines linéaires et rotatives, convenant pratiquement à toutes les applications d'inspection et de détection des défauts. ABL1500WB/ABL1500 XY avec un Z à coussin d air ABL1500Z à équilibrage pneumatique ABL1500WB/ABL1500 XY avec WaferMax Zθ 26

27 Le problème Le point le plus important d'un système de mesure de wafer optique est sa capacité à reconnaître et à mesurer correctement les défauts tout en respectant la cadence de la chaîne de production. Ceci suppose des structures mécaniques exceptionnellement rigides, la génération de profils de déplacement et des systèmes d'isolation adaptés. Afin de satisfaire les rendements horaires de production des wafers, il est essentiel que le système puisse respecter les spécifications de vitesse de balayage. La solution Les platines à palier mécanique comme à coussin d air d Aerotech ont été conçues avec une rigidité de structure maximale. Cette philosophie de design améliore le rendement en augmentant les fréquences propres. En outre, Aerotech a développé des routines d'optimisation de profil permettant une stabilisation plus rapide après accélération. La commande Slice régularise l inversion de sens de la platine pendant le balayage ligne par ligne, et la fonction de programmation du gain directionnel réduit les délais de stabilisation en ajustant automatiquement les gains en fonction des erreurs de déplacement résiduels. La commande Slice (balayage ligne par ligne) lie le mouvement de balayage et le déplacement de façon à former un seul mouvement régulier, et à maximiser ainsi le rendement. Erreur pos. X (μm) Erreur pos. Y (μm) Erreur pos. vectorielle (μm) Erreur de position dynamique, cercle XY Gain programmé Kpos Temps (en secondes) Temps (en secondes) Temps (en secondes) Ce système comprend des platines à coussin d air et un retour codeur par interféromètre laser à deux axes pour fournir une résolution inférieure à un nanomètre. Contrôleur de machine multiaxes Automation 3200 (A3200) Aerotech a de nombreuses configurations de platines ouvertes, y compris des systèmes à palier mécanique et à coussin d air, parfaits pour l inspection optique des wafers. Platine ouverte ALS3600 personnalisée à haut rendement 27

28 Microscopie à force atomique De nombreuses applications d inspection exigent une grande stabilité positionnelle, mais aucune n'a de spécifications aussi strictes que celles des microscopes à force atomique. Aerotech offre de multiples plates-formes de contrôle de déplacement répondant directement aux besoins de la microscopie à force atomique, fournissant des pas incrémentaux nanométrique avec une stabilité en position inférieure au nanomètre. Les plates-formes recommandées sont toutes des systèmes à entraînement directe et à codeur sans contacts, dont les performances excellentes de précision et de stabilité ont été testées de façon approfondie. Produits Plates-formes de contrôle de déplacement multiaxes ultra-stables (ABL9000, ANT95-XY, ANT130-XY) Électroniques de commande haute résolution à faible bruit (Ndrive HLe, Npaq/DL4010, Ndrive ML) Autres matériaux de construction spécialement choisis pour minimiser les problèmes thermiques Caractéristiques et avantages Contrôleur de déplacement A3200 à drivers linéaires discrets ou montés sur rack Platines motorisées linéaires XY intégrées haute performance paliers à coussin d air ou mécaniques La plate-forme de contrôle de déplacement ultrastable fournit une très grande stabilité positionnelle et une dérive thermique minimale ABL9000 gantry plan à coussin d air pour wafers de 300 mm 28

29 Position (nm) Résolution haut de gamme de 1 nm Temps (s) Le problème Les microscopes à force atomique produisent des images de géométries très complexes d une résolution exceptionnellement élevée. Le défi est de trouver une plate-forme de contrôle de déplacement offrant à la fois un positionnement de très grande précision et une absence totale de mouvement une fois en position. L instabilité positionnelle est un mouvement parasite que la microscopie à force atomique ne peut pas tolérer. Graphe des pas de 1 nm de l ANT95-XY-ULTRA ANT130-XY ANT95-XY-ULTRA Driver linéaire autonome ou sur rack La solution L ABL9000 d Aerotech peut être «verrouillé» à la fois sur les axes X et Y pour augmenter considérablement la stabilité positionnelle dans le temps. Des méthodes spéciales permettent de contrôler la procédure de verrouillage tout en conservant les informations de position. Ceci assure que l utilisateur connaît toujours l emplacement de l échantillon, quelle que soit la condition de verrouillage. Des méthodes d étalonnage spéciales peuvent être utilisées pour améliorer la précision à la fois en modes verrouillé et non verrouillé, au niveau du plan de travail d un système à platine XY. Ces techniques sont conçues pour réduire non seulement les erreurs de position mais aussi les erreurs de direction X et Y provoquées par les rotations thêta X, thêta Y et thêta Z. L Invar ALS130-XY à axe Z à équilibrage pneumatique est spécialement conçu pour augmenter considérablement la stabilité thermique. Système platine ANT180-XY 29

COMMANDES D AXES. Présentation générale

COMMANDES D AXES. Présentation générale COMMANDES D AXES Présentation générale Les commandes d axes SGA Automation ont été conçues sans accepter aucun compromis en termes de qualité, de fiabilité et de performance. Les moteurs sont placés dans

Plus en détail

COMMANDES D AXES. Présentation générale

COMMANDES D AXES. Présentation générale Présentation générale Les commandes d axes SGA Automation ont été conçues sans accepter aucun compromis en termes de qualité, de fiabilité et de performance. Les moteurs sont placés dans des boîtiers blindés

Plus en détail

Dédié aux Sciences du Déplacement. A e r o t e c h W o r l d w i d e États-Unis Allemagne Royaume-Uni Japon Chine Taïwan France

Dédié aux Sciences du Déplacement. A e r o t e c h W o r l d w i d e États-Unis Allemagne Royaume-Uni Japon Chine Taïwan France Dédié aux Sciences du Déplacement A e r o t e c h W o r l d w i d e États-Unis Allemagne Royaume-Uni Japon Chine Taïwan France Table des matières SIEGE SOCIAL Aerotech, Inc. 101 Zeta Drive, Pittsburgh,

Plus en détail

JONES & SHIPMAN ULTRAMAT Contrôle Easy ou CNC par écran tactile Rectifieuse Cylindrique Universelle

JONES & SHIPMAN ULTRAMAT Contrôle Easy ou CNC par écran tactile Rectifieuse Cylindrique Universelle RECTIFICATION JONES & SHIPMAN ULTRAMAT Contrôle Easy ou CNC par écran tactile Rectifieuse Cylindrique Universelle www.jonesshipman.com www.kellenberger.com ULTRAMAT: Rectifieuses cylindriques universelles

Plus en détail

Robotique modulaire. Vos avantages et bénéfices. Vue d ensemble des modules. Électrique Explication du système Pince universelle

Robotique modulaire. Vos avantages et bénéfices. Vue d ensemble des modules. Électrique Explication du système Pince universelle Électrique Explication du système Pince universelle Robotique modulaire La gamme des modules PowerCube offre une multitude de possibilités de combinaisons dans le domaine de l automation. Elle permet de

Plus en détail

www.sga-automation.com

www.sga-automation.com 1. PRESENTATION Ce robot de type parallélogramme déformable est composé d un bras articulé monté sur un axe vertical. Cette combinaison modulaire conçue pour une grande variété d applications permet de

Plus en détail

Nouveau catalogue 520 pages de transmission de précision

Nouveau catalogue 520 pages de transmission de précision REDUCTEURS ET SERVOMOTEURS DE PRECISION HARMONIC DRIVE Nouveau catalogue 520 pages de transmission de précision Depuis 40 ans, les réducteurs et servomoteurs de précision d Harmonic Drive répondent aux

Plus en détail

MOTEURS. MOTEURS COUPLE ETEL est l un des principaux fournisseurs de composants et de systèmes d entraînement dans les secteurs industriels suivants :

MOTEURS. MOTEURS COUPLE ETEL est l un des principaux fournisseurs de composants et de systèmes d entraînement dans les secteurs industriels suivants : Gamme de Produits À PROPOS D ETEL TROIS SECTEURS CLÉS Depuis sa création en 1974, la société ETEL a connu un développement continu pour devenir l un des principaux fournisseurs de composants de contrôle

Plus en détail

Systèmes de mesure vidéo pour des mesures et un contrôle précis

Systèmes de mesure vidéo pour des mesures et un contrôle précis Jean Louis MENEGON Représentant et Conseiller Région Sud Ouest Tel : 06 76 08 96 83 Email: jlouismenegon@aol.com www.menegon-metrologie.com SWIFT Systèmes de mesure vidéo pour des mesures et un contrôle

Plus en détail

Handling Guide Online

Handling Guide Online Handling Guide Online Vous avez besoin de systèmes compacts. Vous recherchez la simplicité. Nous sommes votre partenaire pour la solution idéale. Systèmes de manipulation Festo : diversité, précision,

Plus en détail

APPAREILS DE MESURE DE DÉFAUTS DE FORME

APPAREILS DE MESURE DE DÉFAUTS DE FORME APPAREILS DE MESURE DE DÉFAUTS DE FORME Valable du 1er octobre au 31 décembre 2015 APPAREILS DE MESURE DE DÉFAULTS DE FORME MESURE DE DÉFAUTS DE FORME DE RÉVOLUTION ROUNDTEST RA-120P Solution «prêt à mesurer»

Plus en détail

APPAREILS DE MESURE DES DÉFAUTS DE FORME

APPAREILS DE MESURE DES DÉFAUTS DE FORME APPAREILS DE MESURE DES DÉFAUTS DE FORME Valable du 1er octobre au 31 décembre 2015 APPAREILS DE MESURE DES DÉFAUTS DE FORME MESURE DES DÉFAUTS DE FORME ROUNDTEST RA-120P Solution «prêt à mesurer» à partir

Plus en détail

BROCHURE PRODUIT. m&h LASER DE MESURE D OUTILS Mesurer dans la machine-outil rapide et précis

BROCHURE PRODUIT. m&h LASER DE MESURE D OUTILS Mesurer dans la machine-outil rapide et précis BROCHURE PRODUIT m&h LASER DE MESURE D OUTILS Mesurer dans la machine-outil rapide et précis m&h LASER DE MESURE D OUTILS...Technique d application et programmes de mesure La qualité pérenne d une production

Plus en détail

Systèmes de contrôle de mouvement haute performance pour l aéronautique et le militaire

Systèmes de contrôle de mouvement haute performance pour l aéronautique et le militaire Systèmes de contrôle de mouvement haute performance pour l aéronautique et le militaire Simulateurs de mouvement Systèmes de contrôle avancés Systèmes compatibles vide plateformes de test pour capteurs

Plus en détail

Système reconfigurable et durci pour la surveillance et le contrôle

Système reconfigurable et durci pour la surveillance et le contrôle Système reconfigurable et durci pour la surveillance et le contrôle Sabri JATLAOUI, Ingénieur avant-vente. Des challenges récurrents Le contrôle haute vitesse (numérique/compteur à 1MHz, PID analogique/

Plus en détail

Technologie laser. Laser fibre FOL-3015 AJ

Technologie laser. Laser fibre FOL-3015 AJ Technologie laser Laser fibre FOL-3015 AJ Le laser FOL-3015 AJ : vitesse et qualité de découpe Le savoir-faire AMADA au service de l avenir Forte de son expertise technologique en matière de systèmes d

Plus en détail

Machines d essais universelles

Machines d essais universelles Il est nécessaire de tester les composants et les matériaux pour permettre une détection efficace des anomalies. Les dommages indirects graves et les interruptions de production onéreuses peuvent être

Plus en détail

Systèmes SCHATZ - TEST pour le contrôle des outils. SCHATZ -certest-w. Contrôle dynamique des outils de serrage

Systèmes SCHATZ - TEST pour le contrôle des outils. SCHATZ -certest-w. Contrôle dynamique des outils de serrage Systèmes SCHATZ - TEST pour le contrôle des outils SCHATZ -certest Contrôle dynamique des outils de serrage SCHATZ -calitest Étalonnage des outils dynamométriques électroniques et mécaniques SCHATZ -combitest

Plus en détail

Thermoformeuse R 145 avec MULTIVAC Clean Design TM : sécurité maximale des processus et compatibilité salle blanche. *Le meilleur de l emballage

Thermoformeuse R 145 avec MULTIVAC Clean Design TM : sécurité maximale des processus et compatibilité salle blanche. *Le meilleur de l emballage Thermoformeuse R 145 avec MULTIVAC Clean Design TM : sécurité maximale des processus et compatibilité salle blanche * *Le meilleur de l emballage MULTIVAC R 145 Clean Design Thermoformeuse R 145 en version

Plus en détail

Commande de mouvement. Entraînements Intégrés Lexium. Contact : hvssystem@hvssystem.com. Tél : 0326824929 Fax : 0326851908

Commande de mouvement. Entraînements Intégrés Lexium. Contact : hvssystem@hvssystem.com. Tél : 0326824929 Fax : 0326851908 Commande de mouvement décentralisée avec les Entraînements Intégrés Lexium Le moteur, l électronique de puissance, le contrôle de mouvement, l interface de communication et la fonction de sécurité Safe

Plus en détail

INSTRUMENTS DE MESURE

INSTRUMENTS DE MESURE INSTRUMENTS DE MESURE Diagnostique d impulsions lasers brèves Auto corrélateur à balayage modèle AA-10DD Compact et facile d emploi et de réglage, l auto corrélateur AA-10DD permet de mesurer des durées

Plus en détail

Bernard Bordonado Motorola Semiconducteurs

Bernard Bordonado Motorola Semiconducteurs LabVIEW et l automatisation de mesures de circuits intégrés RF pour applications automobiles Bernard Bordonado Motorola Semiconducteurs Page 1 Plan de la présentation Introduction Circuits intégrés RF

Plus en détail

Un groupe mondial à votre service

Un groupe mondial à votre service Un groupe mondial à votre service Fort de ses 10 000 collaborateurs, Leroy-Somer a tissé un réseau international de 470 centres d expertise et de service capable de vous apporter l assistance commerciale

Plus en détail

Manipulateurs électriques et pneumatiques

Manipulateurs électriques et pneumatiques Manipulateurs électriques et pneumatiques Manipulateurs pneumatiques EDP mini P/P solution économique pour applications simples En 1997, eps, une entreprise jeune et dynamique basée en Forêt-Noire, présente

Plus en détail

camoline Les systèmes cartésiens Rexroth

camoline Les systèmes cartésiens Rexroth Electric Drives and Controls Hydraulics Linear Motion and Assembly Technologies Pneumatics Service camoline Les systèmes cartésiens Rexroth Solutions pour la manipulation et le déplacement d outil camoline

Plus en détail

La solution à vos mesures de pression

La solution à vos mesures de pression Mesure de force linéique La solution à vos mesures de pression Sensibilité Répétabilité Stabilité Le système X3 de XSENSOR propose un concept innovant spécialement adapté pour vos applications de mesure

Plus en détail

VARIATEUR MX2. Idéal pour contrôler vos machines. La qualité Omron par excellence Fonctionnalité de programmation avancée Sécurité intégrée

VARIATEUR MX2. Idéal pour contrôler vos machines. La qualité Omron par excellence Fonctionnalité de programmation avancée Sécurité intégrée VARIATEUR MX2 Idéal pour contrôler vos machines La qualité Omron par excellence Fonctionnalité de programmation avancée Sécurité intégrée DeviceNet, ML-II, etc. Contrôle harmonisé des machines et des moteurs

Plus en détail

TRIMOS Instruments de mesure L accent mis sur la métrologie dimensionelle

TRIMOS Instruments de mesure L accent mis sur la métrologie dimensionelle TRIMOS Instruments de mesure L accent mis sur la métrologie dimensionelle 135050 Banc de mesure TRIMOS TELS Le banc de mesure idéal pour contrôler de petites dimensions pour les mesures extérieures et

Plus en détail

Meilleures pratiques pour la gestion et la maintenance d un système de test

Meilleures pratiques pour la gestion et la maintenance d un système de test Meilleures pratiques pour la gestion et la maintenance d un système de test N avez-vous jamais dit? Mon système ne doit pas tomber en panne Je ne peux me permettre aucun temps mort dans la production Est-ce

Plus en détail

INTEGRATED TEST SUITE

INTEGRATED TEST SUITE INTEGRATED TEST SUITE PRÉSENTATION UNE TECHNOLOGIE HAUTES PERFORMANCES POUR DES APPLICATIONS D ESSAI PLUS FLEXIBLES ET PLUS CONVIVIALES WHAT MOVES YOUR WORLD CONÇU POUR RÉPONDRE À VOS BESOINS D AUJOURD

Plus en détail

PosCon 3D. La mesure de bords dans une nouvelle dimension.

PosCon 3D. La mesure de bords dans une nouvelle dimension. PosCon 3D La mesure de bords dans une nouvelle dimension. Une nouvelle dimension. PosCon 3D pour la mesure de position des bords d un objet, quelle que soit la distance. Très innovant, le détecteur de

Plus en détail

RECHERCHE & DÉVELOPPEMENT. Guide de mesure et d application

RECHERCHE & DÉVELOPPEMENT. Guide de mesure et d application RECHERCHE & DÉVELOPPEMENT Guide de mesure et d application APPLICATIONS R&D Mesure du diamètre intérieur d un tunnel Mesure de la hauteur d une voiture en mouvement Essai de résistance / vibration sismique

Plus en détail

FIBERTOME 3015. Centre d usinage à technologie laser fibre : le coupage de précision haute vitesse à coûts réduits. www.airliquidewelding.

FIBERTOME 3015. Centre d usinage à technologie laser fibre : le coupage de précision haute vitesse à coûts réduits. www.airliquidewelding. FIBERTOME 3015 Centre d usinage à technologie laser fibre : le coupage de précision haute vitesse à coûts réduits. www.airliquidewelding.com FIBERTOME 3015 cologie Innover pour votre productivité. Avec

Plus en détail

Découpe, gravure et marquage laser Machines de découpe, marquage et de gravure 2D pour prototypage rapide & petites séries

Découpe, gravure et marquage laser Machines de découpe, marquage et de gravure 2D pour prototypage rapide & petites séries Découpe, gravure et marquage laser Machines de découpe, marquage et de gravure 2D pour prototypage rapide & petites séries Descriptif du système Les machines à découpe au laser ULS utilisent un procédé

Plus en détail

Une avancée dans le monde des servos SMARTSTEP

Une avancée dans le monde des servos SMARTSTEP Advanced Industrial Automation Une avancée dans le monde des servos SMARTSTEP Simple et hautement performant Le servo-système SmartStep d Omron, composé d un moteur et d un variateur, est conçu pour permettre

Plus en détail

Maintenance et optimisation de vos équipements industriels.

Maintenance et optimisation de vos équipements industriels. CN et Automate La polyvalence de nos techniciens permet des interventions sur site pour le diagnostic, le dépannage et la remise en service de vos équipements industriels. Afin de fiabiliser vos équipements,

Plus en détail

DIXO 1000 EMAT - PIEZO

DIXO 1000 EMAT - PIEZO DIXO 1000 EMAT - PIEZO Système de contrôle par ultrasons haut de gamme, extrêmement compact : Dimensions : 224 188 37 mm ; Poids : 1,3 Kg ; 8 heures d autonomie de fonctionnement. Cet équipement a été

Plus en détail

Chambres d'essais pour matériaux à convection forcée

Chambres d'essais pour matériaux à convection forcée Série FP 400 Chambres d'essais des matériaux Chambres d'essais pour matériaux à convection forcée La convection forcée d'une chambre BINDER de la série FP assure des délais de séchage courts et un chauffage

Plus en détail

De la conception jusqu'au déploiement de systèmes embarqués

De la conception jusqu'au déploiement de systèmes embarqués De la conception jusqu'au déploiement de systèmes embarqués Nacer MOKHTARI Ingénieur d application La conception graphique de systèmes Conception interactive Conception de systèmes de contrôle Simulation

Plus en détail

EasyHandling Les systèmes cartésiens Rexroth. Solutions pour la manipulation et le déplacement d outil

EasyHandling Les systèmes cartésiens Rexroth. Solutions pour la manipulation et le déplacement d outil EasyHandling Les systèmes cartésiens Rexroth Solutions pour la manipulation et le déplacement d outil EasyHandling* : systèmes cartésiens EasyHandling s adapte à tous vos besoins en manipulation de pièces

Plus en détail

Sondes d'ambiance. Plage de mesure d'humidité

Sondes d'ambiance. Plage de mesure d'humidité 1 857 1857P01 Sondes d'ambiance pour température et humidité relative QFA20 Tension d'alimentation 24 V~ ou 13,5 35 V Signal de sortie 0...10 V pour humidité relative Signal de sortie 0...10 V / T1 / LG-Ni

Plus en détail

STREAMLINE SL-VI. La solution pour toutes les applications

STREAMLINE SL-VI. La solution pour toutes les applications STREAMLINE SL-VI La solution pour toutes les applications Pompes Haute Pression STREAMLINE SL-VI La solution pour toutes les applications Avec l introduction de sa nouvelle série de pompes modulaires haute

Plus en détail

CESAB M300 1.5 3.5 tonne

CESAB M300 1.5 3.5 tonne CESAB M300 1.5 3.5 tonne Chariot Élévateur à Moteur Thermique Essayez-le another way Approchez-vous du nouveau CESAB M300 et vous verrez la différence. Capacités de charge de 1,5 à 3,5 tonnes Panneaux

Plus en détail

Série M Débitmètres Eletta. Débitmètre à P avec sortie programmable

Série M Débitmètres Eletta. Débitmètre à P avec sortie programmable Série M Débitmètres Eletta Débitmètre à P avec sortie programmable Débitmètre à fonctions multiples pour gaz et liquides M3 Le débitmètre série M, avec sa conception polyvalente et conviviale, trouve tout

Plus en détail

Chambre d'essai de matériau à convection forcée

Chambre d'essai de matériau à convection forcée Série FP 115 Chambres d'essais des matériaux Chambre d'essai de matériau à convection forcée La chambre d'essai de matériau à convection forcée BINDER de la série FP assure des délais de séchage courts

Plus en détail

OTIS. Mod. La modernisation réinventée. Plus de sécurité Plus de fiabilité Plus de confort. Et plus d attention à l environnement.

OTIS. Mod. La modernisation réinventée. Plus de sécurité Plus de fiabilité Plus de confort. Et plus d attention à l environnement. OTIS Mod La modernisation réinventée Plus de sécurité Plus de fiabilité Plus de confort Et plus d attention à l environnement. GeN2 Mod, un concept novateur. ➍ CÂBLE TRADITIONNEL EN ACIER ➌ ➋ ➌ ➌ POULIE

Plus en détail

Exemple d application dans la Robotique (Hexapodes)

Exemple d application dans la Robotique (Hexapodes) Exemple d application dans la Robotique (Hexapodes) Automated Precision Europe GmbH Im Breitspiel 17 69126 Heidelberg Tel: +49 (0) 6221 729 805 0 Fax: +49 (0) 6221 729 805 23 Fig.: SYMETRIE/IFREMER Exemple

Plus en détail

TROTEC, un département de TRODAT FRANCE : 26/28 avenue Henri Beaudelet, 77330 OZOIR LA FERRIERE, FRANCE Tél. +33 (0)1 64 43 60 72 - Fax.

TROTEC, un département de TRODAT FRANCE : 26/28 avenue Henri Beaudelet, 77330 OZOIR LA FERRIERE, FRANCE Tél. +33 (0)1 64 43 60 72 - Fax. TROTEC, un département de TRODAT FRANCE : 26/28 avenue Henri Beaudelet, 77330 OZOIR LA FERRIERE, FRANCE Tél. +33 (0)1 64 43 60 72 - Fax. +33 (0)1 64 43 60 78 http://www.troteclaser.com - e-mail : contact@trotec.fr

Plus en détail

MTS. Systèmes de tests de compteurs

MTS. Systèmes de tests de compteurs MTS Systèmes de tests de compteurs - Générateur de signaux arbitraires - Amplificateurs - Compteur étalon - Calculateur d erreur - Têtes de lecture - Transformateurs Conception d un système standard ou

Plus en détail

Série MPC IEC 61131-3

Série MPC IEC 61131-3 Motion Série MPC Commande d axes Automate IEC 61131-3 PC industriel q Un cœur PC en ambiance industrielle Alimentation 24 Vdc - Isolement galvanique - Tolérance aux micro-coupures Processeur Intel Celeron

Plus en détail

Sonde de surveillance environnementale gamma

Sonde de surveillance environnementale gamma SafePoint RMS : pérennité innovation sureté Caractéristiques Sonde de surveillance environnementale gamma perfectionnée, dotée de deux détecteurs et conçue pour assurer une surveillance sans présence dans

Plus en détail

Une longueur d avance en tôles fines.

Une longueur d avance en tôles fines. TruLaser 5030 fiber : Une longueur d avance en tôles fines. Machines-Outils / Machines Portatives Technologie Laser / Electronique Technique Médicale Imbattable en tôles fines. Sommaire Imbattable en tôles

Plus en détail

MOTORISATION DIRECTDRIVE POUR NOS TELESCOPES. Par C.CAVADORE ALCOR-SYSTEM WETAL 2013 10 Nov

MOTORISATION DIRECTDRIVE POUR NOS TELESCOPES. Par C.CAVADORE ALCOR-SYSTEM WETAL 2013 10 Nov 1 MOTORISATION DIRECTDRIVE POUR NOS TELESCOPES Par C.CAVADORE ALCOR-SYSTEM WETAL 2013 10 Nov Pourquoi motoriser un télescope? 2 Pour compenser le mouvement de la terre (15 /h) Observation visuelle Les

Plus en détail

PENDANTS à PLAFOND Pour USI/Anesthésie

PENDANTS à PLAFOND Pour USI/Anesthésie PENDANTS à PLAFOND Pour USI/Anesthésie Rigidité maximale et grande capacité Plages d'action presque illimités Modularité avec possibilité de choix Conception ergonomique Fiche complète de prises et access.

Plus en détail

Comprendre vos besoins

Comprendre vos besoins Comprendre vos besoins Les fabricants de machines et les utilisateurs qui disposent de solutions électriques, réalisent des progrès significatifs en termes de rendement et productivité. Les fabricants

Plus en détail

Profilomètre 3D optique à très grande résolution verticale Gammes BW-S500/BW-D500. Gammes. Profilomètre 3D optique à très haute résolution verticale

Profilomètre 3D optique à très grande résolution verticale Gammes BW-S500/BW-D500. Gammes. Profilomètre 3D optique à très haute résolution verticale Profilomètre 3D optique à très grande résolution verticale Gammes BW-S500/BW-D500 Gammes Profilomètre 3D optique à très haute résolution verticale Grâce à la technologie de mesure par interférométrie optique

Plus en détail

C - ICM LTE Gamme DE

C - ICM LTE Gamme DE Gamme DELTEC - ICM ICM micro Projecteur de profil numérique 2D Système de mesure 2D, fruit de plus de 25 ans d expérience dans la métrologie par vision! Déposer c est mesurer! - Reconnaissance de la pièce

Plus en détail

CONTRÔLE QUALITE DES SURFACES VISUALISATION 3D - TOPOGRAPHIE MESURE RAPIDE & SANS CONTACT PORTABLE & SIMPLE D UTILISATION POWERED BY

CONTRÔLE QUALITE DES SURFACES VISUALISATION 3D - TOPOGRAPHIE MESURE RAPIDE & SANS CONTACT PORTABLE & SIMPLE D UTILISATION POWERED BY CONTRÔLE QUALITE DES SURFACES VISUALISATION 3D - TOPOGRAPHIE MESURE RAPIDE & SANS CONTACT PORTABLE & SIMPLE D UTILISATION POWERED BY LE NOUVEL EQUIPEMENT DE MESURE OPTIMAP TM MARQUE LE DEBUT D UNE REVOLUTION

Plus en détail

Thermoformeuse R 095. Conditionner dans un minimum de place. *Le meilleur de l emballage

Thermoformeuse R 095. Conditionner dans un minimum de place. *Le meilleur de l emballage Thermoformeuse R 095 Conditionner dans un minimum de place * *Le meilleur de l emballage MULTIVAC R 095 Thermoformeuse R 095 : conditionner dans un minimum de place La thermoformeuse R 095, modèle particulièrement

Plus en détail

InSight L100. InSight L100. La solution ultime en matière de scanner laser pour MMT, combinant productivité et précision

InSight L100. InSight L100. La solution ultime en matière de scanner laser pour MMT, combinant productivité et précision InSight L100 Higher productivity Better understanding Faster decisions Superior product quality InSight L100 La solution ultime en matière de scanner laser pour MMT, combinant productivité et précision

Plus en détail

Préparateur de commandes vertical (1000 kg/1200 kg)

Préparateur de commandes vertical (1000 kg/1200 kg) Navigation en entrepôt (option) optimisant les déplacements programmés Double récupération d énergie et bilan énergétique efficace Grande flexibilité grâce à la construction modulaire et la technologie

Plus en détail

Informations générales. Engénierie avec. Tension d'alimentation. Fréquence réseau. Courant d'entrée. Alimentation des capteurs

Informations générales. Engénierie avec. Tension d'alimentation. Fréquence réseau. Courant d'entrée. Alimentation des capteurs fiche technique du produit SIMATIC S7-1200, CPU 1214C, CPU COMPACT, AC/DC/RELAIS E/S EMBARQUEES: 14 ETOR 24VCC;10STOR RELAIS 2A; 2 EA 0-10V CC, ALIMENTATION: CA 85-264 V CA SOUS 47-63 HZ, MEMOIRE PROGR./DONNEES

Plus en détail

Machines Hydrauliques pour Essais de Compression ECH MICROTEST

Machines Hydrauliques pour Essais de Compression ECH MICROTEST - Machines Hydrauliques pour Essais de Compression ECH MICROTEST MICROTEST, S.A. Instruments and Equipments for Materials Testing (+34) 91 796 33 32 www.microtest-sa.com 1 INTRODUCCIÓN Les machines d'essais

Plus en détail

Système ASC unitaire triphasé. PowerScale 10 50 kva Maximisez votre disponibilité avec PowerScale

Système ASC unitaire triphasé. PowerScale 10 50 kva Maximisez votre disponibilité avec PowerScale Système ASC unitaire triphasé 10 50 kva Maximisez votre disponibilité avec Protection de première qualité est un système ASC triphasé de taille moyenne qui offre une protection électrique remarquable pour

Plus en détail

Manuel d'utilisation

Manuel d'utilisation VIBROMETRE VM120 Manuel d'utilisation 1 - Introduction Le VM 120 est un instrument portable qui fonctionne sur piles (2 x 9V). La mesure de vibration est réalisée par un capteur externe qui fournit un

Plus en détail

Conduite optimale des processus : bibliothèque PCS 7 SIMOCODE pro. sirius GESTION DES MOTEURS

Conduite optimale des processus : bibliothèque PCS 7 SIMOCODE pro. sirius GESTION DES MOTEURS Conduite optimale des processus : bibliothèque PCS 7 SIMOCODE pro sirius GESTION DES MOTEURS Supervision, visualisation, anticipation : intégration de SIMOCODE pro dans SIMATIC PCS 7 Supprimer les arrêts

Plus en détail

GAMME UVILINE 9100 & 9400

GAMME UVILINE 9100 & 9400 GAMME UVILINE 9100 & 9400 SPECTROPHOTOMÈTRES UV & VISIBLE NOUVEAU Sipper avec effet peltier Une combinaison intelligente d innovations EXCELLENTE PRÉCISION DE MESURE GRÂCE À UNE OPTIQUE HAUT DE GAMME Gain

Plus en détail

Bienvenue dans notre monde.

Bienvenue dans notre monde. FIXTURLASER NXA Pro Bienvenue dans notre monde. Depuis sa création, en 1984, ACOEM AB a aidé des entreprises à travers le monde à mettre en place une production plus rentable et plus durable. Si nous sommes

Plus en détail

GAMME UviLine 9100 & 9400

GAMME UviLine 9100 & 9400 Agro-alimentaire/Biotechnologie/Enseignement/Recherche/Santé/Industrie GAMME UviLine 9100 & 9400 Spectrophotomètres UV & Visible Une combinaison intelligente d innovations n Excellente précision de mesure

Plus en détail

POUR UNE QUALITÉ DURABLE!

POUR UNE QUALITÉ DURABLE! Stéréomicroscopes destinés au montage, à l inspection et au contrôle de qualité POUR UNE QUALITÉ DURABLE! Leica EZ4, Leica EZ4 W (Wi-Fi), et Leica EZ4 E (Ethernet) 2 LEICA SÉRIE E POUR UNE QUALITÉ DURABLE!

Plus en détail

Bancs de mesure Palpeurs Unités d affichage

Bancs de mesure Palpeurs Unités d affichage Bancs de mesure Palpeurs Unités d affichage Représenté par: Bancs de mesure PRÉSENTATION Une solution pour chaque application Nos bancs de mesures peuvent être équipés de touches de mesure de multiples

Plus en détail

Servomoteurs électriques

Servomoteurs électriques 4 508 Servomoteurs électriques pour vannes à course rotative, angle de rotation 90 SQK34.00 SQK84.00 SQK34.00 tension d'alimentation 230 V~ SQK84.00 tension d'alimentation 24 V~ Signal de commande 3 points

Plus en détail

Le MeiLLeuR RappORt qualité-prix

Le MeiLLeuR RappORt qualité-prix FORM 20 FORM 30 2 Le meilleur rapport qualité-prix Sommaire Points forts Mécanique Contrôle 4 6 10 Le générateur Préparation du travail GF AgieCharmilles 12 13 14 FORM 20 FORM 30 La qualité des applications

Plus en détail

Description. Capteur de force 6 axes FT

Description. Capteur de force 6 axes FT Description Capteur de force 6 axes FT 176 Illustration du produit Illustration: FTD-Gamma Avantages Mesure précise des forces et des couples dans les 3 directions de l'espace Plusieurs tailles avec différentes

Plus en détail

Composants et systèmes d Interfaces Homme-Machine

Composants et systèmes d Interfaces Homme-Machine EAO Your Expert Partner for Human Machine Interfaces Production d équipements pour composants électroniques Composants et systèmes d Interfaces Homme-Machine Conception et fabrication d Interfaces Homme-

Plus en détail

Afficheurs numériques et codeurs linéaires

Afficheurs numériques et codeurs linéaires Afficheurs numériques et codeurs linéaires L'entreprise Newall Newall Measurement Systems, Ltd. a été fondée en 1968 à Peterborough, au Royaume-Uni. Depuis sa création, Newall a tout mis en œuvre afin

Plus en détail

Le meilleur choix pour la découpe numérique

Le meilleur choix pour la découpe numérique Le meilleur choix pour la découpe numérique ZÜND S3 Description technique Le meilleur choix pour la découpe numérique Découpe, fraisage, rainage, poinçonnage et tracé. Pour une productivité inégalée. Un

Plus en détail

Gamme Motion Control

Gamme Motion Control Gamme Motion Control Bienvenue dans un monde de solutions innovantes Profitez de notre offre de service unique sur le marché français. Elle est la synthèse des trois composantes majeures qui font la différence

Plus en détail

Chambres d essais climatiques pour applications industrielles MK MKT MKF

Chambres d essais climatiques pour applications industrielles MK MKT MKF Chambres d essais climatiques pour applications industrielles MK MKT MKF 2 Chambres d essais climatiques BINDER Parfaitement adaptées aux normes d essai. Fiabilité optimale. A l heure actuelle, la fonction

Plus en détail

Colonne de guidage en acier, chromé dur, rectifié. Accessoires de mesure interchangeables

Colonne de guidage en acier, chromé dur, rectifié. Accessoires de mesure interchangeables TVM Construction rubuste et compacte Idéal pour l atelier de production Précis et fiable dans la mesure Manipulation simple Sortie de données Opto-RS232 Utilisation autonome par accumulateur Deux variantes

Plus en détail

WWW.ELCON.SE Multichronomètre SA10 Présentation générale

WWW.ELCON.SE Multichronomètre SA10 Présentation générale WWW.ELCON.SE Multichronomètre SA10 Présentation générale Le SA10 est un appareil portable destiné au test des disjoncteurs moyenne tension et haute tension. Quoiqu il soit conçu pour fonctionner couplé

Plus en détail

t e s t i n g t o p e r f e c t i o n Banc d essai

t e s t i n g t o p e r f e c t i o n Banc d essai t e s t i n g t o p e r f e c t i o n MultiTest-d Banc d essai digital motorisé Solutions pour Test de Traction et de Compression Zoom sur le MultiTest-d Nouvelle entrée de gamme des bancs d essai motorisés

Plus en détail

machines-outils Rectifieuse cylindrique RC 250

machines-outils Rectifieuse cylindrique RC 250 machines-outils Rectifieuse cylindrique RC 250 Rectifieuse cylindrique à commande manuelle pour la rectification extérieure et intérieure en série moyenne Dotée d une base mécanique réputée pour sa fiabilité,

Plus en détail

Variantes de course des modules de vissage DEPRAG Page 3. Avantages des modules de vissage DEPRAG Page 4. Données techniques SFM-L Page 5

Variantes de course des modules de vissage DEPRAG Page 3. Avantages des modules de vissage DEPRAG Page 4. Données techniques SFM-L Page 5 Screwdriving technology Automation Air motors Air tools Composants de système d'automatisation Module de vissage pour une production automatisée n large gamme de produits pour tous types d'applications

Plus en détail

Vérins. rotatifs. Série R Ø 32 à 125 mm

Vérins. rotatifs. Série R Ø 32 à 125 mm Vérins rotatifs Série R Ø 32 à 125 mm Vérins rotatifs série R Ø 32 à 125 mm La technologie SOPRA appliquée au vérin rotatif permet d atteindre un niveau élevé de précision et de fiabilité parfaitement

Plus en détail

La qualité laser. primapower.com. The Bend The Combi The Laser The Punch The System The Software

La qualité laser. primapower.com. The Bend The Combi The Laser The Punch The System The Software primapower.com La qualité laser The Bend The Combi The Laser The Punch The System The Software 100FR/Jan2013 Prima Industrie Group / Changements possibles sans notification préalable Performance et qualité

Plus en détail

100% Swiss The highest in Quality & Technology

100% Swiss The highest in Quality & Technology 100% Swiss The highest in Quality & Technology Série 460 D / 490 K Balances industrielles de hautes capacités Les balances industrielles Precisa représentent l avancée la plus haute de la technologie de

Plus en détail

Dimensionnement d une roue autonome pour une implantation sur un fauteuil roulant

Dimensionnement d une roue autonome pour une implantation sur un fauteuil roulant Dimensionnement d une roue autonome pour une implantation sur un fauteuil roulant I Présentation I.1 La roue autonome Ez-Wheel SAS est une entreprise française de technologie innovante fondée en 2009.

Plus en détail

Alimentations DC 400W Puissance constante Intégrables ½19" / 2U avec interfaces de télécommande TOE 8951 et TOE 8952

Alimentations DC 400W Puissance constante Intégrables ½19 / 2U avec interfaces de télécommande TOE 8951 et TOE 8952 Alimentations DC 400W Puissance constante Intégrables ½19" / 2U avec interfaces de télécommande TOE 8951 et TOE 8952 Réglages rapides et précis par encodeurs ou par les interfaces. Interfaces analogique,

Plus en détail

Le dernier né des spectromètres de laboratoire mobiles: BELEC LAB 3000s:

Le dernier né des spectromètres de laboratoire mobiles: BELEC LAB 3000s: Notre idée conquiert le monde Le dernier né des spectromètres de laboratoire mobiles: BELEC LAB 3000s: Présentation de la nouvelle gamme de spectromètres de laboratoire mobiles: acier faiblement allié

Plus en détail

Maître vitrier. Solutions robotisées pour l assemblage de pare-brise automobiles

Maître vitrier. Solutions robotisées pour l assemblage de pare-brise automobiles Maître vitrier Enrico Mazzocchi Solutions robotisées pour l assemblage de pare-brise automobiles Le pare-brise d une voiture ne doit pas arrêter votre regard; bien au contraire, il doit vous offrir une

Plus en détail

CHROMATOGRAPHE BTEX GC 5000 BTX

CHROMATOGRAPHE BTEX GC 5000 BTX FICHE PRODUIT - Le a été spécialement développé pour la surveillance en continu des polluants organiques dans l air ambiant dans la gamme C4-C12. L instrument se caractérise par son design compact et sa

Plus en détail

Données clés. Un prix record pour les applications les plus importantes. A member of the UNITED GRINDING Group. The Art of Grinding.

Données clés. Un prix record pour les applications les plus importantes. A member of the UNITED GRINDING Group. The Art of Grinding. The Art of Grinding. A member of the UNITED GRINDING Group Un prix record pour les applications les plus importantes. Données clés La favoritcnc est une rectifieuse cylindrique universelle à CNC pour l

Plus en détail

Chariots élévateurs électriques 1,3 à 2,0 tonnes Séries 7FBEF

Chariots élévateurs électriques 1,3 à 2,0 tonnes Séries 7FBEF Chariots élévateurs électriques Séries 7FBEF 1,3 à 2,0 tonnes Robustes, compacts et polyvalents 2 Combinant compacité et alimentation électrique, la gamme de chariots élévateurs de Toyota 7FBEF est conçue

Plus en détail

Moteur brushless. Motoréducteurs. Fiche technique. cial2@hpceurope.com HPC Tome 2 2009 ➋147

Moteur brushless. Motoréducteurs. Fiche technique. cial2@hpceurope.com HPC Tome 2 2009 ➋147 Moteur brushless Fiche technique La technologie moteur brushless comporte non seulement les avantages des moteurs à courant continu mais également ceux des moteurs à courant alternatif : fort couple au

Plus en détail

NOUVEAU! Matériel : contrôleurs catégorie power

NOUVEAU! Matériel : contrôleurs catégorie power NOUVEAU! Matériel : contrôleurs catégorie power Contrôleur power UHx71B High End Motion & Logic Control Les contrôleurs SEW en catégorie power sont la solution idéale pour les applications avec un grand

Plus en détail

Bridages Renishaw Votre source unique de bridages pour la métrologie

Bridages Renishaw Votre source unique de bridages pour la métrologie H-1000-0084-02-A Bridages Renishaw Votre source unique de bridages pour la métrologie Bridages pour MMT Bridages Vision Bridages Equator Bridages sur mesure Bridages Renishaw pour MMT Bridages modulaires

Plus en détail

T500 DUAlTACH. JAQUET T500 DualTach Instrument de mesure et de surveillance équipé de 2 entrées fréquence TACHYMETRE 2 CANAUX

T500 DUAlTACH. JAQUET T500 DualTach Instrument de mesure et de surveillance équipé de 2 entrées fréquence TACHYMETRE 2 CANAUX 02-09 T500 DUAlTACH JAQUET T500 DualTach Instrument de mesure et de surveillance équipé de 2 entrées fréquence JAQUET T500 DualTach Instrument multi canal de mesure et de surveillance pour applications

Plus en détail

Optimiser les réseaux industriels DEVICENET

Optimiser les réseaux industriels DEVICENET Optimiser les réseaux industriels DEVICENET pour des solutions transparentes d automatisation Advanced Industrial Automation DeviceNet est un réseau industriel innovant qui permet de facilement connecter

Plus en détail

Guide de sélection des Codeurs

Guide de sélection des Codeurs DOCUMENTATION Guide de sélection des Codeurs L objectif de ce document est de vous permettre de trouver rapidement et de façon précise le bon codeur adapté à votre application. System DISTRIBUTEUR CONSEIL

Plus en détail