g) Demandeur: N.V. Philips' Gloeiiampenfabrieken, Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) 3) Etats contractants désignés: BE DE GB NL SE

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1 Patentamt à JEuropâisches European Patent Numéro de publication: Office européen des brevets ^ ^ DEMANDE DE BREVET EUROPEEN Numéro de dépôt: Int. Cl.3: H 01 L 25/16, H 01 L 23/54 Date de dépôt: Priorité: Demandeur: TÉLÉCOMMUNICATIONS RADIOELECTRIQUES ET TELEPHONÎQUES T. R. T., 88, rue Brillât Savarin, F Paris (FR) Etats contractants désignés: Date de publication de la demande : Bulletin 82/44 g) Demandeur: N.V. Philips' Gloeiiampenfabrieken, Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) 3) Etats contractants désignés: BE DE GB NL SE Inventeur: Kersuzan, Georges, SOCIETE CIVILE S.P.I.D. 209 rue de l'université, F Paris (FR) Inventeur: Picauit, Michel, SOCIETE CIVILE S.P.I.D. 209 rue de l'université, F Paris (FR) Inventeur: Sourdillon, Rolland, SOCIETE CiVILE S.P.I.D. 209 rue de l'université, F Paris Etats contractants désignés : BE DE FR GB NL SE Mandataire: Tissot, Jean et al, Société Civile S.P.I.D. 209, rue de l'université, F Paris Circuit hyperfréquences. Circuit hyperfréquences réalisé sur plaquette isolante d'alumine (3) selon les technologies «hybride» et par sérigraphie, consistant principalement à remplacer l'or du plan de masse (9) par de l'argent-palladium, la liaison entre les trajets de connexions conductrices (10) du circuit et le plan de masse à travers les trous métallisés (4) étant assurée par interposition d'une métallisation d'or platine (7). Application: circuits hyperfréquences.

2 L'invention concerne un- circuit hyperfréquence réalisé selon les technologies "hybride" et par sérigraphie sur une plaquette isolante d'alumine, la première face de ladite plaquette devant servir de support à un circuit comportant des trajets de connexions conductrices en or et la seconde face devant servir de support au plan de masse dudit circuit, la liaison circuit-plan de masse étant assurée au moyen de trous pratiqués à travers ladite plaquette et métallisés. Dans cette technique, les trajets de connexions conductrices du circuit, la métallisation des trous et le plan de masse sont généralement obtenus au moyen de dépôts d'or par sérigraphie, solution particulièrement onéreuse. Si le circuit comporte éventuellement des résistances, celles-ci sont également déposées par sérigraphie. Les autres composants sont reportés sur le circuit selon la technologie "hybride". Le but de l'invention est de réaliser un circuit hyperfréquences, toujours selon les technologies mentionnées ci-dessus, mais d'une façon plus économique en remplaçant l'or du plan de masse par un alliage à base d'argent. Ledit plan de masse constituant la surface de dépôt d'or la plus importante, on doit ainsi réaliser une économie appréciable. Mais une difficulté se présente pour assurer la liaison du plan de masse avec les trajets de connexions conductrices du circuit du fait de la diffusion de l'argent dans l'or, le contact entre ces deux métaux formant du point de vue métallurgique une combinaison instable. Pour pallier cet inconvénient, le circuit hyperfréquence conforme à l'invention est caractérisé en ce que ledit plan de masse étant réalisé au moyen du dépôt d'un alliage à base d'argent, la liaison circuit-plan de masse est assurée par in-

3 terposition dans le trajet de métallisation de chacun desdits trous d'un alliage compatible à la fois avec l'or desdits trajets de connexions conductrices et avec l'alliage à base d'argent dudit plan de masse. Si ledit plan de masse est constitué par un alliage d'argent-palladium et si ladite liaison circuit-plan de masse est constituée par un alliage d'or-platine, le système ainsi réalisé est parfaitement stable du point de vue métallurgique grâce à l'or-platine faisant une barrière de diffusion de l'argent dans l'or. La description suivante en regard des dessins annexés, lè-tout donné à titre d'exemple fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les figures 1 à 4 illustrent les étapes successives de la réalisation d'un circuit hyperfréquences conformément à l'invention. Les figures la et lb représentent respectivement une coupe transversale et une vue de dessus d'une plaquette d'alumine 3 au niveau d'un trou 4 pratiqué à travers ladite plaquette. Une métallisation d'or 5 dudit trou est d'abord effectuée au moyen d'un dépôt par sérigraphie sur l'une des faces 1 de la plaquette à partir d'une circonférence 6 concentrique au trou 4, de manière à le métalliser au maximum, ledit dépôt d'or étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Dans l'étape suivante représentée sur la figure 2, une métallisation d'or-platine 7 du trou 4, superposée à la précédente métallisation d'or est obtenue au moyen d'un dépôt par sérigraphie sur l'autre face 2 de la plaquette à partir d'une circonférence 8 concentrique au trou 4 de manière à le métalliser au maximum, le dépôt dl or-platine étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Conformément à la figure 3, on procède ensuite au dépôt par sérigraphie de l'argent-palladium d'un plan de masse 9 sur toute la superficie de la face 2 de la plaquette et de manière à obtenir au niveau de chaque trou 4 un léger recouvrement avec la partie de la métallisation d'or-platine 7 qui déborde à l'extérieur du trou, ledit dépôt d'argent-palladium étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Sur la figure 4 est représenté le circuit achevé, complété dans la dernière étape de la réalisation par les dépôts d'or par sérigraphie sur la face 1 de la plaquette et suivant les trajets de connexions conductrices 10. Au niveau d'un trou 4, ces trajets sont réalisés

4 de manière à recouvrir entièrement la partie de la métallisation d'or 5 qui déborde à l'extérieur du trou et partiellement la métallisation d'orplatine 7 à l'intérieur du trou. Eventuellement on dépose par sérigraphie les résistances 11 du circuit qui est ainsi prêt à recevoir les autres composants reportés. Les dépôts d'or des connexions et de pâte résistive sont suivis de même d'un séchage et d'une cuisson.

5 1. Circuit hyperfréquences réalisé selon les technologies "hybride" et par sérigraphie sur une plaquettes isolante d'alumine, la première face de ladite plaquette devant servir de support à un circuit comportant des trajets de connexions conductrices en or et la seconde face devant servir de support au plan de masse dudit circuit, la liaison circuit-plan de masse étant assurée au moyen de trous pratiqués à travers ladite plaquette et métallisés, caractérisé en ce que ledit plan de masse est réalisé au moyen du dépôt d'un alliage à'base d'argent, la liaison circuit-plan de masse étant assurée par interposition dans le trajet de métallisation de chacun desdits trous d'un alliage compatible à la fois avec l'or desdits trajets de connexions conductrices et avec l'alliage à base d'argent dudit plan de masse. 2. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit plan de masse est constitué par un alliage d'argent-palladium et ladite liaison circuit-plan de masse est constituée par un alliage d'orplatine. 3. Circuit selon les revendications 1 à 2, caractérisé en ce que chacun desdits trous (4) est d'abord métallisé à l'or (5) déposé par sérigraphie sur ladite première face (1) à partir d'une première circonférence (6) concentrique audit trou et ensuite à l'or-platine (7) déposé par sérigraphie sur ladite seconde face (2) à partir d'une deuxième circonférence (8) concentrique audit trou, ledit plan de masse étant réalisé au moyen d'un dépôt par sérigraphie d'argent-palladium (9) sur ladite seconde face de manière à obtenir un léger recouvrement avec la partie de la métallisation d'or-platine débordant de chacun desdits trous jusqu'à ladite deuxième circonférence, lesdits trajets de connexions conductrices étant obtenus au moyen de dépôts d'or (10) par sérigraphie sur ladite première face et réalisés de manière à recouvrir entièrement la partie de la métallisation d'or débordant de chacun desdits trous jusqu'à ladite première circonférence et partiellement la métallisation d'or-platine à l'intérieur desdits trous.

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