Nanolithographie par anodisation locale en microscopie à force atomique sur le phosphore d'indium pour des applications optoélectroniques

Transcription

1 Année 2005 N d'ordre : 2005 ISAL 0096 THÈSE Nanolithographie par anodisation locale en microscopie à force atomique sur le phosphore d'indium pour des applications optoélectroniques Jury : Par Edern TRANVOUEZ Maître és sciences Présentée devant L'Institut National des Sciences Appliquées de Lyon Pour obtenir le grade de Docteur Spécialité : Dispositifs de l'électronique Intégrée, École Doctorale : Sciences pour l'ingénieur, Électronique, Électrotechnique, Automatique (EEA) Soutenance le 29 Novembre 2005 Rapporteurs : Francesc PEREZ-MURANO Professeur, Universitat Autonoma de Barcelona Joël CHEVRIER Professeur, Université joseph FOURIER Grenoble Examinateurs : Gerard GUILLOT Professeur, INSA de Lyon Michel GENDRY Directeur de recherche CNRS Vincent BOUCHIAT Chargé de recherche CNRS Georges BREMOND Directeur de Thèse, Professeur, INSA de Lyon Invité : Peter DE WOLF Docteur-Ingénieur, VEECO

2 Ì Ð Ñ Ø Ö ÁÒØÖÓ ÙØ ÓÒ Ð Ó Ö Ô º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ú ½ Ä Ø Ó Ö Ô Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö Ô Ø Å ½ ½º½ Ä Ð Ø Ó Ö Ô Ò ÙÐØ Ñ Ö ØÖ Ò Ñ ÒØ º º º º º º º º º º º º ¾ ½º½º½ Ä Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ ÓÐÐ Ø Ú º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ½º½º¾ Ä Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ ÕÙ ÒØ ÐÐ º º º º º º º º º º º º º º ½½ ½º½º Ð Ò Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ º º º º º º º º º º º º º º º º ½ ½º¾ Ä Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ º º º º º º º º º º º ¾¼ ½º¾º½ ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ Ø ØÓÖ ÕÙ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾¼ ½º¾º¾ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Å º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ½º¾º Ä ÙØÖ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Å º º º º º º º º º º º ¾ ½º ÓÒÐÙ ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ð Ó Ö Ô º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ÅÓ ÓÒØ Ø Ú ÑÓ ÒÓÒ ÓÒØ Ø ¾º½ Ä Ø Ò ÕÙ Ø ÓÒ Ø ÓÒ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð º º º º º º º º º º º º º º ¾º½º½ Ê ÔÔ Ð ÙÖ Ð Ø Ò ÕÙ Å º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º½º¾ Ä ÔÐ Ø ÓÖÑ Ä ÅË º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º½º Ä ÒØ ÐÐÓÒ Ø Ð ÙÖ ÔÖ Ô Ö Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º ¼ ¾º½º Ä ÓÒ Ø ÓÒ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ¾º¾ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÓÒØ Ø Ð ÑÓ Ø Ø Ò Ö º º º º º º º º º º º º º ¾º¾º½ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ð³ÁÒÈ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø º º º º º º º º º º º º º º ¾º¾º¾ Ä Ö ÙÐØ Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º¾º Ä Ñ Ø Ø ÓÒ Ø Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¼ ¾º гÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ º º º º º º º º º º º º º º º º ¾ ¾º º½ Ä Ö ÙÐØ Ø ØØ Ò Ù º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¾º º¾ Ê ÙÐØ Ø Ò ÙÐ Ö º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½

3 ¾ Ì Ä Ë Å ÌÁ Ê Ë ¾º º ÇÔØ Ñ Ø ÓÒ Ð Ø Ò ÓÒ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º ¾º ijÓÜÝ Ø ÓÒ ÔÔÐ Õ٠г Ö Ò ÙÖ ÐÐ ÙÑ º º º º º º º º º º º º º ¾º º½ Ä ÑÓ ÓÒØ Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¼ ¾º º¾ Ä ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¼ ¾º ÓÒÐÙ ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Ð Ó Ö Ô º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º Å ÙÖ Ð ØÖ ÕÙ º½ ØÙ ÜÔ Ö Ñ ÒØ Ð Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÒÓ ÕÙ º º º º º º º º º º º º º º ¼ º½º½ Å ÙÖ È º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¼ º½º¾ Ä ÌÙÒÒ Ð Ò Å º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º½º Ä Ñ ÙÖ Ë Å º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ¼ º½º Ä Å ÙÖ Å º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º¾ Ä Ñ Ò Ñ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Å ÙÖ ÁÒÈ º º º º º º º º º º º ½½¾ º¾º½ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ò Ò Ö Ð º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½½¾ º¾º¾ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½½ º¾º ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ º º º º º º º º º º º ½½ º ÓÒÐÙ ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½¾½ Ð Ó Ö Ô º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½¾ Ä ÐÓ Ð Ø ÓÒ É ½¾ º½ Ä Ó Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ Ø Ð ÙÖ ÐÓ Ð Ø ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º ½¾ º½º½ Ä Ó Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½¾ º½º¾ Ä ÐÓ Ð Ø ÓÒ Ø Ð³ÓÖ Ò Ø ÓÒ ÐÓØ ÕÙ ÒØ ÕÙ º º º º º º ½ ¾ º¾ Ä ØÖÙØÙÖ Ø ÓÒ ÙÖ Ô Ö Å Ø Ø Ð Ø Ì º º º º º º º º º º ½ º¾º½ Ä ØÖÙØÙÖ Ø ÓÒ ÙÖ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º¾º¾ Ä Ø Ð Ø Ø ÖÑ ÕÙ ÑÓØ º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º Ä ÖÓ Ò É ÙÖ Ð ÙÖ Ò ÒÓ ØÖÙØÙÖ º º º º º º º º º ½ ½ º º½ Ä ÐÓØ ÕÙ ÒØ ÕÙ ³ÁÒ»ÁÒÈ ¼¼½µ º º º º º º º º º º º º º º ½ ½ º º¾ Ä ÖÓ Ò ÙÖ Ð ÙÖ ³ÁÒÈ Ò ÒÓ ØÖÙØÙÖ º º º º º º ½ º º Ä ÖÓ Ò ÙÖ Ð ÙÖ Ò ÒÓ ØÖÙØÙÖ º º º º ½ º º Ä Ô Ö Ô Ø Ú º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ º ÓÒÐÙ ÓÒ º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ ¼ Ð Ó Ö Ô º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º º ½ ¾ ÓÒÐÙ ÓÒ Ø Ô Ö Ô Ø Ú ½

4 CHAPITRE 0 INTRODUCTION º ½ ÄÓ Ó ÄÈÅ Ö ÚÙ Ø ÓÖÖ ÓÒ ËÔ ÁÒÚ Ö Ô Ö ÓÜÝ Ø ÓÒ Å Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÙÖ ÁÒÈ

5 ÁÆÌÊÇ Í ÌÁÇÆ Ä³ Ò Ù ØÖ Ð Ñ ÖÓ¹ Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÔÖ Ð Ô ÖØ ³ÙÒ Ñ ÒÙØ ÓÒ ÓÒØ ÒÙ ÐÐ Ñ Ò ÓÒ ÓÑÔÓ ÒØ º Ð Ô ÖÑ ³ Ù Ñ ÒØ Ö Ð ÙÖ Ú Ø Ø Ñ ¹ ÒÙ Ö Ð ÙÖ ÓÒ ÓÑÑ Ø ÓÒ ÔÙ ÔÐÙ ¼ Ò º ij ÙØÖ Ú ÒØ Ð Ö ÙØ ÓÒ Ð Ø ÐÐ ØÖ Ò ØÓÖ Ø Ð³ ÖÓ Ñ ÒØ Ð Ò Ø ³ ÒØ Ö Ø ÓÒ ÔÙ Ð ØÖÓ¹ Ò ÕÙ Ô Ö Û Ö ØÖ Ò Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ö Ð Ö Ð ÓÑÔÓ ÒØ Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ µ Ñ ÒÙ ÒØ Ò ÓÖØ Ñ ÒØ Ð Ó Ø ÔÖÓ ÙØ ÓÒº Ä Ö ¹ ÙØ ÓÒ ØÙ ÐÐ Ð Ø ÐÐ ÓÑÔÓ ÒØ ÒÓÙ Ñ Ò ÙÜ ÖÓÒØ Ö Ù ÑÓÒ ÕÙ ÒØ ÕÙ º Ä Ú ÒØ ÓÒØÒÓÑ Ö ÙÜ Ô ÖØ Ð ÒÓÙÚ ÐÐ ÔÖÓÔÖ Ø ÕÙ Ô ÙÚ ÒØ Ò ÓÙÐ Ö Ø ÓÒ ÔÓ Ð Ø Ú ÐÓÔÔ Ñ ÒØ ÒÓÙÚ ÙÜ ÓÑÔÓ ÒØ º ÒÓÑ Ö ÙÜ ØÖ Ú ÙÜ ÓÒØ ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÒÓÙÖ ÙÖ Ð³ ØÙ ÔÖÓÔÖ Ø ÌÖ Ò ØÓÖ ÙÒ ÙÐ Ð ØÖÓÒ ÙØ Ð ÒØ Ð ÐÓ ÓÙÐÓÑ Ä Ö Ù Ð Ø Ñ ØØ ÙÖ ÙÒ ÙÐ Ô ÓØÓÒ Ò ÓÔØ ÕÙ ÕÙ ÒØ ÕÙ ÙØ Ð ÒØ Ð Ö Ø Ø ÓÒ Ò Ú ÙÜ ³ Ò Ö Å ÑÓ Ö ÕÙ ÒØ ÕÙ ÙØ Ð ÒØ Ð ÕÙ ÒØ Ø ÓÒ Ù ÓÙÖ ÒØ ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ Ð³ Ò Ù ØÖ ÑÔÐÓ ÒØ ÐÐ Ñ ÒØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ º ÁÐ Ò Ö ¹ ÙÐØ ÕÙ ÔÓÙÖ Ö Ù Ö Ð Ñ Ò ÓÒ ÓÑÔÓ ÒØ Ð ÔÖ Ò Ô Ð ÓÔØ ÓÒ ÑÔÓ Ô Ö Ð Ö Ø Ö Ê ÝÐ Ø Ñ ÒÙ Ö Ð Ú Ð ÙÖ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÙØ Ð Ô Ò ÒØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô º ÇÖ ÐÐ Ö Ò ØØ Ö Ø ÓÒ ØÖ Ú Ð Ò Ò Ö ÙÒ Ù ¹ Ñ ÒØ Ø ÓÒ ÜÔÓÒ ÒØ ÐÐ Ó Ø Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ ÚÖ Ø Ô Ö Ð Ò Ù Ð Ö ÙØ ÓÒ Ñ Ò ÓÒ º Ä³Ó Ø ÒØ ÓÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ö ÙÖ ¾ ÒÑ ÚÖ Ò Ø Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ÍÎ ÔÖÓ ÓÒ ÚÓ Ö Ö ÝÓÒ µº Ñ Ò Ö ÙÒ ÒÚ Ø Ñ ÒØ ÓÒÓÑ ÕÙ Ó Ø ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ø Ø Ò ÕÙ Ô Ù Óѹ Ô Ø Ð Ú Ð ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ñ º Ò Ö ÓÒ ØØ Ù Ø Ò Ú ÒØ Ø Ò ÕÙ Ø ÓÒÓÑ ÕÙ Ð Ñ Ø Ó Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ø ÐØ ÖÒ Ø Ú Ú ÒÒ ÒØ ÔÐÙ Ò ÔÐÙ ÓÑÔ Ø Ø Ú Ø ÓÒ ÑÓ Ò Ò ÑÓ Ò ÝÔÓØ Ø ÕÙ º Ò ÓÒØ ÜØ Ð Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ö Ú Ð Å ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ ÖÓÒÝÑ Ò Ð Åµ ÔÓ ÒØ Ú ÒØ ÒÓÒØ Ø Ð º Ò Ø Ð ³ Ø ³ÙÒ ÓÙØ Ð Ü Ð ÕÙ Ø ÙØ Ð Ð ÙÖ ØÓÙ Ð Ñ ¹ Ø Ö ÙÜ Ø Ò Ñ Ò Ø Ò Ö º ÁÐ ÙØ ÓÙØ Ö Ð Ð Ó Ø Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð Ð³ ÔÔ Ö ÐÐ Ô Ö Ö ÔÔÓÖØ ÙÜ Ø Ò ÕÙ ÐÓÙÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔ¹ Ø ÕÙ ÔÓÙ Ø ÙÜ Ø Ò ÕÙ Ó Ð Ø ÓÒ Ùܵº ij Å Ò ÓÒ ÑÓ Ð Ø Ó Ö Ô Ò Ò Ø Ô Ö Ø ÓÒ Ø ³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ñ ÕÙ º ij Ò ÓÖÑ ¹ Ø Ø ÓÒ Ø Ð³ Ô Ø ÕÙ ÒØ Ð Ð Ð Ø Ó Ö Ô Å Ô ÖÑ ØØ ÒØ ³ Ö Ò Ö ØØ ÐÓÙÖ Ø Ó Ø Ù Ø Ô Ó Ð ØÓ Ö ÔÓÙÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ º

6 Ä ÔÖ Ò Ô Ð Ð Ñ Ø Ð³ Å Ð Ú Ø Ò³ Ò Ø ÔÐÙ ÙÒ º ØÖ Ú ÙÜ Ö ¹ ÒØ Á Å ÓÒØ ÔÖÓÙÚ Ð ÔÓ Ð Ø Ñ ØØÖ Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ñ ÐÐ Ö ÔÓ ÒØ Å ÔÓÙÖ Ö Ð Ö ÙØ ÒØ ÑÓØ ÙÖ ÙÒ Ð Ö ÙÖ ÔÓ Ð Ø Ò Ô Ò Ð ÔÓÙÖ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ò Ù ØÖ ÐÐ ÕÙ Ó Ø ÔÓÙÖ Ð Ö Ò ÓÙ Ð Ô Ø Ø ÔÖÓ ÙØ ÓÒ µº Ä Ø Ò ÕÙ Å ÔÓÙÖÖ Ø ÓÒ Ú Ð Ñ Ø Ó ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÙØ Ð Ö¹ Ú Ö Ö ÕÙ Ö ØÖÙØÙÖ Ø ÓÑÔÓ ÒØ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ù Ò ÖÙ Ø ÓÒÚ ÒØ ÓÒÒ Ð º ÐÐ Ô ÖÑ ØØÖ Ø Ò ³ ÒØ Ö Ö Ñ ÒØ Ò ÒØ Ð Ò Ø ÔÖÓÔÖ Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ º ÍÒ ÙØÖ ÔÔÐ Ø ÓÒ ÔÓ Ð Ð³ Å Ò Ö ÓÒ Ü Ð Ø ÔÓ Ð Ø ³ Ö ØÙÖ ÙÖ ÙÒ ÑÙÐØ ØÙ Ñ Ø Ö ÙÜ Ø ³ Ñ Ö Ú ÒØ Ô Ò ÒØ Ø ÔÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ð Ö Ô Ö Ø ÓÒ ÓÑÔÓ ÒØ ØÙ Ùܺ Ò Ø ÓÒ ÔÓÙÖÖ Ø ÙØ Ð Ö Ð Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Å ÔÓÙÖ Ö Ò Ö ÓÒ¹ Ø ÓÒÒ Ð ÓÙ ÙÔÔÖ Ñ Ö ÖÙ Ø Ò ÓÑÑ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ ÒØ Ö Ò Ö ÙØ Ð Ð ÔÙ Ô ÖØ ÐÐ Ñ ÒØ Ò ÓÑÑ ÓÒ Ô ÙØ ÔÖ Ò Ö Ü ÑÔÐ ÙÖ ÕÙ Ø Ø Ú Ð Ñ ÑÓ Ö Ô Ö Ù Ñ ÒØ Ð Ö Ö ¾¼¼½ µº Ø Ò ÕÙ ³ Ò Ö Ú ÒØ Ò ÙÒ ÔÔÖÓ Ø ÌÓÔ¹ ÓÛÒ ÕÙ³ÓÒ Ô ÙØ ØÖ ¹ Ù Ö Ô Ö ÓÒ ÔØ ÓÒ Ò ÒØ Ô ØÖ ½µ ÙØ Ð ÔÙ ÙØ Ô Ö Ð³ Ò¹ Ù ØÖ Ñ ÖÓ¹ Ð ØÖÓÒ ÕÙ º ØØ Ñ Ø Ó ÓÒ Ø ÙÒ ÑÓ Ø ÓÒ Ö Ø Ð ÙÖ ÔÓÙÖ ÓÒ ÚÓ Ö Ð ÓÑÔÓ ÒØ º ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ Ø Ò Ð³ Ú Ò Ö Ú Ð Ú Ò٠г Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÑÓÐ ÙÐ Ö Ð³ ÔÔÖÓ ÌÓÔ¹ ÓÛÒ Ø Ö Ñ Ò ÕÙ Ø ÓÒ Ô Ö Ö Ô¹ ÔÓÖØ Ð³ ÔÔÖÓ ÓØØÓѹÙÔ ÕÙ³ÓÒ Ô ÙØ ØÖ Ù Ö Ô Ö ÓÒ ÔØ ÓÒ Ò ÒØ Ô ØÖ ½µº Ò Ø ØØ ÔÔÖÓ ÓØØÓѹÙÔ ÕÙ ÓÒ Ø Ô ÖØ Ö Ö ÕÙ ÔÓÙÖ ÓÒ ØÖÙ Ö ÓÑÔÓ ÒØ Ò Ú Ù Ð ÔÙ Ð ÔÙ Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÔÓ ÒÓÑ Ö ÙÜ Ú ÒØ ÙÖ Ð ÓÒ ÔØ ÓÒ ÌÓÔ¹ ÓÛÒ º ijÙØ Ð Ø ÓÒ Ò ÒÓÓ Ø ÑÓÐ ÙÐ Ó Ø ÉÙ ÒØ ÕÙ É µ Ò ÒÓØÙ Ö ÓÒ º º ºµ ÔÓÙÖÖ Ø Ó Ö Ö Ö Ð Ø ÓÒ Ð³ ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ú Ð Ó Ø Ð ÒÓÑ Ö ³ Ø Ô Ð Ø Ó Ö Ô µ Ø ÙÒ ÓÒ ÔØ ÓÒ Ñ º ÇÖ Ð Ø Ò ÕÙ Å ÓÒØ Ô Ö Ø Ñ ÒØ ÔØ Ù ÑÓ ÓÒ ÔØ ÓÒ ÓØØÙѹÙÔ Ø ÔÓÙÖÖ ÒØ ÚÓ Ö ÙÒ ÖÐ Ñ ÙÖ ÓÙ Öº ÓÒÒ ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ö ÙÖ ¼ ÒÑ ÐÐ Ô ÙÚ ÒØ Ô ÖÑ ØØÖ Ö Ö Ø ÒÙÐ Ø ÓÒ ÔÖ Ö ÒØ Ð ÔÓÙÖ É ÀÝÓÒ ¾¼¼¼ ÓÙ ÒÓÖ ÓÒØ ÓÒÒ Ð Ö ÐÓ Ð Ñ ÒØ ÙÖ ÔÓÙÖ ÖÓ ÑÓÐ ÙÐ Ö ÔÓÙÖ Ð³ Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÑÓÐ ÙÐ Ö µº Ø Ò ÕÙ ÔÓÙÖÖ ÒØ Ó Ö Ö ÙÒ ÓÐÙØ ÓÒ Ù ÔÖÓ¹ Ð Ñ Ñ ÙÖ Ð³ Ö Ò ÓÓ Ø Ô Ö Ð Ö Ø ÓÒ Ô Ø Ñ Ø ÐÐ ÕÙ

7 Ú ÁÆÌÊÇ Í ÌÁÇÆ ÔØ º Ù Ð Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ä Ñ ÖÓ ÓÔ Å Ô ÙØ ØÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ñ Ò ÔÙÐ Ö Ø ÔÐ Ö ÑÓÐ ÙÐ Ø Ò ÒÓÖ Ø ÙÜ Ó ¾¼¼ г ÐÐ ÕÙ ÐÕÙ Ò ÒÓÑ ØÖ º Ä ØÖ Ú ÙÜ ØØ Ø ³ Ò Ö Ú ÒØ Ö Ø Ñ ÒØ Ò ÙÜ ÔÔÖÓ ÌÓÔ¹ ÓÛÒ Ø ÓØØÓѹÙÔ º Ä ÙØ ØÖ Ú Ð Ö Ö Ø ÓÒ Ú ÐÓÔÔ Ö ÓÙØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔ ÔÖÓ ÙÖ ÙÒ Ñ Ø Ö Ù Ñ ÓÒ ÙØ ÙÖº ij Ô Ø ÌÓÔ¹ ÓÛÒ Ø ÓÖ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö Ð ÔÓ Ð Ø ÓÒ ÚÓ Ö Ö Ø Ñ ÒØ ØÖÙØÙÖ Ô ÖØ Ö Ð ÙÖ Ø Ò Õ٠г Ô Ø ÓØØÓѹÙÔ Ø Ñ Ò Ô Ö Ð ÔÓ Ð Ø ÐÓ Ð Ö Ó Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ Ô Ö ÒÙÐ Ø ÓÒ ÓÒØÖÐ º Ä Ñ ¹ ÓÒ ÙØ ÙÖ ÕÙ ÒÓÙ ÚÓÒ Ó Ø Ð Ô Ó Ô ÓÖ ³ Ò ÙÑ ÁÒȵº Ñ Ø Ö Ù Ø Ö Ø ÒÙ Ò Ö ÓÒ ÓÒ ÑÔÓÖØ Ò ÔÓÙÖ Ð ÔÔÐ Ø ÓÒ Ò ÓÔØÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ø Ô ÓØÓÒ ÕÙ Ø Ù Ñ ÒÕÙ ³ ØÙ ÙÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ô Ö Å ÙÖ Ñ Ø Ö Ùº Ñ ÒÙ Ö Ø Ø ÓÑÔÓ ÕÙ ØÖ Ô ØÖ º Ä ÔÖ Ñ Ö Ô ØÖ Ô ÖÑ Ø Ö Ð Ö ÙÒ ØÓÙÖ ³ ÓÖ ÞÓÒ Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ü Ø ÒØ Ø ÓÙÐ Ò Ö Ò Ò Ú Ò Ö Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ð Ú ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Åº Ô ØÖ Ô ÖÑ Ø ³ ÚÓ Ö Ù ÙÒ Ô ÖÙ ÒÓÑ Ö Ù ÔÓ Ð Ø Ø Ø Ò ÕÙ Ó ÖØ Ô Ö Ð Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Åº Ä ÙÜ Ñ Ô ØÖ ÔÓÖØ ÙÖ Ð ÔÖÓ Ð Ø Ó Ö Ô Å ÐÙ Ñ Ñ º Ò Ô ØÖ ÒÓÙ ÔÖ ÒØÓÒ Ð Ö Ùй Ø Ø Ó Ø ÒÙ ÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ð³ÁÒÈ Ô Ö Åº Ô Ö Ð Ñ Ò ÙÚÖ ÙÜ Ñ Ø Ó ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ð ÕÙ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÕÙ ÙØ Ð ÙÒ Ø Ò ÓÒ ÔÓÐ Ö Ø ÓÒ ÓÒØ ÒÙ Ø ÙÒ Ñ Ø Ó ÔÐÙ ÓÖ Ò Ð ÓÑ Ò ÒØ Ð Ú ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ Ø Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ø Ò ÓÒ ÔÓÐ Ö Ø ÓÒ ÐØ ÖÒ Ø Ú º Ò Ð Ô ØÖ ÒÓÙ Ö Ø Ö ÓÒ Ð³ Ñ ÙÖ Å Ô Ù ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ Òص Ø Å Ð ØÖ ÕÙ Ë Å ÌÙÒÒ Ð Ò ¹ Å Ø Åµ Ð ÑÓØ ÓÜÝ ÔÓÙÖ Ñ ÙÜ ÓÑÔÖ Ò Ö Ð ÔÖÓ Ù Ö Ñ ÒØ ÒØ Ö¹ Ú Ò ÒØ ÐÓÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Åº Ò Ð ÖÒ Ö Ô ØÖ ÒÓÙ ÔÖÓÔÓ ÓÒ ÙÒ ÔÔÐ Ø ÓÒ Ñ Ø Ó ÒØÖÓ Ù Ø Ò Ð Ô ØÖ ¾ ÔÓÙÖ Ó Ø Ò Ö Ð ÐÓ Ð Ø ÓÒ Ó Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ º ÆÓÙ ÔÖ ÒØÓÒ ÐÓÖ Ð Ö ÙÐØ Ø ÕÙ ÒÓÙ ÚÓÒ Ó Ø ÒÙ ÙÖ Ð ÐÓ Ð Ø ÓÒ Ó Ø ÕÙ ÒØ ÕÙ ³ÁÒ Ù Ò ÙÖ ÙÖ ³ÁÒÈ ÕÙ Ò ÒÓ ØÖÙØÙÖ Ô Ö Åº ÆÓÙ Ø ÖÑ ÒÓÒ Ñ ÒÙ Ö Ø Ô Ö ÙÒ ÓÒÐÙ¹ ÓÒ Ò Ö Ð Ø ÒÓÙ ÔÖ ÒØÓÒ Ð Ô Ö Ô Ø Ú Ñ Ò Ô Ö ØÖ Ú ÙÜ ÙÖ ÓÑÔÓ ÒØ ÒÚ Ð º

8 Á ÄÁÇ Ê ÈÀÁ Ú Ð Ó Ö Ô Ö ¾¼¼½ º Ϻ Ö º º Æ Ð Ò Ø º ÊÓ ÖØ ÍÐØÖ Ú ÓÐ Ø Ð Ö Ö Ô Ö Ó Ú Ò Ñ ÓÒ ÙØÓÖ Ñ ÑÓÖÝ Ú Å Ý ¾¼¼½µ ÓÒ Ö Ò ÓÒ Ä Ö Ò Ð ØÖÓ¹ÇÔØ Ä µ ÐØ ÑÓÖ ÍË º Ó ¾¼¼ ˺ Ó º Å Þ Ò Ìº ÖÓÒ Ø Ðº Ñ Ò ÒÓÑ ÔÙÐ Ø ÓÒ Ó Ð ÓÒ Ò ÒÓÖ Ø Ð ÓÖ Ò ÒÓ Ú Ö Ø ÓÒ Æ ÒÓØ ÒÓÐÓ Ý ÎÓк ½ ¾¼¼ µ ÔÔº½¾ ¾ ½¾ º ÀÝÓÒ ¾¼¼¼ º ú ÀÝÓÒ Ëº º Ó Ëº Àº ËÓÒ Ø Ðº ÔÔÐ Ø ÓÒ Ó ØÓÑ ¹ ÓÖ ¹Ñ ÖÓ ÓÔ Ö Ø Ô ØØ ÖÒ Ò ØÓ Ð Ø Ú ÔÓ Ø ÓÒÒ Ò Ó Ò Õ ÓÒ ÔÔÐ È Ý Ä ØØ Ö ÎÓк Ò ½ ¾¼¼¼µ ÔÔº¾ ¼ ¾ ¼ º

9 Ú ÁÆÌÊÇ Í ÌÁÇÆ

10 CHAPITRE 1 LITHOGRAPHIE, NANOLITHOGRAPHIE ET AFM º ½º½ ½¼¾ ÔÐÓØ ³ÓÜÝ Ò Ö Ù Ö Ð Ô Ö ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Å Ò ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ ÙÖ ÁÒȺ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ø Ö Ð Ò ÔÔÐ ÕÙ ÒØ»¹¾Î ½ ÀÞ Ô Ò ÒØ ½¼¼Ñ º º Ð Ö Ù Ø Ó Ø ÒÙ Ò ÑÓ Ò ¾ Ñ ÒÙØ µ ½

11 ¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ò Ô ØÖ ÒÓÙ ÓÒ ÙÒ ÔÖ ÒØ Ø ÓÒ Ü Ù Ø Ú ÓÙØ Ð Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ó ÙÜ Ò ÒÓØ ÒÓÐÓ º ÆÓÙ Ò Ø ÖÓÒ ÔÐÙ Ô ÖØ ÙÐ Ö Ñ ÒØ ÙÖ Ð Ø Ò ÕÙ ÙØ Ð ÒØ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ ÖÓÒÝÑ Ò Ð Åµº È Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ô ØÖ Ö ÓÙÔ Ò ÙÜ Ô ÖØ º Ò Ð ÔÖ Ñ Ö ÒÓÙ ¹ ÖÓÒ ÖÒ Ö Ð Ð Ñ Ø Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ØÙ ÐÐ ÕÙ³ ÐÐ Ó ÒØ Ø Ò Ö ÓÙ ÙÐØ Ñ º ÆÓÙ Ò ÖÓÒ Ð Ó Ò Ò Ð ÓÑ Ò Ò ÒÓØ ÒÓ¹ ÐÓ ÕÙ Ó Ø ÔÓÙÖ Ð ÔÔÐ Ø ÓÒ Ò Ù ØÖ ÐÐ ÓÙ ÔÓÙÖ Ð Ö Ö º Ò ÙÒ ÙÜ Ñ Ø ÑÔ ÒÓÙ ÑÓÒØÖ ÖÓÒ ÓÑÑ ÒØ ØÙ ÒØ Ò ÓÒØ ÜØ Ð Ø ¹ Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÙØ Ð ÒØ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ º ½º½ Ä Ð Ø Ó Ö Ô Ò ÙÐØ Ñ Ö ØÖ Ò Ñ ÒØ Ä Ø Ó Ö Ô Ù Ö Ð Ø Ó Ô ÖÖ µ Ø Ö Ô Ö ØÙÖ µ Ò Ð ØØ Ö Ð Ñ ÒØ Ö ØÙÖ ÓÙ ÑÔÖ ÓÒ ÙÖ Ô ÖÖ º Ä Ð Ø Ó Ö Ô ÓÒ ÖÒ ÓÒ Ô Ö Ò Ø ÓÒ Ð Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ ÓÙ ÑÓ Ø ÓÒ Ð Ñ Ø Ö º ÈÐÙ ÔÖ Ñ ÒØ Ò Ð ÕÙ ÒÓÙ ÒØ Ö ÓÒØ Ð Ñ Ø Ó Ú ÐÓÔÔ Ô Ö Ð³ Ò Ù ØÖ Ð³ Ð ¹ ØÖÓÒ ÕÙ ÔÓÙÖ Ò Ö ÑÓØ Ñ ÖÓÑ ØÖ ÕÙ ÚÓ Ö Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ÙÖ Ö ÒØ Ñ Ø Ö ÙÜ Ø Ð ÕÙ Ñ Ø ÙÜ ÓÙ Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ º È ÖÑ Ø Ò ÕÙ ÓÒ Ô ÙØ Ø Ò Ù Ö ÙÜ ÔÔÖÓ ØÓÔ¹ ÓÛÒ ÕÙ³ÓÒ Ô ÙØ ØÖ Ù Ö Ô Ö ÓÒ ÔØ ÓÒ Ò ÒØ µ ÐÐ ÓÒ Ø Ô ÖØ Ö Ù Ñ Ø Ö Ù ÖÙØ ÔÓÙÖ ÐÐ Ö Ò Ñ ÒÙ ÒØ ÔÐÙ Ò ÔÐÙ Ð Ñ Ò ÓÒ Ú Ö Ð ÓÑÔÓ ÒØ Ö Ð ÓÐÐ Ø Ú Ñ ÒØ ÓØØÓѹÙÔ ÕÙ³ÓÒ Ô ÙØ ØÖ Ù Ö Ô Ö ÓÒ ÔØ ÓÒ Ò ÒØ µ г ÒÚ Ö ØØ ÔÔÖÓ Ô ÖØ ÓÑÔÓ ÒØ ÔÓÙÖ Ð Ñ Ð Ö Ò ÙÖ º ½º½º½ Ä Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ ÓÐÐ Ø Ú Ø Ò ÕÙ Ö Ø ÒØ Ð³ ÙÖ ØÙ ÐÐ Ð Ø Ò ÕÙ Ð ÔÐÙ ÙØ Ð Ø Ð ÔÐÙ Ñ Ò Ô Ö Ð³ Ò Ù ØÖ º Ò Ø ÐÐ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ö Ð Ö ÓÔ Ö Ø ÓÒ Ð Ø Ó Ö Ô ÙÖ ØÓÙØ Ð ÙÖ Ù Û Ö Ò Ð Ñ ÕÙ Ò ØÖ Ò Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ö ÕÙ Ö Ð ÓÑÔÓ ÒØ Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ µ Ò ÙÒ ÙÐ Ø Ô º Ò Ø Ò ÕÙ ÙØÓÖ ÒØ Ô Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ ÒÓÑ Ö Ö ¹ Ù Ø ³ÓÔ Ö Ø ÓÒ Ð Ö ÚÙÖ ÔÐÙ ÙÖ ÒØ Ò ÚÓ Ö ÔÐÙ ÙÖ Ñ ÐÐ Ö µ ÔÙ Ð ØÖÓÒ ÕÙ º ÐÐ ³ Ò Ö Ú ÒØ Ö Ø Ñ ÒØ Ò Ð Ñ Ö ØÓÔ¹ ÓÛÒ Ù Ú ¹ ÔÙ ÙØ Ô Ö Ð³ Ò Ù ØÖ Ð Ñ ÖÓ¹ Ð ØÖÓÒ ÕÙ º ÇÒ Ô ÙØ Ô Ö Ö Ô ÖÑ Ø Ò ÕÙ ÙÜ Ö Ò Ñ ÐÐ

12 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË Ä Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ º Ö Ø Ñ ÒØ Ö Ð ÙÜ Ø Ò ÕÙ ØÙ ÐÐ ÑÔÐÓÝ Ô Ö Ð³ Ò Ù ØÖ Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ø Ò ÕÙ ÓÒ Ø ÒØ ÙØ Ð Ö Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ñ ÕÙ Ô ÓØÓÒ ÔÓÙÖ ÑÓ Ö ÙÒ Ö ¹ Ò Ô ÓØÓ Ò Ð º ijÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ý Ø Ñ ÓÔØÖ ÕÙ Ø Ñ ÕÙ ÐÐ ÔÓÙÚ ÒØ ÐÐ Ö :½ ½¼:½ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ö Ù Ö Ð Ñ Ò ÓÒ ÑÓØ Ð Ø Ó Ö Ô º Ä Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÐÓÖ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð Ñ Ø ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ô Ö Ð Ô ÒÓÑ Ò Ö Ø ÓÒº ÐÙ ¹ ÒØ Ö Ø ÙÒ Ö Ó¹ ÐÙØ ÓÒ Ñ ÐÐ ÙÖ ÕÙ ÐÐ Ü Ô Ö Ð Ö Ø Ö Ê ÝÐ Ð Ô Ö Ö Ô Ù Ú Òصº Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÐÐ Ø Ú ÒÓÒ ÓÔØ ÕÙ º ÐÐ ÓÒ Ø ÒØ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ ¹ Ö ³ÙÒ Ñ ÕÙ ³ ÓÙ Ø ÑÔÓÒµ ÑÓ Ö ÙÒ Ö Ò ÔÓÙÖ Ð Ò ÒÓ ÑÔÖ ¹ ÓÒµ ÓÙ Ö Ø Ñ ÒØ Ð ÙÖ ÔÓÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö ÐÐ Ð ÓÙ Ð Ò ÒÓ Ø Ò Ðµ Ð ÙÔÔÓÖØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ø ÒØ ÙÒ ÒØ Ö Ø ÓÒ Ö Ø Ù Ñ ÕÙ Ú Ð ÙÖ ÓÙ Ð Ö Ò Ñ Ò ÕÙ Ð ØÖÓ Ñ ÕÙ º º ºµº ij Ú ÒØ Ø ¹ Ò ÕÙ Ø Ò Ô ØÖ Ð Ñ Ø Ô Ö Ð Ö Ø ÓÒº ÐÐ Ô ÖÑ ØØ ÒØ ÓÒ ³Ó Ø Ò Ö Ñ ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ä Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ º ½º¾ ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ Ù ÔÖ Ò Ô Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ Ê Ö ¾¼¼

13 À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ä Ô ÓØÓÒ Ø Ø Ö Ø Ö Ò ÙÒ ÔÖÓ Ú Ò Ö Ð ÔÖ Ò Ô Ð Ú Ø ÙÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÑÓ ÖÒ º Ò Ø Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ Ô ÖÑ Ô Ò ÒØ ¹ ÒÒ ³ ÖÓ ØÖ ÓÒØ ÒÙ Ñ ÒØ Ð Ô Ö ÓÖÑ Ò Ø Ö Ù Ö Ð Ñ Ò ÓÒ ÓÑÔÓ ÒØ Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ º ÐÐ Ô ÖÑ Ø Ð³ Ú Ö ÖØ Ö ¹ Ù Ö Ò Ð ÓÒØ ÜØ Ò Ù ØÖ Ð Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ù ÕÙ³ ¾ ÒÑ ÁÒØ Ð ¾¼¼ º Ò Ð Ô Ö Ö Ô Ù Ú ÒØ ÒÓÙ ÔÖ ÒØÓÒ Ð Ø Ò ÕÙ ØÙ ÐÐ Ð ÙÖ Ð Ñ Ø Ø Ð ÓÐÙØ ÓÒ Ô ÖÑ ØØ ÒØ ³ Ò Ö Ò Öº Ä Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÙØ Ð ÒØ Ð ÐÙÑ Ö ÓÑÑ Ú Ø ÙÖ Ð Ø Ó Ö ¹ Ô º ÐÐ Ø ÑÔÐÓÝ ÔÓÙÖ Ò ÓÐ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð³ ³ÙÒ Ñ ÕÙ ÙÒ Ö Ò Ô ÓØÓ Ò Ð º ØØ Ö Ò Ø Ò Ù Ø Ö Ú Ð Ñ ÕÙ Ñ ÒØ ÔÓÙÖ Ò Ö Ð ÑÓ¹ Ø Õ٠гÓÒ Ú ÙØ Ö Ð Öº Ö ÒØ ÔÖÓ Ø Ð ÕÙ Ð Ö ÚÙÖ Ð ÓÔ ÓÙ ÒÓÖ ÔØ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ô ÙÚ ÒØ ÐÓÖ ØÖ Ü ÙØ ÙÖ Ð ÞÓÒ Ð Ñ Ø Ø ÓÙÚ ÖØ Ò Ð Ö Ò º Ä Ð Ñ Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ñ Ø Ó Ð³ÓÒ ÜÐÙØ Ð ÔÖÓ Ð Ñ Ø ÕÙ ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð Ö Ò ÐÐ ¹Ñ Ñ ÔÓÙÖ ÔÐÙ ³ Ò ÓÖÑ Ø ÓÒ ÙÖ ÔÖÓ Ð Ñ Ø ÕÙ ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð Ö Ø ÓÒ Ø Ð ÙÖ ÜÔÓ Ø ÓÒ Ë ÓÓ ¾¼¼¾ µ ÓÒØ ÑÔÓ Ô Ö Ð Ö Ø ÓÒº È Ö Ø Ñ ÒØ ÓÒÒÙ Ø ÑÓ Ð Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÐØ Ñ ÔÓÙÖ ÙÒ Ø ÒÓÐÓ ÓÒÒ Ø Ó Ø ÒÙ Ô Ö Ð Ö Ð Ø ÓÒ Ê ÝÐ Ù ½ W = k 1λ NA ½º½µ Ú W Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ð Ñ Ø k 1 ÙÒ ÓÒ Ø ÒØ Ô ÕÙ Ù ÔÖÓ Ð Ø Ó¹ Ö Ô λ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÑÔÐÓÝ Ø NA гÓÙÚ ÖØÙÖ ÒÙÑ Ö ÕÙ ÓÙØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ ÓÒÒ Ô Ö Ð Ö Ð Ø ÓÒ NA = n sin(θ) Ò Ð³ Ò Ù Ñ Ð Ù Ø θ г Ò Ð ³ ÔØ Ò Ú ¼¾ гÓÙØ Ðµº ØØ ÓÖÑÙÐ Ô ÖÑ Ø Ò Ö Ð ÓÔØ ÓÒ ÕÙ ³Ó Ö ÒØ Ð³ Ò Ù ØÖ ÔÓÙÖ Ñ Ò Ö Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ Ò ÙÐØ Ñ Ö ¹ ØÖ Ò Ñ ÒØ º Ò Ô Ò ÒØ Ð ØÖ ÒØ ÖÒ Ö ÒÒ ØÓÙØ Ò ÓÔØ Ñ ÒØ ÓÑÑ Ö Ñ ÒØ Ð ÙØÖ Ô Ö Ñ ØÖ NA k 1 ºººµ ³ Ø Ð³ÓÔØ ÓÒ Ð Ö ÙØ ÓÒ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ λµ ÕÙ Ø Ð ÔÐÙ ÙØ Ð º ÐÐ Ô ÖÑ Ô Ö Ò ÐÐ ÒØ Ù Ú Ð Ù ÔÖÓ ÍÎ ÔÙ ÙÜ ÍÎ ÔÖÓ ÓÒ ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ½ Òѵ ³ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ µñ Ò Ð ÒÒ ¼ ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¼ ÒÑ ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÙØ Ð Ò Ð³ Ò¹ Ù ØÖ ÖÒ Ö ÔÖÓ ÙÖ ÑÓ Ð ³ÁÒØ Ðµº Å ØØ ÔÔÖÓ ÔÓ ÕÙ ÐÕÙ Ð Ñ Ø ÔÓÙÖ ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ Ò Ö ÙÖ ½ ÒÑ Ð³ ÜØÖ Ñ Íε Ð Ò³ Ø ÔÐÙ ÔÓ Ð ³ÙØ Ð Ö ÙÒ ÓÔØ ÕÙ Ø Ö Ö Ò ÒØ Ð ÒØ ÐÐ ÓÔØ ÕÙ Ø Ò Ö µº ÇÒ Ó Ø

14 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË Ò Ö Ñ ÒØ Ô Ö ÙÒ ÓÔØ ÕÙ Ö Ø Ú º Ò ÕÙ Ð Ó Ø ÒÚ Ð Ð Ò Ö ÙÐØ ÙÒ Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ ÓÒ ÕÙ ÒØ Ó Ø ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ð³ Ø Ø ÙÖ ÓÔØ ÕÙ Ø ÒØ Ö Ø ÕÙ º Ä ÓÒ ÓÔØ ÓÒ ÓÒ Ø ÓÙ Ö ÙÖ Ð³ÓÙÚ ÖØÙÖ ÒÙÑ Ö ÕÙ Ð Ô Ö Ñ ØÖ k 1 Ö Ø ÒØ Ð Ö Ù Ö ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ Ð³ÓÖ Ö ¼ µº ÈÓÙÖ Ð ÓÒ Ô ÙØ ÑÓ Ö Ó Ø Ð³ Ò Ù Ñ Ð Ù ÒØÖ Ð Ð ÒØ ÐÐ Ø Ð ÙÖ Òµ Ó Ø Ð³ Ò Ð ³ ÔØ Ò sin θµº ÖÒ Ö Ø Ð³ ÙÖ ØÙ ÐÐ ÔÖÓ ¼ º ÁÐ ÙØ ÓÒ Ù Ñ ÒØ Ö Ð³ Ò Ò Ù Ñ Ð Ùº Ä Ö Ö Ò ÓÙÖ ÚÓÒØ Ú Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ Ù ÓÒ ÔÓÙÖ Ö ÑÔÐ Ö Ð³ Öº Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÕÙ ÒÓÙ ÒØ Ö ³ Ø Ö ½ ÒÑ Ð³ Ù ÔÓ Ð³ Ú ÒØ ³ ÚÓ Ö ÙÒ Ò ½ Ø Ò Ô ØÖ ÓÖ¹ ÒØ ÙÖ ÕÙ ÐÕÙ Ñ ÐÐ Ñ ØÖ º ØØ Ñ Ø Ó Ø Ñ Ø Ó Ô ÓØÓÐ Ø Ó Ö Ô Ô Ö ÑÑ Ö ÓÒ ÔÓ Ù Ð Ñ Ø Ö Ò Ù Ñ ÒØ ÒØ Ð³ Ò Ò ÓÒ Ñ ÒÙ Ð ÔÖÓ ÓÒ ÙÖ Ó Ð Ø ÓÒ Ø ÒØ ÚÖ Ù ÔÓÙÖ Ð Ñ ÒÙØ ÓÒ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ µ ÓÑÑ Ð ÑÓÒØÖ ØØ ÓÖÑÙÐ DOF = k 2λ nsin 2 (θ) ½º¾µ Ú DOF Ð ÔÖÓ ÓÒ ÙÖ Ó Ð Ø ÓÒ k 2 ÙÒ Ø ÙÖ Ô Ò ÒØ Ð³ÓÙØ Ð Ð Ø Ó¹ Ö Ô λ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÑÔÐÓÝ Ò Ð³ Ò Ù Ñ Ð Ù Ø θ г Ò Ð ³ ÔØ Ò Ð³ÓÙØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô º ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ Ò ÔÖ Ò ÒØ ÙÒ Ú Ð ÙÖ Ö Ð Ø ¼ ÔÓÙÖ k 2 Ø ÙÒ Ò Ð ³ Ô¹ Ø Ò ¼ ÓÒ Ó Ø ÒØ ÙÒ ÔÖÓ ÓÒ ÙÖ Ó Ð Ø ÓÒ ÑÓ Ò ½¼¼ ÒÑ ÔÓÙÖ ÙÒ ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ½ ÒѺ ÁÐ ÙØ ÓÒ ÕÙ Ð ÓÑÑ Ð Ú Ö Ø ÓÒ Ð ØÓÔÓ¹ Ö Ô ÙÖ Ø Ð³ Ô ÙÖ Ð Ö Ò Ó Ø Ò Ö ÙÖ ½¼¼ ÒѺ ÈÐÙ ÙÖ ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒØ ÒÚ Ð À Ð ½ гÙØ Ð Ø ÓÒ Ö Ò ÓÔØ Ñ Ð³ ÜÔÓ¹ Ø ÓÒ ÙÖ ÔÐÙ ÙÖ ÔÐ Ò Ó ÙÜ Ò ÔÐÙ ÙÖ Ø Ô µº º ºº ÍÒ ÓÐÙØ ÓÒ ØÙ Ù ÓÒ Ø Ñ Ð ÓÖ Ö Ð ÓÒØÖ Ø Ô Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ÐÙÑ Ö ÔÓÐ Ö º Ò Ò Ù ¹ Ú ÒØ Ð³ Ä Ú Ò ÓÒ Ä Ú Ò ÓÒ ½ ¾ ÓÒ Ô ÙØ Ù Ñ ÒØ Ö Ð ÓÒØÖ Ø Ò ÐØÖ ÒØ Ô Ø Ð Ñ ÒØ Ð ÓÑÔÓ ÒØ ÓÒØ ÒÙ Ù Ô ØÖ º ÁÐ Ò Ö ÙÐØ ÐÓÖ Ò ÔÓÐ Ö ÒØ Ð ÐÙÑ Ö ÙÒ Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ð DOFº ijÙØ Ð Ø ÓÒ ÐÙÑ Ö ÔÓÐ Ö Ó Ð Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ô Ö ÑÑ Ö ÓÒ Ô ÖÑ Ø ³ ÒÚ Ö ³ ØØ Ò Ö Ò Ù ¹ ØÖ ÐÐ Ñ ÒØ Ú Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ØÙ ÐÐ Ð ¾ ÒÑ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÁÒØ Ð ¾¼¼ º ÈÓÙÖ Ô Ö ÙÜ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ö ÙÖ Ð Ù Ö ÐÓÖ ÓÑÑ ÒÓ٠г ÚÓÒ ÚÙ ÔÐÙ ÙØ Ô Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ð Ö Ö ½ ÒÑ Ø ÓÒ ÓÔØ ÕÙ Ö ÒØ º ÍÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¾ ÒÑ Ú ÒØ Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ð Ð Ñ Ø ØÙ ÐÐ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ò Ö Ù Ò Ú Ù Ð Ö Ö º

15 À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å ÈÓÙÖ Ñ ÒÙ Ö ÒÓÖ Ð Ð Ñ Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ú Ø Ò ÕÙ ÒØ Ö Ñ ÒØ ÓÔØ ÕÙ ³ ÙØÖ ÓÔØ ÓÒ Ö Ø ÒØ ÒÚ Ð Ò ÕÙ ÔÐÙ ÐÓÙÖ Ñ ØØÖ Ò ÙÚÖ º ÍÒ ÔÖ Ñ Ö Ñ Ø Ó ÓÒ Ø ÙØ Ð Ö Ð ÍÎ ÜØÖ Ñ λ ½ ¼ Òѵ ÓÙ Ð Ö ÝÓÒ λ ½¼ Òѵº ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ Ø ÒØ Ò Ò Ö ÙÖ ÙÜ ÐÓÒ¹ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÙØ Ð ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÐÐ Ò ÓÒØ ÓÒ ÔÐÙ Ð Ñ Ø Ô Ö Ð Ö Ø Ö Ê ÝÐ ÙÜ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÕÙ ÒÓÙ ÒØ Ö Òغ Ò Ø Ù Ú ÒØ Ð Ö Ø Ö Ê Ý¹ Ð Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØØ Ò Ð ÓÒØ ÐÓÖ Ú ÖØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ØÓÑ ÕÙ Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÔÓÙÚ ÒØ ØÖ Ù ØÓÑ ÕÙ Ö ÝÓÒ µº Ä ÔÖ Ò Ô Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ø ÒØ ÔÓÙÖ Ø Ò ÕÙ Ð Ò Ø ³ÙÒ Ñ Õ٠г ÐÐ ½ ÓÒ ÔÓ ÒØ ÙÒ Ô Ò ¹ ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ÔÓÙÖ Ó Ø Ò Ö Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ º Ò Ø Ð Ò³ Ü Ø Ô Ø ÐÐ ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ Ð ÒØ ÐÐ ÓÒÚ ÒØ ÓÒÒ ÐÐ º ijÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÓÔØ ÕÙ Ö ¹ ÒØ Ò Ö ÓÒ Ð ÙÖ ØÖÓÔ Ö Ò ÓÖÔØ ÓÒ Ø Ð Ñ Ø º ÕÙ ÑÔÐ ÕÙ ÓÒ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ñ Õ٠г ÐÐ ½º ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÓÒØ Ð Ñ Ø ¾¼¹ ¼ ÒÑ ÖÖ Ò ½ Ö Þ Ó ¾¼¼ Ò Ö ÓÒ Ð ÔÖÓ Ð Ñ Ø ÕÙ Ö Ò Ø Ð Ö Ð Ø ÓÒ Ñ ÕÙ º Ä Ó Ø ÑÔÓÖØ ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð Ù Ú ÒØ µ Ö ÙÐØ ÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ñ ÕÙ º Ò Ø ÙÒ ÙÐ Ø Ò ÕÙ ÕÙ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ð Ó Ø Ò Ö Ö Ø Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ð ØÖÓÒ ÕÙ º Ò Ð ÓÒ Ñ Ø Ó ÓÒ ÙØ Ð Ð ÑÔ Ú Ò ÒØ ÔÓÙÖ ³ Ö Ò Ö Ù Ö Ø Ö Ê ÝÐ º Ä ÑÔ Ú Ò ÒØ Ò Ø ÓÒ Ò Ö Ð ÓÑÑ ÙÒ ÓÐÙØ ÓÒ ÔÓ Ð ÕÙ Ø ÓÒ Å ÜÛ ÐÐ Ò ÔÖ Ò ³ ÒØ Ö ÔÐ Ò ÓÙ ÒÓÒº ÐÐ Ø Ô ÖØ ³ÙÒ ØÝÔ ØÖ Ò Ö Ð ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÑÔ ÔÖÓ º ÇÒ Ô ÙØ Ò ÒØ Ö ÔØ Ö ØØ ÓÒ Ú Ò ÒØ ÔÖ ÒØ ÙÖ ÕÙ ÐÕÙ ÒØ Ò Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ µ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ñ ÕÙ ÔÓÙÖ Ò ÓÐ Ö ÙÒ Ö Ò Ð ¾¼¼½ º ÐÐ ÔÓ Ð³ Ú ÒØ ÔÖ Ò Ô Ð ³ÙØ Ð Ö Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ØÙ ÐÐ º Å ÓÒ Ú Ö ØÖÓÙÚ Ö Ù ÓÒ ÖÓÒØ ÙÜ Ñ Ñ ÔÖÓ Ð Ñ ÕÙ³ Ú Ð Ø Ò ÕÙ ÔÖ ÒØ º ÁÐ Ù Ö Ú ÐÓÔÔ Ö Ñ Ø Ó ÔÓÙÖ ÔÔÐ ÕÙ Ö Ð Ñ ÕÙ ÙÖ ÙÖ Ù Ò ÒÓÑ ØÖ ÔÖ Ñ Ø Ó ³ Ð Ò Ñ ÒØ Ñ ÕÙ Ù Ù Ò ÒÓÑ ØÖ ÔÖ µ Ø Ò Ö Ð Ö Ø Ð Ó Ø ÑÔÓÖØ ÒØ Ð Ö Ø ÓÒ Ù Ñ ÕÙ º Ä ÓÐÙØ ÓÒ ÙØÖ Õ٠г ¹ Ñ Ü Ø ÒØ Ñ ÐÐ Ö Ø ÒØ ØÖ Ú ÐÓÔÔ ÚÓ Ö Ô Ö Ö Ô ÙÖ Ð Ø Ò ÕÙ Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒ Ø Ñ ÕÙ Ò Ð ØÓÑ Ö µº Ä Ñ ÒÙØ ÓÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÓÒ ÔÓ Ð ÔÓÙÖ Ð ÒÒ Ú Ò Ö Ñ Ð Ó Ø Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔÓÖØ ÒØ ½» Ù ÔÖÓ Ò ½ µ ÖÓ ÒØ ÜÔÓÒ Ò¹

16 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË Ø ÐÐ Ñ ÒØ ÅÙÞ Ó ¾¼¼¼ º Ò Ø Ð ÔÖ Ü ÓÙØ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ý Ø Ñ ÓÔØ ÕÙ Ð Ò Ñ ÒØ º º ºµ Ö Ò Ø Ñ ÕÙ ÓÒØ ÒÙ ÒØ Ù Ñ ÒØ Ö Ò Ñ Ñ Ø ÑÔ ÕÙ Ð ÙÖ ÓÑÔÐ Ü Ø ÓÒ Ú Ð Ö ÙØ ÓÒ ÓÒØ ÒÙ ÐÐ Ð Ø ÐÐ ÓÑÔÓ ÒØ º ÔÐÙ ÓÒ Ô ÙØ ÓÙÐ Ò Ö ÔÓÙÖ ØÓÙØ Ø Ò ÕÙ Ð ÖÖ Ö Ð Ñ ÒØ Ö Ò¹ Ð ¼ ÒѺ Ä Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÓÐÐ Ø Ú ÒÓÒ ÓÔØ ÕÙ Ø Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ØÓÙØ ÓÔØ ÕÙ Ð Ü Ø ³ ÙØÖ Ñ ¹ Ø Ó Ð Ø Ó Ö Ô ÓÐÐ Ø Ú º ÐÐ ¹ Ò Ö ÓÒ Ð Ñ Ø ØÙ ÐÐ Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ ÓÒØ Ð³ÓÖ Ò ³ÙÒ Ö Ò Ò ÓÙ Ñ Òغ ÇÒ ÓÑÔØ Ô ÖÑ Ø Ò Õ٠гÓÜÝ Ø ÓÒ ÓÐÐ Ø Ú Ð Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒ Ð Ò ÒÓ Ø Ò Ð Ø Ð ÔÖÓ Ø ÓÒ Ð ØÖÓÒ ÕÙ º Ò ÕÙ ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÓÐÐ Ø Ú ÓÒ ÔÖ Ò Ô Ø ÐÓÒ Ù Ñ ÒØ ØÖ Ø Ò Ð Ô ÖØ ½º¾º¾ Ô ØÖ ØØ Ø Ò ÕÙ Ø ÒØ ÙÒ ÔØ Ø ÓÒ ÔÓÙÖ Ð Ö Ø ÓÒ Ñ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ô Ö Åº ÐÐ Ø Ú ÐÓÔÔ Ò ¾¼¼ Ô Ö Ú ÐÐ Ò Ú ÐÐ Ò ¾¼¼ ÔÓÙÖ Ó Ö Ö ÙÒ ÙØ Ð Ø ÓÒ Ð Ó ØÙ ÐÐ Ø Óй Ð Ø Ú Ð Ø Ó Ö Ô Ø ÑÔ ÔÖÓ º ØØ Ñ Ø Ó ÓÒ Ø ÙØ Ð Ö ÙÒ Ñ ÕÙ ÓÒ ÙØ ÙÖ ØÝÔ Ø ÑÔÓÒµ Ø Ò Ø Ö Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ø Ò ÓÒ Ð ØÖ ÕÙ º Ä ÔÓ ÒØ Ö Ø ÕÙ ØØ Ø Ò ÕÙ ÓÒØ ÔÖ Ò Ô Ð ¹ Ñ ÒØ Ð Ò Ø ³ÙÒ Ñ Õ٠г ÐÐ ÓÒ Ò Ö Ñ ÒØ Ö Ð Ô Ö ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö Ô µ Ð Ò Ø ³ ÚÓ Ö ÙÒ ÙÖ ÓÒ ÙØÖ Ð ¹ ÙÐØ Ð³ Ð Ò Ñ ÒØ Ø Ð ÔÖÓ Ð Ñ ÔÐ Ò Ø Ð ÙÖ º Å ÐÐ ÔÓ Ù Ú ÒØ º Ùܹ ÓÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð Ð Ø Ñ Ò ÙÚÖ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ô ØÖ Ð Ñ Ø ÙÖ Ð Ø Ò Ð Ø Ö Ð Ð Ö ÙØ Ð Ø ÓÒ ÔÓ Ð Ñ ÕÙ Ø ³Ó Ö Ö ÙÒ ÐØ ÖÒ Ø Ú Ù ØÓÙØ ÓÔØ ÕÙ Ò Ð ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ñ º ØØ Ø Ò ÕÙ Ø ÒÓÖ ÔÖ Ñ Ö Ð ÙØ Ñ ÒØ Ø Ö Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Þ ÜÓØ ÕÙ º Ä Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒ Ò ÒÓ¹ ÑÔÖ ÒØ Ò Ò Ð µ ÓÒ Ø ØÖ Ò Ö Ö ÙÒ ÑÓØ Ô Ö ÓÒØ Ø ÕÙ Ó Ø Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ö Ò ³ÙÒ Ö Ñ ÒØ Ð ØÖÓ Ø Ø ÕÙ ÓÙ ÒÓÖ ³ÙÒ Ø ÑÔÓÒÒ º ØØ Ø Ò ÕÙ ÓÙÐ Ö Ø Ñ ÒØ ÔÖÓ ÙØ ¹ Ð ÔÓÙÖ Ð³ ÑÔÖ ÓÒ Ô Ô Öº ÐÐ ÔÓ Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ð Ñ Ñ Ú ÒØ º º ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð³Ó Ø ÒØ ÓÒ ÓÒ Ö ÔÖÓ ÙØ Ð Ø Ó Ø ÙÖ ÙÒ Ö Ò ÐÐ ÑÓØ Ò ÒÓØÖ Ø ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ µº Ò ÔÔÐ Õ٠г Ò Ù ¹

17 À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å º ½º Ä ÔÖ Ò Ô Ù ËÓ Ø¹Ð Ø Ó Ö Ô Ý Å Ð ¾¼¼½ Ñ Ø Ó Ò ÒÓ Ñ¹ ÔÖ ÓÒ Ó Ø Ø ÓÑÔ Ø Ð Ú Ð ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ñ º µ Ö ÑÑ Ù ÔÖÓ Ù Ð ÔÖ ÔÓÐÝÑ Ö ¾µ ÓÙÚ ÖØ ÑÓÙÐ µ Ô Ö Ð Ñ ÕÙ Ñ ØÖ ½µ Ø ÓÒ Ó¹ Ð Ô Ö Ù ÓÙ Ô Ö Ò ÓÐ Ø ÓÒº ÁÐ Ø Ò Ù Ø ÑÓÙÐ ÔÓÙÖ ÓÖÑ Ö ÙÒ Ø ÑÔÓÒ ³ Ð ØÓÑ Ö µº Ä Ø ÑÔÓÒ Ø ÐÓÖ ÒÖ Ô Ö ÑÑ Ö ÓÒ µ ÓÙ Ñ Ò ÓÒØ Ø Ú ÙÒ Ø ÑÔÓÒ ÒÖ ÙÖ µº Î ÒØ Ò Ù Ø Ð³ ÑÔÖ ÓÒ ÙÖ Ð Ù ØÖ Ø µ ÕÙ Ô ÖÑ Ø ÓÖÑ Ö ÙÒ ÑÓÒÓÓÙ ØÖÙØÙÖ º Ä ØÖÙØÙÖ ÒÖ µ ÓÒØ ÐÓÖ ØÖ Ò ¹ Ö ÙÖ Ð Ù ØÖ Ø Ô Ö ØØ ÕÙ Ñ ÕÙ Ð Ø Ú µº µ ÁÑ Å ÖÓ ÓÔ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ð Ý Å µ Ù Ñ ÕÙ Ñ ØÖ µ Ù Ø ÑÔÓÒ Ð ØÓÑ Ö Ø µ ØÖÙØÙÖ Ö Ð ÔÖ ÑÔÖ ÓÒ Ø ØØ ÕÙ Ð Ø Ú º

18 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ØÖ Ù ¹ÖÓÑ Ø Ù Ú ¹ÖÓÑ ØØ Ø Ò ÕÙ Ô ÖÑ Ø Ö Ð Ö ÑÓØ ³ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¼ µñ ÔÓÙÖ Ð Î µ Ö ÔÖÓ Ù Ø Ô Ö Ó ÔÐÙ ÙÖ Ñ ÐÐ ÓÒ ³ Ü Ñ¹ ÔÐ Ö ÔÓÙÖ ÙÒ Ó Ø ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ò Ö ÙÖ Ð³ ÙÖÓ Ô Ö ÕÙ º È ÖÑ Ð ¹ Ö ÒØ Ñ Ø Ó Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒ ÒÚ Ð ÔÓÙÖ Ö Ð Ö Ð³ Ö ØÙÖ ÔÖ Ò Ö Ð³ Ü ÑÔÐ Ð ËÓ Ø¹Ð Ø Ó Ö Ô Ý Å Ð ¾¼¼½ Ò Ö Ò Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÙ µ ÕÙ Ñ Ñ Ð Þ Ö ÔÖ ÒØ Ø Ú ØØ ÔÔÖÓ º ØØ Ø Ò ÕÙ ÔÖ ÒØ Ñ Ø ÕÙ Ñ ÒØ Ô Ö Ð ÙÖ ½º Ô ÖÑ Ø Ö Ð Ö ÙÒ Ñ ÕÙ ÔÓÐÝÑ Ö Ô ÖØ Ö ³ÙÒ Ñ ÕÙ Ñ ØÖ º Ä Ñ ÕÙ ÔÓÐÝÑ Ö Ø Ò Ù Ø ÙØ Ð ÙÒ ÖØ Ò ÒÓÑ Ö Ó ÔÓÙÖ Ö ÔÓÖØ Ö Ð ÑÓØ ÙÖ Ð ÙÖ Ö Ú Ö Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ ÒÖ ÕÙ Ö ÑÔÐ Ð Ö Ò Ø ÒÓÐÓ Ô ÓØÓÐ Ø Ó Ö Ô µº ÔÖ Ö Ú Ð Ø ÓÒ Ð ÔÖÓ Ø Ò Ö Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ø Ð ÕÙ Ð Ö ÚÙÖ Ð ¹ ÔØ ººº Ö Ø ÒØ ÙØ Ð Ð º Ä Ð Ñ Ø Ø ÓÒ Ñ Ø Ó ÓÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð ÙÐØ Ö Ð Ö Ð Ñ ÕÙ Ñ ØÖ Ð ÓÒØÖÐ Ð Ô Ò ØÖ Ø ÓÒ Ù ÔÓÐÝÑ Ö Ò Ð Ñ ÕÙ ÐÓÖ Ù ÔÖ Ú Ð Ð ÔÓÙÖ ØÓÙØ Ð Ø Ò ÕÙ Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒµ Ð Ù ÓÒ ÔÓ Ð Ð³ ÒÖ Ø Ð ÔÖÓ Ð Ñ ³ Ð Ò Ñ Òغ Ä Ñ ÕÙ Ñ ØÖ Ú Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ µ ÑÔÐ ÕÙ ÓÒ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ò Ô Ö Ð¹ РРг ÒØ ÖÚ ÒØ ÓÒ ³ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö Ô ÐØ ÖÒ Ø Ú Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ º Ò ÕÙ ÓÒ ÖÒ Ð Ô Ò ØÖ Ø ÓÒ Ù ÔÓÐÝÑ Ö Ð Ò Ö ÙÐØ ÙÒ Ø Ò Ñ Ò Ñ Ð ÒØÖ ÕÙ ÑÓØ ÕÙ Ñ ÒÙ ³ ÙØ ÒØ Ð Ò Ø ³ ÒØ Ö ¹ Ø ÓÒº Ä Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ð Ñ Ø Ð Ò ÒÓ ÑÔÖ ÓÒ Ò ÕÙ Ø ÓÖ ÕÙ Ñ ÒØ Ò Ö ÙÖ ½¼ÒÑ Ö Ø ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ö Ð Ð Ù ÓÒ Ð³ ÒÖ º ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÐÐ Ø ¼ ÒÑ ÓÙ ½ º ØØ Ñ Ø Ó Ñ Ð Ö Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ØÙ ÐÐ Ø ÙÒ ÐØ Ö¹ Ò Ø Ú Ö Ù ÙÜ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ ÔÓÙÖ Ð ÔÖÓ ÙØ ÓÒ Ñ ÕÙ Ó Ø Ò Ø ÖÑ Ó Ø ÓÙ Ò Ø ÖÑ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÐØ Ñ ÔÖ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÔÖÓ Ð ÔÖÓ ØÙ Ð µº º ½º ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ Ð Ñ Ø Ó Ò ÒÓ Ø Ò Ð ÓÙ ÓÛ Ñ ÕÙ º µ ÙÒ ÔØ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ø Ö Ð ÙÒ ÕÙ Ñ ÒØ ÙÖ Ð ÙÖ ÒÓÒ ÔÖÓØ Ô Ö Ð Ñ ÕÙ µ ÔÖ ÒØ Ø ÓÒ ØÖÙØÙÖ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ó Ø ÒÙ ÔÖ ÔØ Ø Ö ØÖ Ø Ù Ñ ÕÙ Ã Ñ ¾¼¼

19 ½¼ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ä Ò ÒÓ Ø Ò Ð Ð³ Ò Ð Ø Ò Ð ÕÙ³ÓÒ Ô ÙØ Ù ØÖ Ù Ö Ô Ö Ø Ò ÕÙ ÔÓ Ó Öµ ÓÙ Ë ÓÛ Ñ Å ÕÙ ³ÓÑ Ö µ Ø ÙÒ Ñ Ø Ó ÔØ ÐÓ ¹ Ð Ú Ò Ö ÓÓ ÖØ ¾¼¼ º ØØ ÐÓ Ð Ø ÓÒ Ø Ö Ð Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ñ ÕÙ º Ä Ñ ÕÙ Ø ÓÖÑ ³ÙÒ Ò Ñ Ñ Ö Ò ¼¹ ¼¼ Òѵ Ò ØÖÙÖ Ë ¹ Ð ÙÑ Ë Æµ ØÖÓÙ º ÄÓÖ Ù ÔØ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ð Ñ Ø Ð ÔÓ ÙÒ ÕÙ Ñ ÒØ ÙÖ Ð Ô ÖØ ÒÓÒ ÔÖÓØ Ô Ö Ð Ñ ÕÙ º Ä ÔØ Ö Ð Ò ÙÒ ÙÐ Ø Ô Ô ÙØ ÐÓÖ ØÖ ÙØ Ð Ø Ð ÕÙ Ð Ö Ð Ø ÓÒ Ô Ø Ð ØÖ ÕÙ µ ÓÙ ÔÓÙÖ ÔÖÓØ Ö Ð ÙÖ Ò ÚÙ ³ ÙØÖ Ø Ô Ø ÒÓÐÓ ÕÙ Ö ÚÙÖ ÓÔ º º ºµº Ä ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ø Ò ÕÙ Ö ÙÐØ ÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ð Ñ Ñ Ö Ò Ò ØÖÙÖ Ð ÙѺ ij Ô ÙÖ ÐÐ ¹ ÕÙ ÐÕÙ Þ Ò Ò ÒÓÑ ØÖ Ð Ñ Ø Ð ÙÖ Ø Ú Ù Ñ ÕÙ ÕÙ ÐÕÙ Þ Ò µm 2 º ÁÐ Ò Ö ÙÐØ ÙÒ Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ÙÖ Ð ÒÓÑ Ö ÓÑÔÓ ÒØ Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ Ø Ô º ÁÐ ÙØ ÓÙØ Ö Ð Ð ÒÓÑ Ö ³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ù Ñ ÕÙ ØÖ Ö Ù Ø Ô ÔÐÙ ÙÜ ÓÙ ØÖÓ Ó µ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ñ ÕÙ ÕÙ Ó Ø ØÖ Ð³ ÐÐ ÙØ Ð Ø ÓÒ Ø Ò ÕÙ ³ÙÒ Ò ÒÓ¹Ð Ø Ó Ö Ô ÓÒ Ö µ ÖØ Ò ÓÖÑ Ð Ó Ø Ò Ö Ù Ð ÓÖÑ Ø ÓÒ Ð Ñ Ñ Ö Ò ÙÖ ÒØ Ð Ôص Ð Ñ Ø ÓÒ Ð³ ÙÖ ØÙ ÐРгÙØ Ð Ø ÓÒ Ò Ù ØÖ ÐÐ ØØ Ø Ò ÕÙ ÕÙ Ö Ø ÒÓÖ Ù Ø ³ ØÙ Ò Ö Ö º Ä ÔÖÓ Ø ÓÒ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ø ÙÒ Ø Ò ÕÙ ÒØ ÖÑ Ö ÒØÖ Ð³ Ö ØÙÖ Óй Ð Ø Ú Ø Ð³ Ö ØÙÖ ÕÙ ÒØ ÐÐ º ØØ Ø Ò ÕÙ Ô ÖÑ Ø Ò Ð Ö ÒØ Ð Ù Ð ØÖÓÒ Õ٠г ³ÙÒ ÓÔØ ÕÙ Ð ØÖÓÑ Ò Ø ÕÙ ³ Ö Ö ÙÖ ÙÒ ÙÖ Ö Ð ¹ Ø Ú Ñ ÒØ ÑÔÓÖØ ÒØ ÕÙ ÜÔÓ Ø ÓÒº ÐÐ Ø Ú ÐÓÔÔ Ô Ö Á Å ÙÜ ÙØ ÒÒ ½ ¼ Ô Ö Ó Ð ÕÙ ÐÐ ÐÐ ÙØ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ö Ð Ö Ò Ù ØÖ ÐÐ Ñ ÒØ ØÖ Ò ØÓÖ ÐÓ ÕÙ ÔÓÐ Ö ÙØ Ô Ö ÓÖÑ Ò º ØØ ÔÖ Ñ Ö Ø ÙÒ ÕÙ ÜÔ Ö Ò Ö Ø ÓÒ Ò Ù ØÖ ÐÐ Ô Ö Ð Ø Ó Ö Ô Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÔÖ Ò Ú Ð ÙÔÔÐ ÒØ Ø ÓÒ Ð Ø ÒÓÐÓ ØÖ Ò ØÓÖ ÅÇË ÙÖ ÐÐ ÔÓÐ Ö º Ø٠й Ð Ñ ÒØ ÓÒ ÖÖ Ú Ô Ö ØØ Ñ Ø Ó ÜÔÓ Ö ÙÖ ½¼ÑÑ ½¼ÑÑ Ú ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ½¼¼ ÒÑ Ó Ø ½¼ 10 Ô Ü Ð µº Ä ÔÓ Ð Ø ³Ó Ø Ò Ö Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÓÙ ¾¼ÒÑ ÓÙ ½ ÓÑ Ò Ú ÙÒ Ð Ú Ø Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ò ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ Ð Ö ÚÙÖ Ñ ÕÙ ÙØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ô Ò Ð ÓÑÑ ÒÓ٠г ÚÓÒ ÚÙ ÔÓÙÖ ÙÒ ÖØ Ò ÒÓÑ Ö Ø Ò ÕÙ Ð ¹ Ø Ó Ö Ô ÓÐÐ Ø Ú µº Ä ÔÔÐ Ø ÓÒ Ö Ø Ð³ Ò Ù ØÖ Ñ Ò ÖÓÒØ ÕÙ ÒØ ÐÐ ÙÒ ØÖ ÓÖØ Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ð Ú Ø Ð Ø Ó Ö Ô Ò Ñ Ñ Ø ÑÔ ÕÙ

20 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ½½ г Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒº ½º½º¾ Ä Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ ÕÙ ÒØ ÐÐ Ä Ø Ò ÕÙ ÔÖ ÒØ Ò Ð Ô ÖØ ÔÖ ÒØ ÓÒØ Ø Ò ÕÙ Ù ÑÓÒ Ð³ Ò Ù ØÖ Ø Ð ÓÒ ÓÑÑ Ø ÓÒ Ñ º Å Ò ÑÓÒØ Ð Ü Ø ÙÒ Ñ Ò ÔÐÙ Ô ÕÙ ÔÓÙÖ ÓÑÔÓ ÒØ Ô Ø Ø Ö ÙÖ Ñ Ö ÔÐÙ Ö ØÖ ÒØ º Ùܹ ÓÖÖ ÔÓÒ ÒØ ÙÜ ÓÑ Ò Ð Ö Ö Ù Ú ÐÓÔÔ Ñ ÒØ ÓÙ ÒÓÖ ÔÔÐ Ø ÓÒ ÙØ Ø ÒÓÐÓ ÓÑÑ Ð³ Ò Ù ØÖ Ð³ ÖÑ Ñ Òغ Ä ÓÒØÖ ÒØ Ø Ò ÕÙ Ô ÙÚ ÒØ ØÖ ÐÓÖ ÓÑÔÐ Ø Ñ ÒØ Ö ÒØ º Ä Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔÐÓÝ Ó Ú ÒØ Ó Ö Ö ÙÒ Ü Ð Ø Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ¹ ØÖ ÕÙ Ô Ù ÓÑÔ Ø Ð Ú Ð Ø ÒÓÐÓ ³ Ö ØÙÖ ÓÐÐ Ø Ú º Ò ÓÒØ ÜØ ÓÒØ ÔÐÙØØ Ð Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ Ø ÕÙ ÒØ ÐÐ ÕÙ Ò ÕÙ ÔÓ ÒØ ÙÒ Ú Ø ³ Ö ØÙÖ ÔÐÙ Ð ÒØ Ó Ö ÒØ ÙÒ Ü Ð Ø ÑÔÓÖØ ÒØ Ú Ö ÓÐÙ¹ Ø ÓÒ Ö ÐÐ Ñ ÒØ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ò Ö ÙÖ ¼ Òѵº Ñ Ø Ó ÓÑÑ ÒÓÙ ÐÐÓÒ Ð ÑÓÒØÖ Ö ÓÙÐ ÒØ ÔÓÙÖ Ð ÔÐÙÔ ÖØ Ø Ò ÕÙ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ º È Ö ÓÒ ÕÙ Ò ÓÒ Ô ÙØ Ð Ù Ú Ö Ò ÙÜ Ñ ÐÐ Ð Ø Ò ÕÙ Ø Ó Ð Ø ÓÒ Ù Ô ÖØ ÙÐ ÕÙ ÓÙÐ ÒØ Ð Å ÖÓ ÓÔ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ð Ý Å µº ÐÐ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ô Ö Ð ÓÒØÖÐ ³ÙÒ Ù Ô ÖØ ÙÐ Ð ØÖÓÒ ÓÒ ºººµ ÑÓ Ð Ö ØÖ ÐÓ Ð Ñ ÒØ Ð ÙÖ Ð Ø Ò ÕÙ Ø ÑÔ ÔÖÓ ÕÙ ÓÙÐ ÒØ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ Ø ØÙÒÒ Ðº Ø Ò ÕÙ ÙØ Ð ÒØ ÙÒ Ý Ø Ñ ÓÙÐ Ö ØÖÓ Ø ÓÒ ÓÙÔÐ ÙÒ ØÙ Ô ÞÓ¹ Ð ØÖ ÕÙ Ô ÖÑ ØØ ÒØ ÔÐ Ñ ÒØ ÓÒØÖÐ Ò Ö ÙÖ Ù Ò ÒÓÑ ØÖ µ ÔÓÙÖ ÔÓ Ø ÓÒÒ Ö Ø Ñ ÒØ Ò Ö ÓÒ ÓÒØÖÐ ÙÒ ÓÒ ÕÙ ÐÕÙ Ò ÒÓÑ ØÖ Ð ÙÖ º ØØ ÓÒ ³ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ô ÙØ ØÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ ÑÓ Ö Ð ÙÖ º Ä Ó Ð Ø ÓÒ Ù Ô ÖØ ÙÐ Ø Ò ÕÙ ÙØ Ð ÒØ ÓÑÑ Ð Ø Ò ÕÙ Ñ ÖÓ ÓÔ Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÓÒØ ÐÐ ÓÙÐ ÒØ ÙÒ ÓÔØ ÕÙ Ð ØÖÓÑ Ò Ø ÕÙ º ØØ ÖÒ Ö Ø ÙØ Ð ÔÓÙÖ ÓÒØÖ¹ Ð Ö Ø Ó Ð Ö ÙÒ Ù Ô ÖØ ÙÐ Ö ÙÖ Ð ÙÖ º Ä Ô ÖØ ÙÐ ÓÒØ ÐÓÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ò Ù Ö ÑÓ Ø ÓÒ Ò ÙÖ º ÙÜ Ñ Ø Ó ÓÖÖ ¹ ÔÓÒ ÒØ ØØ Ò Ø ÓÒ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ð ØÖÓÒ ÕÙ ³ ÖÓÒÝÑ Ò Ð ¹

21 ½¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ñ µ Ø Ð Ð Ø Ó Ö Ô ³ ÓÒ Ó Ð ³ ÖÓÒÝÑ Ò Ð Á µº Ä Ý Ø Ñ Ó Ð Ø ÓÒ Ø ÓÒ ØÖ Ñ Ð Ö ÔÓÙÖ Ð ÙÜ Ý Ø Ñ º Ä ÔÖ Ò Ô Ð Ö Ò Ø Ð ÓÙÖ Ô ÖØ ÙÐ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ð Ô ÖØ ÙÐ ÙØ Ð º ÈÓÙÖ Ð³ÙÒ Ð³ ¹ ѵ Ð ³ Ø ³ Ð ØÖÓÒ ÓÒ Ô ÖØ ÙÐ Ö Ò Ø Ú Ñ ÒØ ÔÓÙÖ Ð³ ÙØÖ Ð Á µ ³ ÓÒ Ö ÔÓ Ø Ú Ñ ÒØ Ò Ò Ö Ð Ù ÐÐ ÙÑ + µº ÁÐ Ò Ö ÙÐØ Ò ÙÐ Ö Ø ÒØÖ ÙÜ Ø Ò ÕÙ Ø ÔÖÓ Ð Ñ Ø ÕÙ Ö ÒØ º ij ¹ Ñ ÙØ Ð Ô ÖØ ÙÐ Ô Ø Ø Ø ÐÐ Ø Ð Ö Ô Ö ÓÒ ÕÙ ÒØ ³ Ò Ö¹ Ò Ø ÕÙ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð º ÐÐ Ò Ô ÙÚ ÒØ ÓÒ ØÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ ÑÓ Ö Ö Ø Ñ ÒØ Ð ÙÖ º ØØ ÑÓ Ø ÓÒ Ó Ø Ö Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ö Ò Ò Ø Ú ÓÙ ÔÓ Ø Ú ÕÙ Ö ÐÓ Ð Ñ ÒØ Ò ÓÐ Ð ØÖ ÕÙ Ñ Òغ ÔÖ Ö Ú ¹ Ð Ø ÓÒ ÑÓØ Ð Ñ Ñ ÓÒ ÕÙ³ Ò Ð Ø Ó Ö Ô Ð ÕÙ ÓÒ Ô ÙØ Ö Ð Ö Ð ÔÖÓ Ø ÒÓÐÓ ÕÙ ØÙ Ð ÔØ Ö ÚÙÖ ºººµº Ä Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØØ Ø Ò ÕÙ Ô Ò ÙÜ Ø ÙÖ Ð Ø ÐÐ Ù Ù Ð ØÖÓÒ ÕÙ ÔÓص Ð ÔÖÓÔÖ Ø Ð Ö Ò ÙØ Ð Ä Ø ÐÐ Ñ Ò ÑÙÑ ÙÜ Ð ØÖÓÒ ÕÙ ØØ ÒØ Ø Ò Ö ÙÖ Ù Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ º Ä ÔÖ Ò Ô Ð Ð Ñ Ø Ú ÒØ ÓÒ Ð Ö Ò º Ò Ø ÐÓÖ ÕÙ Ð Ô ÒÓÑ Ò Ù ÓÒ Ð ØÖÓÒ Ø Ð Ñ Ø ³ Ø Ð Ò Ö Ø ÓÒ ³ Ð ØÖÓÒ ÓÒ Ö ÕÙ Ø Ö ÔÓÒ Ð ØØ Ð Ñ Ø º Ò Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ð Ñ Ø ÕÙ Ò Ö ÙÐØ Ó ÐÐ ÒØÖ Ø ½¼ ÒѺ ÈÓÙÖ Ð Ñ ÒÙ Ö Ð Ù Ö Ú ÐÓÔÔ Ö Ö Ò ÔÐÙ ÓÒØÖ Ø Ø ÓÒ ÑÓ Ò Ù ØØ Ð³ ÜÔÓ Ø ÓÒ ³ Ð ØÖÓÒ ÓÒ Ö º Å Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø ÒØ ÔØ Ð Ð ÔÐÙ Ö Ò Ð Ñ Ø Ð³ ¹ Ñ Ö Ø Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ º ÐÐ ¹ Ø ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð Ñ Ø Ô Ö Ð ÒØ Ö Ø ÓÒ ÓÙÐÓÑ ÒÒ ÕÙ Ð Ñ Ø ÒØ Ð ÓÙÖ ÒØ Ø ÓÒ Ð Ú Ø Ð Ø Ó Ö Ô ÖÓÚ ¾¼¼¾ º ÍÒ ÙØÖ ÓÒ ÕÙ Ò Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ Ð ØÖÓÒ ÓÑÑ ÙÔÔÓÖØ Ð Ø Ó Ö Ô Ö Ò Ð Ò Ø Ù Ú Ð Ð ØÖÓÒ Ò³ Ý ÒØ ÕÙ³ÙÒ ØÖ Ð Ð Ö Ô ÖÓÙÖ ÑÓÝ Ò Ò Ð³ Öº Ë Ð³ÓÒ ÓÙØ Ð Ð Ó Ø Ð³ ÔÔ Ö ÐÐ Ð Ò Ö ÙÐØ ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ ÐÓÙÖ Ñ ØØÖ Ò ÔÐ Ø ØÖ Ó Ø Ù º Ä Á ÔÓ ÓÑÑ Ú ÒØ ÙÖ Ð³ ¹ Ñ Ò Ô Ó Ð ØÓ Ö Ñ ÒØ Ò ¹ Ø Ö Ö Ò ÐÓÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô º ÇÒ Ô ÙØ Ö Ø Ñ ÒØ Ð³ÙØ Ð Ö ÔÓÙÖ Ö Ú Ö Ð ÙÖ Ø Ò Ö Ð Ö ÙÒ Ò ÒÓ¹ ØÖÙØÙÖ Ø ÓÒ ÙÖ º ÐÐ ¹ Ø Ó Ø ÒÙ Ò Ð Ö ÒØ ÓÒ ÐÐ ÙÑ ÓÙ ÙØÖ µ Ò Ö ÕÙ ÐÕÙ Þ Ò ÐÓ

22 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ½ Ð ØÖÓÒÎÓÐØ º ÓÒ ÚÓÒØ ÔÓÙÚÓ Ö ÖÖ Ö Ð ØÓÑ Ò ÙÖ ÙÖ ÔÖÓ ÓÒ¹ ÙÖ Ø Ú ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ð Ø Ö Ð ÕÙ ÐÕÙ Ò ÒÓÑ ØÖ º Ä ÔÖÓ Ð Ñ Ø ÕÙ ÕÙ Ò Ö ÙÐØ Ø ÐÓÖ ØÖ Ô ÕÙ º ÇÒ Ô ÙØ ÒÓØ Ö Ò Ö Ð Ñ ÒØ ÙÒ ÓÒØ Ñ Ò Ø ÓÒ ÔÓÙÚ ÒØ Ò Ù Ö Ù Ú ÒØ Ð Ñ Ø Ö ÙÜ ÙÒ ÓÔ Ö Ù Ð ÙÜ ÓÒ Ô Ò ØÖ ÒØ º Ùܹ Ò Ù ÒØ ÙÖØÓÙØ ÙÒ ØÖÙØ ÓÒ Ô ÖØ ÐÐ ÙÖ ÕÙ ÐÕÙ Ò ÒÓÑ ØÖ ÔÖÓ¹ ÓÒ ÙÖ Ð Ö Ø ÐÐ Ò Ø Ð ÙÖ º ÔÓ ÒØ Ò Ø ÒØ ÙÒ Ö ÓÙÖ ÙÒ Ò Ø¹ ØÓÝ ÙÖ Ø Ö Ù Ø Ø ÙÖ Ø ÔÓÙÖ Ö Ø Ð Ö ÙÒ ÓÒ Ø Ø ÙÖ º Ä Ñ ÐÐ ÙÖ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÒÙ Ò Ð Á ÓÒØ Ù Ñ Ñ ÓÖ Ö Ö Ò¹ ÙÖ ÕÙ ÐРг ¹ Ñ º º ½¼ ÒÑ ÔÓÙÖ Ð ØÖ Ú ÙÜ Ö ÒØ Ö Ö ¾¼¼ Ú ÙÒ Ù ÒѺ ij Ú ÒØ Ð Ø ÐÐ Ù Ø Ð Ð Ñ Ø Ø ÓÒ Ù Ô ÒÓÑ Ò ÓÒØ Ñ Ò Ø ÓÒ ÙÖ ÐÐ ¹ Ò³ Ø ÔÐÙ ÕÙ ÓÒ»Ñ 2 º Ä ÙØÖ ÒÓÒÚ Ò ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ Ö Ø ÒØ ÓÑÑÙÒ Ð³ ¹ Ñ º º Ð Ò Ø Ö Ð Ö ÙÒ Ú Ø Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð Ñ Ü ÑÙÑ ¾¼¼ ÒѺ 1 µº Ä Á Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ ÒØ ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ö Ð Ø Ú ¹ Ñ ÒØ ÐÓÙÖ Ø Ó Ø Ù Ñ ØØÖ Ò ÔÐ º Ä ÑÔ ÔÖÓ Ä³ ØÓÖ ÕÙ ÓÑÔÐ Ø ÙÖ Ð ÓÑ Ò Ù ÑÔ ÔÖÓ Ø Ð Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ð ÓÒ ÖÒ ÒØ Ø Ð³Ó Ø Ð Ô ÖØ ½º¾º½ ÒÓÙ Ò Ð ÔÖ ÒØ ÖÓÒ ÓÒ Ô Ò ØØ Ô ÖØ º ÁÐ Ø ÑÔÓÖØ ÒØ ØÓÙØ ³ ÓÖ ÓÒÒ ØÖ Ð Ö ÒØ ÔÖÓØ ÓÒ Ø º ÐÐ ¹ ÓÒØ Ò Ð³ÓÖ Ö ØÓÖ ÕÙ ³ ÔÔ Ö Ø ÓÒ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ Ø ØÙÒÒ Ð ³ ÖÓÒÝÑ Ò Ð ËÌŵ ÒÒ Ò ½ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ ³ ÖÓ¹ ÒÝÑ Ò Ð Åµ ÒÒ Ò ½ Ø Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÔØ ÕÙ ÑÔ ÔÖÓ Ä Û ½ ³ ÖÓÒÝÑ Ò Ð ËÆÇŵº Ø Ò ÕÙ ÓÒØ Ò ÓÑÑÙÒ ³ÙØ Ð Ö ÙÒ ÓÒ ÔÐ ÙÒ Ø Ò Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ð ÙÖ ÔÓÙÖ Ú Ò Ö Ö Ð Ö Ñ ¹ ÙÖ ÐÓ Ð º ij Ú ÒØ Ø ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ ³ Ö Ò Ö Ô Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ù ÑÔ ÔÖÓ Ð Ñ Ø Ö Ø ÓÒ Ù ÑÔ ÐÓ ÒØ Ò Ö Ø Ö Ê ÝÐ µº ÔÐÙ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ Ð Ý Ø Ò ÕÙ Ô ÖÑ ØØ ÒØ ³Ó Ø Ò Ö Ò Ù Ð³ Ñ ¹ Ö ØÓÔÓ Ö Ô ÕÙ ÙÒ ÖØÓ Ö Ô ÓÑÔÐ Ø ³ÙÒ ÓÙ ÔÐÙ ÙÖ ÔÖÓÔÖ Ø ÙÖ Ö ÙÖ Åµ Ô Ø Ë Åµ Ö Ø ÓÒ ÑÔ Ð ØÖÓÑ ¹ Ò Ø ÕÙ Ú Ò ÒØ ËÆÇŵº º ºµº ÌÓÙØ Ò ØÙÖ ÐÐ Ñ ÒØ ØØ ÓÒ ÐÓ Ð Ô ÖÑ Ø Ñ ÙÖ Ö ÙÒ ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ÐÐ Ô ÙØ Ù ØÖ ÙØ Ð ÔÓÙÖ ÑÓ Ö ØÖ ÐÓ Ð Ñ ÒØ Ð ÙÖ º ÁÐ Ò Ö ÙÐØ Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ø Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔ ÔÖÓ Ä Ñ ÖÓ ÓÔ Ø ØÙÒÒ Ð Ò ØÖ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÑÔ ÔÖÓ

23 ½ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ì Ò ÕÙ Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÑ ÒØ Ö Ö Ö Ò ÔÐ Ñ ÒØ ³ ØÓÑ ØÓÑ ÕÙ Ò Ø ³ÙÒ Ú ÔÓÙ Ø Ð Ö ½ ¼ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÜØÖ Ñ ÕÕ Ã ÐÚ Òµ ÁÒ ÒØ Ø ÓÒ ½¼ÒÑ ÔÖÓÔ Ø ÓÒ Ð³ Ò ÒØ Ö Ñ ½ ÙÖ ÔÐÙ ÙÖ Þ Ò ÒÑ ÁÒ ÓÐ Ø ÓÒ Ð ¹ ØÖ ÕÙ ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ò Ô Ú Ô ÙÖ ½ ÒÑ ÒÑ Å ÖÖ Ò ½ Å Ö ¾¼¼¼ ÇÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð ¾ ÒÑ Æ Ø ³ ØÖ Ð³ Ö Ø ½ ¼ Ì º ½º½ Ä Ö ÒØ ÔÓ Ð Ø Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö Ô Ó ÖØ Ô Ö Ð ËÌÅ Ð ÓÒ Ø Ñ ÙÖ Ö Ð ÓÙÖ ÒØ ØÙÒÒ Ð ÕÙ Ö ÐÓÖ Õ٠гÓÒ ÔÔÐ ÕÙ ÙÒ Ö Ò ÔÓØ ÒØ Ð ÒØÖ Ð ÔÓ ÒØ Ø Ð ÙÖ º ÓÙÖ ÒØ Ú Ö ÒØ ØÖ Ö ¹ Ô Ñ ÒØ Ú Ð Ø Ò ÔÓ ÒØ ÙÖ Ô ÖÑ Ø Ö Ð Ö ÙÒ ÖØÓ Ö Ô ÔÖ Ð ÙÖ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÓÑ ÕÙ µº ³ Ø ÓÒ ÒÚ ÒØ ÓÒ ÕÙ³ÓÒØ Ø ÑÓÒØÖ Ð ÔÓ Ð Ø Ù ËÌÅ Ò Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö º Ò Ò ½ Ú Ïº Ö Ñ Ö Ñ ½ ÙØ Ð Ð ËÌÅ ÔÓÙÖ Ò ÒØ Ö Ð³ ÐÐ Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ ÕÙ ÒØÖ ½¼ Ø ¼Òѵ ÙÒ ÙÖ ³ÓÖº Ä Ñ Ñ ÒÒ Ð ÔÖ ÒØ ÙÒ Ñ Ø Ó ÔØ ÓÒØÖÐ Ð ÔÓ ÒØ º ØØ Ñ Ø Ó Ô ÖÑ Ø Ô Ö Ù ¹ Ñ ÒØ Ð ÔÓ ÒØ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ö ÓÒ Ö Ô ÖØ ÐÐ Ñ ÒØ ÐÐ ¹ ÔÓÙÖ ÔÓ Ö ÕÙ ÐÕÙ ØÓÑ Ò ÙÖ º Ä ÔÐÓØ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ Ò Ó Ø ÒÙ ÔÓ ÒØ ÙÒ Ð Ö ÙÖ ØÝÔ ÕÙ ¾¼ÒѺ ËÙ Ø ÔÖ Ñ Ö ØÖ Ú ÙÜ ³ ÙØÖ Ñ Ø Ó ÓÒØ ÔÙ Ú ÐÓÔÔ Öº ÇÒ Ô ÙØ Ò Ø Ö Ð ÔÖ Ñ Ö ØÖ Ú ÙÜ Ð Ö Ð Ö ½ ¼ ÑÓÒØÖ ÒØ Ð ÔÓ Ð Ø Ñ Ò ÔÙÐ Ö Ð ØÓÑ Ô Ö ËÌÅ ÓÙÖ Ð Ñ ÐÐ ÙÖ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ò ÒÓØ ÒÓÐÓ µ Ð ØÖ Ú ÙÜ Ø Ø ½ ¼ ÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ô Ö ËÌÅ Ø ÒÓÖ Ð³ Ò ÓÐ Ø ÓÒ Ð ØÖ ÕÙ Ö ¹ Ò Ô Ö ËÌź Ä Ø Ð Ù ½º½ Ø ÙÒ ÒÚ ÒØ Ö Ö ÒØ ÔÖÓ Ó ÖØ Ô Ö Ð ËÌÅ Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ú Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØØ ÒØ º Ä ÔÖ Ò Ô Ð ÙØ Ù ËÌÅ Ö Ø ÓÒ Ñ ÒÕÙ Ü Ð Ø Ø Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ º Ò Ø Ð Ö ÕÙ Ö ÓÙÚ ÒØ ÙÒ Ú ÔÓÙ Ø ÔÓÙÖ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÜØÖ Ñ Ð Ø ÑÔ Ö ØÙÖ ÕÙ ÐÕÙ Ã ÐÚ Ò ÔÓÙÖ Ð ØÖ Ú ÙÜ Ð Öµº ÔÔÐ Ø ÓÒ

24 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ½ Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ Ö Ø ÒØ ÓÒ ÔÓÙÖ Ð ÔÐÙÔ ÖØ Ù Ø ÑÔ ÒØÓÒÒ ØÙ Ô Ý ÕÙ Ñ Ó ÓÔ ÕÙ Ò Ø ÒØ Ù Ø Ñ ÒØ Ñ Ò ÓÒ Ø Ø Ñ¹ Ô Ö ØÙÖ ØÖ Ð µº Ä Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ ÕÙ ÐÐ ÓÒ Ø ÓÒØÖÐ Ö Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ ¹ Ö ³ÙÒ Ð Ú Ö ÔÔ Ð Ò Ò Ð ÒØ Ð Ú Öµ Ð ÓÖ ³ ÒØ Ö Ø ÓÒ ÒØÖ Ð ØÓÑ Ð ÔÓ ÒØ Ø ÙÜ Ð ÙÖ ØÙ Öº ÁÐ ÔÓ ÓÑÑ Ú ÒØ ÔÓÙÚÓ Ö ØÖ Ú ÐÐ Ö ÙÖ ØÓÙØ ØÝÔ ÙÖ ÕÙ³ ÐÐ Ó Ø ÓÒ Ù¹ ØÖ ÓÙ ÒÓÒº ÁÐ ÙØ Ù ÒÓØ Ö ÕÙ ØØ Ø Ò ÕÙ Ò Ò Ø Ô Ú Ù Ô ÙØ ØÖ ÔÓÙÖ Ð³Ó Ø ÒØ ÓÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÓÑ ÕÙ µº Ä Ñ Ø Ó Ò ÒÓ¹Ð Ø Ó Ö Ô ÙØ Ð ÒØ Ð³ Å ØÓÙØ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð ËÌÅ ÓÒØ ÒÓÑ Ö Ù º ÇÒ Ô ÙØ Ø Ö Ò Ð ÓÖ Ö Ð³ Ò ÒØ Ø ÓÒ Ð³ Ò ÓÐ Ø ÓÒ Ð ØÖ ÕÙ Ö Ò Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð º º ºº ÍÒ Ú ÓÒ ÔÐÙ ÔÖ Ø ÔÖ ÒØ Ò Ð Ô ÖØ ½º¾ Ô ØÖ ÐÐ ¹ ÔÓÖØ ÒØ ÙÒ ÕÙ Ñ ÒØ ÙÖ Ù Øµº ij Å Ø Ú ÒØ ØÓÙØ ÙÒ Ñ Ø Ó ÑÔ ÔÖÓ º ËÓÒ ÔÖ Ò Ô Ð ÙØ Ø ÓÑÑ Ð ËÌÅ Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ º Šг Å Ö Ø ÙÒ Ñ Ø Ó Ü Ð Ô Ú Ò Ö Ø Ð Ó Ö Ð ÔÓ Ð Ø ØÖ Ú ÐÐ Ö ÙÖ Ñ Ø Ö ÙÜ ÓÐ ÒØ µ Ó ¹ Ö ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ä Ñ ÖÓ ÓÔ ÑÔ ÔÖÓ ÓÔØ ÕÙ ÒÓÒ Ù µ ØØ Ñ Ø Ó ÓÒ Ø ÙØ Ð Ö Ð Ö ÓÖ ÓÖ ÐÐ Ñ Òص ÔÓÙÖ ÓÒ ÖÚ Ö Ð ÔÓ ÒØ ³ÙÒ Ö ÓÔØ ÕÙ ÙÒ Ø Ò ÓÒ Ø ÒØ Ð ÙÖ Ò ÓÐÐ Ø Ö Ð ÑÔ Ú Ò ÒØ ÚÓ Ö Ô ÖØ ½º½º½µº Ò ÕÙ ÓÒ ÖÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ð ËÆÇÅ Ø Ð Ô Ö ÒØ Ô ÙÚÖ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÒ ÐÓ Ð º Ò Ø Ð³ÙØ ¹ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ö Ø Ö Ø»ÓÙ ØØ ÕÙ Ñ ÕÙ Ñ ÒØ Ø Õ٠гÓÒ Ò Ô ÙØ ØØ Ò Ö ÕÙ ØÖ Ö Ö Ñ ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ö ÙÖ ¼ ÒÑ Ã Ñ ¾¼¼ º ÁÐ Ò Ö ÙÐØ Ò Ò ÒÓÐ Ø Ó Ö Ô Ô Ö ËÆÇÅ Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ÕÙ Ú Ð ÒØ º Ò Ð Ö ÒØ ØÖ Ú ÙÜ ÓÒ ÖÒ ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ Ø ÓÒ ÙØ Ð Ø ÓÒ ÔÓÙÖ Ò ÓÐ Ö ÓÔØ ÕÙ Ñ ÒØ ÙÒ Ö Ò ÔÖ ÒØ ÒØ ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ñ Ü Ñ Ð ÒÑ Ä Ò¹ Ö Ù ¾¼¼½ º ØØ Ñ Ø Ó Ö Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò ÒÓÖ Ð Ñ Ø º Ä Ú ÒØ Ø Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ ÓÑÑÙÒ Ø Ò ÕÙ ÓÒØ ÙÒ Ü Ð Ø ÑÔÓÖØ ÒØ ÔÙ ÕÙ³ Ð ³ Ø Ø Ò ÕÙ Ø Ñ Ð Ò Ò Ø ÒØ Ô Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ñ ÕÙ µ Ð ÔÓ Ð Ø ³ Ñ Ö Ò Ò Ù Ò Ö Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ú ÒØ Ô Ò ÒØ Ø ÔÖ

25 ½ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ð Ó Ø Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ Ö Ø Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ð ÓÑÔ Ö ÙÜ Ñ Ø Ó Ó Ö ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÓÑÔ Ö Ð Ð Ø Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ ÙÐØ Ñ ¹ Ѻºººµ Ð ÔÖ Ò Ô Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ö Ø Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ ÕÙ Ñ ÙÖ ØÖ Ð Ñ Ñ ÓÑÔ Ö ÙÜ ÙØÖ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ø ÕÙ ÒØ ÐÐ º Ò ÕÙ³ Ð Ý Ø ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ô Ö Ð Ù Ø Ð ÔÓ Ð Ø ÔÓÙÖ Ð³ Å ³ÙØ Ð Ö ÔÐÙ ÙÖ Ñ ÐÐ Ö ÔÓ ÒØ Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ø Ù Ñ ÒØ Ö Ò Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ µ ÙØÖ Ø Ò ÕÙ ÈÓÙÖ Ò Ö ÒÓØÖ ØÓÙÖ ³ ÓÖ ÞÓÒ ÙÖ Ð Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ø ØÖ Ð ÔÐÙ ÓÑÔÐ Ø ÔÓ Ð Ð Ö Ø ÔÖ ÒØ Ö Ø Ò ÕÙ ÔÐÙ ÜÓØ ÕÙ ÕÙ Ò ÕÙ Ô Ù Ö ÓÐÙ ÔÖ ÒØ ÒØ Ñ Ø Ó ÐØ ÖÒ Ø Ú ÕÙ ÔÓÙÖ ÖØ Ò Ô ÙÚ ÒØ ØÖ ÒÒÓÚ ÒØ Ä ÖÓ Ò ÓÒØÖÐ Ô Ö Ù ØØ Ñ Ø Ó Ô ÙØ ØÖ ÙØ Ð Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ÙÜ Ú Ø ÙÖ Ð ÔÖ ¹ Ñ Ö Ø ÒØ Ð³ ¹ Ñ Å Ø Ù ½ Ø Ð ÙÜ Ñ ÓÒ ÖÒ Ð Á Å Ø Ù ¾¼¼¼ º ÐÐ ÓÒ Ø ÔÖÓÚÓÕÙ Ö Ð ÔÓ Ø ÓÒ ³ÙÒ Þ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ ¹ Ù ÕÙ Ó Ø ³ ÓÒ ÓÙ ³ Ð ØÖÓÒ µº Ä Þ ÙØ Ð ÓÒØ ÔÖ ÙÖ ÙÖ ÕÙ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ö Ð Ö ÔØ ØÓÙØ ÓÖØ Ñ Ø Ö ÙÜ Ñ Ø ÙÜ Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÓÙ ÓÐ ÒØ µº È Ö Ü ÑÔÐ Ð Ö ÓÒ ÙØ Ð Ð ÔÖ ÙÖ ÙÖ C 14 H 10 µ Ø Ð ØÙÒ Ø Ò Ð ÔÖ ÙÖ ÙÖ W (CO) 6 ºÄ³ Ú ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ Ø Ð ÔÓ Ð Ø Ö Ð Ö Ö Ø Ñ ÒØ Ø Ð Ö Ñ ÒØ ØÖÙØÙÖ Ò ¹ Ñ Ò ÓÒ ÚÓ Ö ÙÖ ½º µº Ä Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ØØ Ø Ò ÕÙ Ú ÒÒ ÒØ Ð ÓÒØ Ñ Ò Ø ÓÒ ØÖÙØÙÖ Ò Ö ÕÙ Ö ÙÐØ Ð Ó Ù Ù ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ù Á µ Ø Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ÔÖ ÙÖ ÙÖ º ÁÐ ÙØ ÓÙØ Ö Ð Ð Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ò Ö ÙÖ ½ µm.s 1 ٠гÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ùµ Ø Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÙ ÐÐ ÕÙ Ñ Ð Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ÙÜ Ö ÝÓÒ Ò Ö ÙÖ ½¼ÒÑ ÓÒØ Ð Ñ Ø ¼ÒѺ г ÓÐÓ Ö Ô ÔÓÙÖ ØØ Ñ Ø Ó Ù ÓÒ Ö ØÖÓÙÚ ÙÜ Ú Ø ÙÖ Ð ÔÖ Ñ Ö Ø ÒØ Ð Ô Ó¹ ØÓÒ ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÐÐ ÒØ Ð³ÍÎ ÙÜ Ö ÝÓÒ Ø Ð ÙÜ Ñ Ð³ Ð ¹ ØÖÓÒ Å Ø Ù ½ º Ñ Ø Ó Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ò ÙØ Ð ÒØ Ð ÔÖÓÔÖ Ø ÓÒ Ù¹ Ð ØÓ Ö Ú Ø ÙÖ Ø Ð ÙÖ Ö Ø ÓÒ ÕÙ Ò Ö ÙÐØ ÒØ Ö Ð Ö

26 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ½ º ½º ÍÒ ÐÐ Ð Ø Ó Ö Ô Ô Ö ÖÓ Ò Ô Ö ÔÓ Ø ÓÒ Ñ ÕÙ Ò Ô Ú Ô ÙÖ ÓÒØÖÐ Ô Ö Ó Ð Ø ÓÒ ³ ÓÒ ÖÓÒÝÑ Ò Ð Á ¹ Î µ Å Ø Ù ¾¼¼ г Ò ÓÐ Ø ÓÒ ³ÙÒ Ö Ò º Ä ÔÖ Ò Ô Ð ÒØ Ö Ø ØØ Ñ Ø Ó Ø ÔÓÙÚÓ Ö Ò ÙÒ ÙÐ Ø Ô Ö Ð Ö ØÖÙØÙÖ Ò ØÖÓ Ñ Ò ÓÒ º Ä Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÚÓÒØ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð Ð Ó Ö Ô ÓÔØ ÕÙ Ô Ò Ö Ð ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ÙØ ¹ Ð ØÝÔ ÕÙ Ñ ÒØ Ð ÑÓ Ø Ð ÐÓÒ ÙÖ ³ÓÒ µº ØØ Ñ Ø Ó Ö Ø Ò ÕÙ³ Ò ÒÒ ÒÓÖ ØÖ Ô Ù Ú ÐÓÔÔ º ÅÓ Ø ÓÒ Ô Ö Ð Ö ØØ Ñ Ø Ó ØÙ ÐÐ Ñ ÒØ ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ö Ð Ö Ð Ö Ô Ö Ø ÓÒ Ñ ÑÓ Ö Ö ¾¼¼½ ÙØ Ð Ð³ Ù Ñ ÒØ ÐÓ Ð Ò ÙÖ Ö Ô Ö Ð ÔÓØ ³ÙÒ Ð Öº Ø Ù Ñ ÒØ Ø ÙØ Ð ÔÓÙÖ Ó Ø ÓÒ Ö ÙÒ Ù Ð Ø ÐÓÖ ÓÐ Ö ÙÒ Ô ÖØ ÐÐ ÒØ ³ÙÒ ÖÙ Ø Ö Ô Ö Ø ÓÒ Ñ ÑÓ Ö Ö ¾¼¼½ µ Ó Ø ÔÓÙÖ Ö Ð Ö ØÓÙØ ÓÑÑ Ò Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÔ¹ÔÖÓ ÚÓ Ö Ô ÖØ Ù ¹ Ú ÒØ µµ Ð Ô Ú Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ð ÙÖ Ù Ð ÙÑ ÅÙÐÐ Ò ÓÖÒ ½ Ø Ò Ö Ð Ö ÙÒ ÓÜÝ Ø ÓÒ Ð Ø Ú º ij ÒØ Ö Ø ØØ Ñ Ø Ó Ø ÔÖ Ò ¹ Ô Ð Ñ ÒØ ÓÑÔ Ø Ð Ø Ú Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ò ÕÙ ÓÒ Ð Ó Ø Ñ Ò Ó ÙÚÖ º Å Ð Ö Ú ÒØ ØØ Ñ Ø Ó Ö Ø ØÖ Ð Ñ Ø º Ò Ø Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØØ ÒØ Ö Ø Ñ ÒØ Ö Ð Ð Ø ÐÐ Ù ÔÓØ Ð Ö Ø Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ö Ø ÒØ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ Ô Ù ÓÒÚ Ò ÒØ º Ò Ø ØØ ÖÒ Ö Ò³ Ô ÖÑ ³ ØØ Ò Ö ÕÙ³ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¼ÒÑ Ú ÙÒ Ú Ø ³ Ö ØÙÖ ½¼¼ ÑÑ» Ò ÙØ Ð ÒØ ÙÒÐ Ö Ö ÓÒ ÐÓÒ Ù ÙÖ ³ÓÒ ¼ Òѵº

27 ½ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å ½º½º Ð Ò Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ ÇÒ Ô ÙØ Ö ÙÑ Ö Ð ÙÜ ÔÖ Ñ Ö Ô ÖØ Ô ØÖ Ò ÙÒ Ö Ô ÕÙ ÙÖ ½º µ Ø ÙÒ Ø Ð Ù Ø Ð Ù ½º¾µº Ä ÙÖ ½º ÔÖ ÒØ Ð ÔÖ Ò Ô Ð Ø Ò ÕÙ Ó٠г Ð Ö Ð ÙÖ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ú Ø Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ³ ÐÐ Ó Ö Òغ Ä Ø Ð Ù ½º¾ Ö ÙÑ Ð Ú ÒØ Ø Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ò ÕÙ Ð ÙÖ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÐØ Ñ ØØ ÒØ ³ ÔÖ Ð³ Ø Ø Ð³ ÖØ Ø٠еº º ½º ÓÑÔ Ö ÓÒ ÒØÖ Ð ÔÖ Ò Ô Ð Ñ Ø Ó Ð Ø Ó Ö Ô Ò Ø ÖÑ Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ü ÓÖ ÓÒÒ µ Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ü µº ÇÒ ØÖÓÙÚ Ò Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÒÙ Ø Ò ÓÖ ÓÒÒ Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Çº ºÌº ¾¼¼½

28 ½º½º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ ÆË Ë Ë ÍÄÌÁÅ Ë Ê ÌÊ Æ À Å ÆÌË ½ Ì Ò ÕÙ Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ú ÒØ ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ùй Ø Ñ Ì Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÓÐÐ Ø Ú Ä Ø Ó Ö Ô ÑÑ Ö ÓÒ ÜØÖ Ñ ÍÎ Ô Ö Ð Ø Ó Ö Ô Ö ÝÓÒ Ð Ò ÒÓ¹ ÑÔÖ ÓÒ Ð Ò ÒÓ Ø Ò Ð Ð ¹ Ñ ÔÖÓ Ø ÓÒ Ú Ø ¹ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹Ó Ø ¾ ÒÑ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ú ¹ Ø ¹ Ñ ÕÙ Ø ÐÐ Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ ÕÙ ¹Ó Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹ Ñ ÕÙ Ø ÐÐ Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ ÕÙ Ó Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ú Ø Ó Ø ÒÓÑ Ö ³ Ø Ô Ð Ø Ó¹ Ö Ô Ö Ù Ø ¹ Ñ ÕÙ Ø ÐÐ Ò ÒÓ¹ Ñ ØÖ ÕÙ ¹ Ñ ÕÙ Ø ÐÐ Ò ¹ ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ¹ Ñ ÕÙ Ö ÙØ Ð Ð ÕÙ³ÙÒ Ô ¹ Ø Ø ÒÓÑ Ö Ó ¹ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹ Ò Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹ Ó Ø ¹ Ð ÙÖ Ð Ø Ó¹ Ö Ô ÕÙ Ø Ô Ì Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÕÙ ÒØ Ð ½¼ÒÑ ½¼ÒÑ Ì ÓÖ ÕÙ Ñ ÒØ ½¼ÒÑ ¼ÒÑ ½¼ÒÑ ¹ Ñ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹Ú Ø ¹Ó Ø ÒÑ Á Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹ ÓÒØ Ñ Ò Ø ÓÒ Ø ¹ Ö Ø ÓÒ Ð ÙÖ ¹ Ú Ø ¹Ó Ø ½¼ÒÑ ËÌÅ Å Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÓ¹ Ñ ÕÙ Ü Ð Ø Ó Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¹ Ú Ø ¹Ð Ñ Ø ÙÜ Ñ Ø Ö ÙÜ ÓÒ ÙØ ÙÖ ¹ ÓÒ Ø ÓÒ ÜØ Ñ ÔÓÙÖ Ó Ø Ò Ö Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÓÑ ÕÙ ØÓÑ ÕÙ ¹ Ú Ø ½¼ÒÑ ËÆÇÅ Ó Ø ¹ Ú Ø ¹ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ¼ÒÑ Ì º ½º¾ ÓÑÔ Ö ÓÒ Ö ÒØ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô ÔÖ ÒØ Ò Ø ÖÑ ³ Ú ÒØ ³ ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ø Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÐØ Ñ Ð³ Ø Ø Ð³ ÖØ ØÙ Ð

29 ¾¼ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å ½º¾ Ä Ð Ø Ó Ö Ô Ø Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓ¹ Ñ ÕÙ ½º¾º½ ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ Ø ØÓÖ ÕÙ À ØÓÖ ÕÙ º ½º Ä Ð ³Á Å Ö Ø Ô Ö Ð Ö Ô Ö Ñ Ò ÔÙÐ Ø ÓÒ ËÌÅ Ò ØÓÑ Ü ÒÓÒ Ð Ö ½ ¼ À ØÓÖ ÕÙ Ñ ÒØ Ð ÑÔ ÔÖÓ ÔÔ Ö Ø Ú Ð ËÌÅ Ò ½ ËØ Ò ÓÖ Ò Ð ÓÖÒ Ò Ð Ð ÓÖ ØÓ Ö ³Á Å ÒÒ Ò ½ º Ø ÓÙØ Ð Ú ÐÓÔÔ ÔÓÙÖ Ö ¹ Ð Ö Ð Ô ØÖÓ ÓÔ Ð³ÓÖ Ö ØÓÑ ÕÙ Ó Ö ÔÓÙÖ Ð ÔÖ Ñ Ö Ó Ð ÔÓ Ð Ø ³ Ö Ò Ö Ù Ö Ø Ö Ö ÝÐ Ó Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ð Ñ Ø Ô Ö Ð Ñ ÐÓÒ¹ Ù ÙÖ ³ÓÒ Ù Ú Ø ÙÖ Ô ÓØÓÒ Ð ØÖÓÒº º ºµ ÙØ Ð µº ij ÔÔÐ Ø ÓÒ Ù ËÌÅ ÔÓÙÖ ÑÓ Ö Ð ÙÖ Ø ÔÔ ÖÙ ÔÖ Ø ÕÙ Ñ ÒØ Ò Ñ Ñ Ø ÑÔ ÕÙ ÓÒ ÙØ Ð Ø ÓÒ Ò Ø ÒØ ÕÙ³ÓÙØ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ º Ò Ø ³ Ø Ò ½ ÕÙ Ú Ïº Ö Ñ Ö ¹ Ñ ½ ÑÓÒØÖ Ð ÔÓ Ð Ø ³ÙØ Ð Ö Ð ËÌÅ ÔÓÙÖ Ö Ð Ö Ò ÒØ Ø ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ½¼ ¼ Òѵº ÁÐ ÑÓÒØÖ Ô Ö Ð Ñ Ñ Ó ÓÒ ÕÙ Ð Ñ Ø Ö Ù ÓÒ Ø ØÙ ÒØ Ð ÔÓ ÒØ Ô ÙØ ØÖ ÔÓ Ò Ù Ñ ÒØ ÒØ Ð ÓÙÖ ÒØ ØÙÒÒ Ð ÔÓÙÖ Ö Ð ¹ Ö ØÖÙØÙÖ Ø ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ º ³ Ø ØØ Ñ Ñ ÒÒ ÕÙ Ö ÒÒ Ò Ø À ÒÖ ÓÖØ Ð ÙÖ ÔÖ Ü ÆÓ Ð ÓÒØ ÔÖ ÒØ Ð ÙÖ ÒÓÙÚ Ð ÔÔ Ö ÐÐ Ð Å ¹ ÖÓ ÓÔ ÓÖ ØÓÑ Õ٠ŵ ÒÒ Ò ½ º ÓÙ Ò Ù ËÌÅ Ñ ÖÓ ÓÔ Ò³ Ø ÔÐÙ Ð Ñ Ø Ð³ ØÙ Ñ Ø Ö ÙÜ ÓÒ ÙØ ÙÖ º Ò Ø Ð Ò³ÙØ Ð ÔÐÙ Ð ÓÙÖ ÒØ ØÙÒÒ Ð ÔÓÙÖ ÓÒØÖÐ Ö Ð Ø Ò ÒØÖ Ð ÓÒ Ø Ð ÙÖ Ñ Ð ÓÖ ³ ÒØ Ö Ø ÓÒ ØØÖ Ø Ú Ø Ö ÔÙÐ Ú ÕÙ Ü Ø ÒØ ÒØÖ Ð ØÓÑ Ð ÙÖ Ø ÙÜ Ð ÔÓ ÒØ Åº ÓÑÑ ÓÒ ÓÒ Ò Ö Ñ ÖÓ ÓÔ Ò³ Ø Ô Ð Ñ Ø Ô Ö Ð

30 ½º¾º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Ä ÅÁ ÊÇË ÇÈÁ ü ÇÊ ÌÇÅÁÉÍ ¾½ Ö Ø Ö Ê ÝÐ º Ô ÖØ Ö ØØ Ø Ð Ñ ÐÐ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÑÔ ÔÖÓ Ú ÓÑÑ Ò Ö ³ Ð Ö Ö Ð ËÆÇÅ ÈÓ Ð ½ Ð ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ ØÒÓÒ ÓÒØ Ø Å ÖØ Ò ½ Ë Å Ï ÐÐ Ñ ½ Ð Ñ ÖÓ ÓÔ ÓÒ Ã ÐÚ Ò ³ ÖÓÒÝÑ Ò Ð Ã Åµ ÆÓÒÒ ÒÑ Ö ½ ½ ººº È Ö ÐÐ Ð Ñ ÒØ Ù Ú ÐÓÔÔ Ñ ÒØ ÔÓ Ð Ø Ó ÖØ Ô Ö Ð Ñ ÖÓ ÓÔ Ò ÑÔ ÔÖÓ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ò ÑÔ ÔÖÓ Ú ÐÓÔÔ º Ò ³ Ø Ò ½ ¼ ÕÙ Ð Ö Ð Ö ½ ¼ ÙÖ ½º µ Ø ÓÒ ÕÙ Ô ÓÒØ ÑÓÒØÖ ÕÙ Ð Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Ò ÑÔ ÔÖÓ ÓÒØ Ø Ö Ø ÖÓÒØ Ð Ø Ò ÕÙ Ð ÔÐÙ Ö ÓÐÙ º ÁÐ ÓÒØ Ö Ù ÔÐ Ö Ò Ú Ù ÐÐ Ñ ÒØ ØÓÑ Ü ÒÓÒ ÔÓÙÖ ÓÖÑ Ö ÙÖ ÙÒ ÙÖ Ù ÚÖ Ð Ð ³Á Å Ø ØØ Ò Ö Ò Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ØÓÑ ÕÙ º Å Ð ÓÒ Ø ÓÒ ³Ó Ø ÒØ ÓÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ø ÒØ ØÖ ÜØÖ Ñ ÙÐØÖ Ú Ø ÑÔ ¹ Ö ØÙÖ ÔÖÓ Ù Þ ÖÓ ÓÐÙµº Ä Ñ Ñ ÒÒ Ð ØÖ Ú ÙÜ Ø Ø ½ ¼ ÙÖ Ð³ ÒÓ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ô ÖÑ ØØ ÒØ ³Ó Ø Ò Ö Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ò ÓÒ Ø ÓÒ Ø ÑÔ Ö ØÙÖ Ø ØÑÓ Ô Ö ÕÙ Ñ ÒØ º Ê Ð Ù Ô ÖØ Ú ÙÒ ËÌÅ Ø Ú Ò Ù Ø ØÖ Ò Ö Ö ØÖ Ö Ô Ñ ÒØ ØØ Ø Ò ÕÙ ÙÖ ÙÒ Åº ØÖ Ú ÙÜ ÔÖ ÙÖ ÙÖ ÓÒØ Ð³ÓÖ Ò ØÓÙØ Ð Ñ Ø Ó Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔ ÔÖÓ ÕÙ ÚÓÒØ Ú ÐÓÔÔ Ö ÙÖ ÒØ Ð ÕÙ ÒÞ ÖÒ Ö ÒÒ º ÐÐ ¹ ÚÓÒØ Ð³ Ò ÓÐ Ø ÓÒ Ö Ò Ô ÓØÓ Ò Ð Ð³ Ò ÒØ Ø ÓÒ Ò Ô ÒØ Ô Ö Ð Ò ÒÓÑ Ò ÔÙ¹ Ð Ø ÓÒ ÓÙ ÒÓÖ Ð³ Ù Ñ ÒØ ÐÓ Ð Ò ÙØ Ð ÒØ Ù Ò Ð ËÌÅ Õ٠г Å ÓÙ ÒÓÖ Ð ËÆÇź Ä Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÒÙ Ô Ö Ø Ò ÕÙ ÓÒØ ØÖ ÓÑÔ Ø Ø Ú Ñ Ñ Ø Ó Ö Ø ÒØ Ð Ñ Ø ÙÒ Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ñ Ü ÑÙÑ ÕÙ ÐÕÙ µm.s 1 ºÈÓÙÖ ÚÓ Ö ÙÒ ÚÓÐÙØ ÓÒ Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ð ÙØ ØØ Ò Ö Ð Ñ ÐÐ Ô Ú ÐÓÔÔ Ô Ö Á Å Î ØØ Ö ¾¼¼¼ º ØØ Ñ Ø Ó ÓÒ Ø ÑÓÒØ Ö Ò Ô Ö ÐÐ Ð ÔÐÙ ÙÖ ÒØ Ò ÔÓ ÒØ ÙÖ ½º µ Ø ÓÒ ÑÙÐØ ÔÐ Ö ³ ÙØ ÒØ Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ º Ú ÒØ Ø ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ø Ò ÕÙ ³ Ö ØÙÖ Å Ä ÒÓÑ Ö ÙÜ Ú ÒØ Ø Ò ÕÙ Å ÓÒØ ÓÒ ÖÓÒØ ÙÜ ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ñ Ñ Ø Ò ÕÙ Ò Ð Ø Ð Ù ½º º ÈÓÙÖ Ö ÙÑ Ö ÓÒ Ô ÙØ Ö ÕÙ Ð Ú Ø Ø Ð ÔÖ Ò Ô Ð ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ñ Ò³ Ø Ô ÙÒ Ð Ñ Ø Ø ÓÒ

31 ¾¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å º ½º ÁÐÐÙ ØÖ Ø ÓÒ Ð Ö ÔÓÒ ³Á Å ÔÓÙÖ Ù Ñ ÒØ Ö Ð Ú Ø ³ Ö ØÙÖ Ø Ò ÕÙ Ö Ú Ð³ Å Ð Å ÐÐ Ô ½¼¾ ÔÓ ÒØ Ò Ô Ò ÒØ Ø Ò Ô Ö ÐÐ Ð Î ØØ Ö ¾¼¼¼ Ú ÒØ ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ ¹ Ö ØÙÖ ÕÙ ÒØ ÐÐ ÚÓ Ö ØÓÑ ÕÙ ÔÓÙÖ Ð³ Å Ð Ú Ø Ð Ð Ó Ø ÕÙ Ó Ø ³ Ö ØÙÖ Ð³ ÔÔ Ö ÐÐ ÓÙ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ð³ Ñ Ö Ú ÒØ»Ô Ò ÒØ» ÔÖ Ð Ð Ø Ó Ö Ô Ä Ü Ð Ø Ð Ñ Ø Ó Ñ Ø Ó Å Ð µ Ð ÔÓ Ð Ø Ñ Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ì º ½º Ú ÒØ Ø ÒÓÒÚ Ò ÒØ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Å

32 ½º¾º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Ä ÅÁ ÊÇË ÇÈÁ ü ÇÊ ÌÇÅÁÉÍ ¾ ½º¾º¾ ijÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Å ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ º ½º ÈÖ Ò Ô Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Å ÙÖ Ð ÙÑ Ä Ö Ò ¾¼¼¼Ø Ä ÔÖ Ñ Ö Ð ÙØ Ñ ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÔ ÔÖÓ ÓÒØ ÐÓ Òº ÐÐ Ø Ú ÒÙ ÒÓØÖ ÓÒÒ Ò Ð Ñ Ø Ó Ð Ø Ó Ö Ô ÑÔ ÔÖÓ Ð ÔÐÙ ÙØ Ð º Ò Ò ÙÒ Ô Ù ÔÐÙ ³ÙÒ ÒÒ Ò ÓÒØ Ô ÑÓ Ò ³ÙÒ Þ Ò Ú Ö ÒØ Ö ÒØ ÕÙ ÓÒØ Ø Ú ÐÓÔÔ Ø ÙØ Ð Ô Ö ÔÐÙ ÙÖ Þ Ò Ð ÓÖ ØÓ Ö º Ä Ø Ò ÕÙ Ö Ø ØÓÙ ÓÙÖ Ð Ñ Ñ Ð ÔÓ ÒØ Ø ÙØ Ð Ò Ø ÒØ ÕÙ³ Ð ØÖÓ ÔÓÙÖ Ö Ð Ö ÐÓ Ð Ñ ÒØ ÓÙ Ð ÔÓ ÒØ ÙÒ Ö Ø ÓÒ Ñ ÕÙ Ú Ð ÙÖ º ÁÐ Ò Ö ÙÐØ Ð ÖÓ Ò ³ÙÒ ÓÜÝ ÕÙ Ô ÙØ ØÖ ÙØ Ð ÓÑÑ Ñ ÕÙ ÖÖ Ö ³ÓÜÝ ÓÙ ÒÓÖ ØÖ ØØ ÕÙ Ð Ø Ú Ñ ÒØ ÔÓÙÖ Ö Ú Ð Ö Ð Ö ÔÐ ÕÙØ Ð ØÖÙØÙÖ º Ú ÒØ ÔÖ ÒØ Ö Ð Ñ Ò Ñ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ð ÙØ Ö Ö Ò Ñ ÑÓ Ö ÕÙ ÓÑÑ Ð ÔÐÙÔ ÖØ Ö Ø ÓÒ Ð ØÖÓ Ñ ÕÙ Ð Ö Ø ÓÒ ³ ÒÓ Ø ÓÒ ÐÓ¹ Ð Ø Ö Ð Ò ÙÒ Ñ Ð Ù ÕÙ ÙÜ ÓÙ Ù ÑÓ Ò ØÙÖ Ò Ù Ò ÕÙ³ Ð Ü Ø Ü ÔØ ÓÒ ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ô Ö Ð Ù Ø Ì ÐÐÓ ¾¼¼ µº ØØ Ö Ø ÓÒ Ö Ùй Ø ÒØ ³ÙÒ Ö Ò ÔÓØ ÒØ Ð Ð ÙÖ ÓÜÝ Ö Ó Ø ³ ØÖ ÓÒ ÙØÖ ÓÙ Ù ÑÓ Ò Ñ ¹ÓÒ ÙØÖ º ØØ Ö Ø ÓÒ ÜÐÙØ ØÓÙØ Ò ØÙÖ ÐÐ Ñ ÒØ Ð Ñ Ø Ö ÙÜ ÒÓ Ð Ø Ò ÐØ Ö Ð Ø Ð Õ٠гÓÖ ÕÙ Ò Ô ÙÚ ÒØ ³ÓÜÝ Öº ÓÒ Ø ÓÒ Ø ÒØ Ö ÙÒ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô ÙØ ØÖ Ö Ð º Ä Ñ Ò Ñ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÜÔÓ ÙÖ Ð ÙÖ ½º ÔÓÙÖ Ð Ð ÙÑ ÓÑÔÓ ÒØ Ò ÔÐÙ ÙÖ Ô º ÌÓÙØ ³ ÓÖ ÐÓÖ Õ٠гÓÒ ÔÔÐ ÕÙ ÙÒ Ö Ò ÔÓØ ÒØ Ð ÒØÖ Ð ÔÓ ÒØ Ø Ð ÙÖ Ð Ñ Ò ÕÙ ³ Ù ³ Ð Ò³ Ü Ø Ô ÓÖÑ Ø Ô ½µº Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ð ÑÓÐ ÙÐ ³ Ù Ó ÒØ Ò ÓÒ ÇÀ Ø À + Ø Ô ½³µ ÓÒ Ô ÙØ Ù ÓÙØ Ö Ð ÓÒ Ç ÔÓÙÚ ÒØ

33 ¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ú Ò Ö Ð³ÓÜÝ Ò µº Ä Ö Ø ÓÒ Ò Ø Ò Ù Ø ÕÙ Ð Ö Ò ÔÓØ ÒØ Ð Ô¹ ÔÐ ÕÙ ÒØÖ Ð ÔÓ ÒØ Ø Ð ÙÖ Ó Ø ÓÙ Ú ÒÒ ÔÓ Ø Ú º Ò Ð ÓÒ ÇÀ Ø Ò ÙÒ ÑÓ Ò Ö ÕÙ ÒØ Ø Ç µ Ô ÙÚ ÒØ Ù Ö ØÖ Ú Ö Ð ÙÖ Ø Ô ¾µ ÔÓÙÖ Ò Ù Ø Ö Ö Ú ÐÐ ¹ Ø Ô µº ÎÓ Ô Ö Ü ÑÔÐ Ð Ö Ø ÓÒ ÔÖ Ò Ô Ð ³ÓÜÝ Ó¹Ö ÙØ ÓÒ Ù Ë Ð ÙÑ Ù ÑÓ Ò Ò Ð ÔÖ Ñ Ö Ø ÑÔ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ¹ Ø ¾¼¼¼ µ Si +2OH +4h + SiO 2 +2H + ½º µ Ú + Ð ØÖÓÙ ÔÖ ÒØ Ò ÙÖ Ò Ö ÓÒ Ð Ö Ò ÔÓØ ÒØ Ðº ÇÒ Ô ÙØ Ò Ù Ö ÙÒ Ö Ø ÓÒ Ò Ö Ð Ù ØÝÔ Ö Ø ÓÒ ÔÖ Ò Ô Ð Ý ÒØ Ð Ù Ò Ð ÔÖ Ñ Ö Ø Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ØÓÙØ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð Ð Ùѵ YA+ XOH +2Xh + A Y O X + XH + ½º µ Ø ÒØ Ð Ñ Ø Ö Ù ÓÜÝ Ö Ø Y Ç X г ÓÜÝ ÒÓ ÕÙ ÓÖÑ ÐÓÖ Ð Ö Ø ÓÒ ÈÓÙÖ ØÖ ÓÑÔÐ Ø Ð ÙØ ÓÙØ Ö ÒØÖ Ð³ Ø Ô ½ Ø Ð³ Ø Ô ¾ г Ø Ô ½ ÔÓÙÖ Ð ÙÖ Ô Ú º Ò Ø ÔÓÙÖ ÕÙ Ð ÓÒ ÔÙ ÒØ Ù Ö Ø ÓÒ ÔÓÙÖ Õ٠гÓÜÝ Ø ÓÒ Ø Ð Ù Ð Ø Ò Ö ÕÙ Ð ÙÖ Ó Ø Ô Ú º Ð Ò Ø ÐÓÖ ÕÙ Ð ÔÓØ ÒØ Ð ÔÔÐ ÕÙ Ó Ø ÙÔ Ö ÙÖ ÙÒ Ø Ò ÓÒ Ø ³ ÑÓÖ º Ò ÔÓÙÖ Ð Ð ÙÑ Ð Ø Ò Ö ³ ÔÔÐ ÕÙ Ö ÙÒ ÑÔ ÙÔ Ö ÙÖ º10 +7 V.cm 1 ÔÓÙÖ Ú Ù Ö Ð ØÓÑ ³ Ý ÖÓ Ò Ò ÙÖ º ØØ Ø Ô Ø Ó Ð ØÓ Ö ÔÓÙÖ Õ٠гÓÜÝ Ø ÓÒ ÔÙ Ñ ÖÖ Öº ÁÐ Ò Ö ÙÐØ ÓÒ ÙÒ Ø Ò ÓÒ Ù Ð ÔÓÙÖ Ð Ñ ÖÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒº Ö ÒØ Ø Ô ÓÒ Ô ÙØ Ù Ö Ð Ö ÒØ Ô Ö Ñ ØÖ ÒØ ÖÚ Ò ÒØ ÐÓÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒº Ùܹ ÓÒØ Ð Ø Ò ÓÒ ³ ÑÓÖ ÖÚ ÒØ Ð³Ó Ø ÒØ ÓÒ Ù Ñ Ò ÕÙ ³ Ù Ø»ÓÙ Ð Ô Ú Ø ÓÒ Ð ÙÖ µ Ð Ø Ò ÓÒ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ð³ ÒÚ ÖÓÒÒ Ñ ÒØ Ð³ ÙÑ Ø Ñ ÒØ Ð ÓÑÔÓ Ø ÓÒ Ð³ ØÑÓ Ô Ö Ø Ò Ö Ð ÙÖ ÓÜÝ ØÝÔ Ñ Ø Ö Ù ÓÔ º º ºµ Ô Ö Ñ ØÖ Ð ÙØ ÓÙØ Ö Ð Ô Ö Ñ ØÖ ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð Ö Ø Ö Ø Õ٠г Ð ØÖÓ º º Ð ÔÓ ÒØ Åµ Ð Ø Ò ÔÓ ÒØ» ÒØ ÐÐÓÒ

34 ½º¾º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Ä ÅÁ ÊÇË ÇÈÁ ü ÇÊ ÌÇÅÁÉÍ ¾ Ð Ñ ØÖ Ø Ð ØÝÔ ÔÓ ÒØ ÓÙ ÔÐÙ ÔÖ Ñ ÒØ Ð Ö Ú Ø Ñ ÒØ ÓÒ ÙØ ÙÖ Ð ÔÓ ÒØ µ Ð ÑÓ Å ÙØ Ð ÓÒØ Ø»ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ»ÒÓÒ ÓÒØ Øµ ÍÒ ÓÒÒ ÓÑÔÖ Ò ÓÒ Ð³ ÒÓ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ò Ø ÓÒ ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ô Ö Ð Ù Ø ÙÒ ÓÒ ÓÒØÖÐ ØÓÙ Ô Ö Ñ ØÖ Ô ØÖ ¾µº Ä ØÖ Ú ÙÜ ÓÒ ÖÒ ÒØ ÐÐ ¹ ÓÒØ ÒÓÑ Ö Ùܺ ÇÒ Ô ÙØ Ø Ö ÔÐÙ ÔÖ Ñ ÒØ ÙÜ Ù ÔÖ ÙÖ ÙÖ Ø Ø Ð Ø ¾¼¼ Ø ¾¼¼ Ø ¾¼¼¼ Ø Ð ØÖ Ú ÙÜ Ö Ø Ð Ö ½ Ì ÐÐÓ ¾¼¼½ ÕÙ Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ñ ÙÜ ÖÒ Ö Ð Ñ Ò Ñ Ñ Ò ÙÜ ÐÓÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒº ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ò Ð Ô ØÖ ÓÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð ÔÖÓ Ð Ñ ÝÒ Ñ ÕÙ Ö ÕÙ Ö ÒØ Ø Ð Ñ Ø ÒØ ØØ Ñ Ø Ó º Ä ÔÖ Ò Ô Ð Ö Ô ÖÙØ ÓÒ ÓÒØ ÙÒ ØÙÖ Ø ÓÒ Ö Ô Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ú Ö Ø ÓÒ Ø ÑÔÓÖ ÐÐ ÐÓ Ö Ø Ñ ÕÙ Ñ Ò ÓÒ Ð³ÓÜÝ µ Ø ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÔ Ö ÙÖ ÙÜ Ñ Ò ÓÒ Ð ÔÓ ÒØ ÕÙ ÐÕÙ Þ Ò Ò ÒÓÑ ØÖ ÔÓÙÖ ÙÒ ÔÓ ÒØ ³ ÒÚ ÖÓÒ ½¼ ÒÑ Ö ÝÓÒ ÓÙÖ ÙÖ µº ÍÒ ÔÖ ÒØ Ø ÓÒ ÔÐÙ Ø ÐÐ ÐÓ Ø Ñ Ò Ñ ÕÙ Ö ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ø Ö Ð Ù Ô ØÖ Ð ØÖ Ø ÔÐÙ ÔÖ Ñ ÒØ ÙÖ Ð Ô Ó Ô ÓÖ ³ Ò ÙѺ Ä ÚÓÐÙØ ÓÒ ÔÔÓÖØ ØØ Ø Ò ÕÙ ÈÓÙÖ Ö Ù Ö ÓÒØÓÙÖÒ Ö Ð Ñ Ø Ø ÓÒ Ù Ò Ò Ø ÖÑ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÕÙ³ Ò Ø ÖÑ Ú Ø µ Ö ÒØ Ñ Ø Ó ÓÒØ Ø Ú ÐÓÔÔ º Ñ Ð ÓÖ ¹ Ø ÓÒ Ô ÙÚ ÒØ Ú Ò Ö Ð³ Å ÑÓ Ö ÙÐ Ø ÓÒ ÔÓ ÒØ ÑÔÐÓÝ µ Ð Ø Ò ÓÒ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÓÙ ÒÓÖ Ù Ò Ñ ÒØ ³ ØÑÓ Ô Ö ÓÜÝ ÒØ º Ä ÓÒØÖÐ Ù Ñ Ò ÕÙ ³ Ù Ø ÙÒ Ñ Ø Ó Ô ÖÑ ØØ ÒØ ³ Ñ Ð ÓÖ Ö Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒº Ë Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ð³ Å Ò ÙÒ ÑÓ Ö ÒØ Ô ÖÑ Ø Ñ ÒÙ Ö ¹ Ò Ø Ú Ñ ÒØ Ø ÐÐ ÓÒ Ô ÙØ Ù ÙØ Ð Ö ÔÓ ÒØ Ú ÙÒ Ö ÝÓÒ ÓÙÖ ÙÖ Ð ÔÐÙ Ð ÔÓ Ð º Ä ÔÖ Ñ Ö ØÖ Ú ÙÜ ÔÓÙÖ Ð³ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ð Ø Ò ÕÙ ÓÒØ Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò ÙØ Ð ÔÓ ÒØ Ø ÙÐØÖ Ë ÖÔ Ò Ö Ò ÙÐØÖ ÔÓ ÒØÙ µ ÓÒØ Ð Ñ ØÖ Ò³ Ü Ô ½¼ ÒѺ Šг Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ù Ò Ú Ù ÔÓ ÒØ Ø Ú ÒÙ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ ÓÑÑ Ð³ÓÒØ ÔÖÓÙÚ Ð ØÖ Ú ÙÜ º º ÓÓÔ Ö Ó¹ ÓÔ Ö ½ ÔÓ ÒØ Ò ÒÓØÙ Ö ÓÒ º Ä ÔÓ ÒØ ÓÒØ ÙÖÑÓÒØ Ô Ö Ñ Ò ÔÙÐ Ø ÓÒ ÓÙ ÖÓ Ò ³ÙÒ Ò ÒÓØÙ Ö ÓÒ º ÇÖ Ð Ö Ø Ö Ø ÕÙ Ò ÒÓØÙ ÓÒØ Ð ÙÖ ØÖ Ð Ñ ØÖ ¾ ÒÑ µ Ø Ö Ø Ö Ø ÕÙ Ñ ¹ ÓÒ ÙØÖ ÚÓ Ö Ñ Ø ÐÐ ÕÙ ÐÓÒ Ð ÙÖ Ò Ð ³ ÒÖÓÙÐ Ñ Òصº Ö Ø Ö Ø ÕÙ Ò Ö ÓÒ Ù Ð ÓÙÖ ÒØ Ô Ò ÒØгÓÜÝ Ø ÓÒ ÓÒØ Ð º ijÙØ Ð Ø ÓÒ ÔÓ ÒØ

35 ¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å º ½º½¼ µáñ ź º º ³ÙÒ ÔÓ ÒØ Å ÙÖÑÓÒØ ³ÙÒ Ò ÒÓØÙ Ö¹ ÓÒ Ä ¾¼¼ µ ÔÖ ÒØ Ø ÓÒ ³ÓÜÝ ÒÓ ÕÙ ÙÖ Ð ÙÑ Ö Ð Ô Ö Ð³ Ò¹ Ø ÖÑ Ö ³ÙÒ ÔÓ ÒØ Å ÙÖÑÓÒØ ³ÙÒ Ò ÒÓØÙ Ö ÓÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÒÙ Ø ½¼ÒÑ Ñ ØÖ ÔÓÙÖ ¾ ÒÑ ÙØ ÖÓÙÔ ¾¼¼ Ò ÒÓØÙ Ö ÓÒ Ñ Ò ÙÒ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÑÔÓÖØ ÒØ Ò Ø ÖÑ Ö ÓÐÙØ ÓÒº Ò Ð ÖÓÙÔ ËØ Ò ÓÖ Ó Ø ÒÙ ÙÒ Ö ÓÐÙØ ÓÒ ½¼ ÒÑ ÔÓÙÖ ÙÒ Ù¹ Ø ÙÖ ¾ ÒÑ ÙÖ Ð ÙÑ ÙÖ ½º½¼µº Ä Ð Ñ Ø Ø ÓÒ ØØ Ñ Ø Ó Ú ÒÒ ÒØ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð³Ó Ø ÒØ ÓÒ ÔÓ ÒØ ÕÙ Ò³ Ø Ð³ ÙÖ ØÙ ÐÐ Ô ÒÓÖ Ö ÔÖÓ ÙØ Ð º ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð ÑÓ Ð³ Å ÙØ Ð Ô Ò ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÓÒ Ô ÙØ Ø Ö ÔÖ Ò¹ Ô Ð Ñ ÒØ Ð ØÖ Ú ÙÜ Ê Ö Ó Ö º ÁÐ ³ Ø ÒØ Ö ÙÜ ÔÓ Ð Ø Ó ÖØ Ô Ö Ð ÑÓ Ø ÒÓÒ ÓÒØ Ø º ØÖ Ú ÙÜ Ö ½ ÓÒØ Ô ÖÑ ÑÓÒØÖ Ö Õ٠гÙØ Ð Ø ÓÒ Ù ÑÓ ÒÓÒ ÓÒØ Ø Ø Ð³ ÐÓ Ò Ñ ÒØÔÓ ÒØ ¹ ÙÖ ÕÙ Ò Ö ÙÐØ Ô ÖÑ Ø ÓÒØÖÐ Ö ÔÖ Ñ ÒØ Ð Ñ Ò ÓÒ Ù Ñ Ò ÕÙ ³ Ùº ÇÖ Ð Ô Ó¹ Ò ÒØ ÔÖ ÒÒ ÒØ Ð ÙÖ ÓÖ Ò Ò Ð Ñ Ò ÕÙ ³ Ùº Ä ÙÖ ³ ÒØ Ö Ø ÓÒ ÒØÖ Ð Ñ Ò ÕÙ ³ Ù Ø Ð ÙÖ Ñ ÒÙ ÒØ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ò Ø Ñ Ð ÓÖ ³ ÙØ Òغ ÁÐ ÙØ ÔÐÙ ÒÓØ Ö ÕÙ Ê Ö Ó Ö ÑÓÒØÖ Ô Ö Ð Ñ Ñ Ó ÓÒ Ð³ Ò Ù Ò Ù ÑÔ Ð ØÖ ÕÙ ÙÖ Ñ Ñ Ñ Ò ÕÙ ³ Ùº Ò Ð ÙØ Ð ÐÓÖ ØÖ Ú ÙÜ ÙÒ Ø Ò ÓÒ ÓÖØ ÔÓÙÖ Ò Ö Ö Ð Ñ Ò ÕÙ ÒØÖ ½ Î Ø ½¾Î Ô Ò ÒØ ¼Ñ µ ØÙÒ Ø Ò ÓÒ ÔÐÙ Ð ÔÓÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ØÝÔ ÕÙ Ñ ÒØ Îµº ÐÙ Ô ÖÑ ³ ÒØ ÖÔÖ ¹ Ø Ö Ú Å ÖØ Ì ÐÐÓ Ì ÐÐÓ ¾¼¼½ Ð Ô Ö ÓÖÑ Ò Ù ÑÓ ÒÓÒ¹ÓÒØ Ø ÓÑÔ Ö Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò ÑÓ ÓÒØ Øº ÁÐ ÓÒØ Ó Ø ÒÙ Ò Ô Ö ÐÐ Ð Ú Ð³ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ ÙÒ ÓÖØ Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ð³ Ô Ø Ö Ø Ó Ö ÔÔÓÖØ ÒØÖ Ð ÙØ ÙÖ Ø Ð Ð Ö ÙÖµ ÙÖ ÔÐÓØ ³ÓÜÝ ÑÙÐØ ÔÐ Ô Ö ¾µº ÁÐ ÓÒØ Ö Ð ØØ Ù Ñ ÒØ Ø ÓÒ Ò

36 ½º¾º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Ä ÅÁ ÊÇË ÇÈÁ ü ÇÊ ÌÇÅÁÉÍ ¾ ÔÐÙ Ù ÓÒØÖÐ Ù Ñ Ò ÕÙ Ð Ñ ÒÙØ ÓÒ ÓÒØÖ ÒØ ÔÔÐ ÕÙ ÙÖ Ð³ÓÜÝ Ô Ò ÒØ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÕÙ Ð Ñ Ø Ö Ø Ð ÖÓ Ò Ð ÓÖ ÔÔÐ ÕÙ ÙÖ Ð ÙÖ Ø ÒØ ÑÓ Ò Ö Ò ÑÓ ÒÓÒ ÓÒØ Øµº ÁÐ ÙØ ÔÐÙ ÒÓØ Ö Ð Ð Ñ Ø Ø ÓÒ Ð³ ÒØ Ö ¹ Ø ÓÒ ÒØÖ Ð ÔÓ ÒØ Ø Ð ÙÖ Ò ÑÓ Ð ÔÓ ÒØ Ò³ Ø ÒØ Ñ Ò ÓÒØ Øº Ô ÖÑ Ø ÓÖØ Ñ ÒØ Ð Ñ Ø Ö Ð³Ù ÙÖ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ñ Ð ÓÖ Ö Ð³ ÓÑÓ Ò Ø ÓÜÝ Ó Ø ÒÙ ØÓÙØ Ù ÐÓÒ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒº ÇÒ Ô ÙØ Ù ÒÓØ Ö Ð ÒÓÑ Ö ÙÜ ØÖ Ú ÙÜ Ë ÖÚ Ø ½ ÁÖÑ Ö ½ ÙÖ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ Ù ÑÓ ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ ÓÙ ÑÓ Ø ÔÔ Ò µº ij Ú ÒØ ÑÓ Ö ØÓÙØ ÓÑÑ ÔÓÙÖ Ð ÑÓ ÒÓÒ ÓÒØ Ø Ò Ð ÓÒØÖÐ Ð Ø Ò ÔÓ ÒØ ¹ ÒØ ÐÐÓÒ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ù Ñ Ò ÕÙ ³ Ù Ò ÕÙ Ð Ñ ÒÙØ ÓÒ ÓÒØÖ ÒØ Ü Ö ÙÖ Ð³ÓÜÝ º Ä Ö ÙÐØ Ø ÓÒØ ÓÒ Ñ Ð Ö ÙÜ ØÖ Ú ÙÜ Ö Ð Ò ÑÓ ÒÓÒ¹ÓÒØ Ø º º ÙÒ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ¹ Ò Ø Ú Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ù Ö ÔÔÓÖØ ³ Ô Øº Ò ÕÙ³ Ð Ü Ø ÒÓÑ Ö ÙÜ ØÖ Ú ÙÜ Ø ÓÒ ÙØ ÒØ Ñ Ø Ó ÓÒ ÖÒ ÒØ Ð³ÓÔØ Ñ Ø ÓÒ Ð Ø Ò ÓÒ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ð Ö ÔÓ ÒØ ØÓÙ ÙÖ Ð Ñ Ñ ÔÖ Ò Ô Ð Ô Ø ÓÒ Ö Ð ØÖ ÕÙ ÕÙ ÓÒØ Ò Ö Ô Ò ÒØгÓÜÝ Ø ÓÒº È ÖÑ ØÓÙ ØÖ Ú ÙÜ ÓÒ Ô ÙØ Ö Ö ÓÖØ Ö ÙÜ ÓÔØ ÓÒ Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ ÑÔÙÐ ÓÒ Ø Ò ÓÒ ÓÜÝ ÒØ Ô ³ÙÒ Ø ÑÔ ³ ÒÒÙÐ ¹ Ø ÓÒ Ð Ø Ò ÓÒ ÖÚ ÒØ Ô Ö Ð Ö º гÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ø Ò ÓÒ ÐØ ÖÒ Ø Ú ÙÒ Ô ÖØ Ù Ò Ð Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ö ¹ Ð Ö Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ð³ ÙØÖ ÖÚ ÒØ ÜØÖ Ö Ð Ö Ä ÔÖ Ñ Ö ÓÔØ ÓÒ ÙØ Ð ÙÒ Ø Ò ÕÙ Ô Ú ÔÓÙÖ Ô Ö Ð Ö º Ò ÓÒ ¹ ÕÙ Ò ÐÐ Ò Ø Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ ÙÖ Ö Ð Ø Ú Ñ ÒØ ÑÔÓÖØ ÒØ Ô Ö Ö ÔÔÓÖØ Ð ÙÖ Ð³ ÑÔÙÐ ÓÒ ÓÜÝ ÒØ º Ä ÙÜ Ñ Ô ÖÑ Ø Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö ³ÙÒ ÔÓ¹ Ð Ö Ø ÓÒ ÒÚ Ö Ù Ú ÒØ Ð³ ÑÔÙÐ ÓÒ ÓÜÝ ÒØ Ô Ö Ø Ú Ñ ÒØ Ð Ö º Ä Ø ÑÔ Ò Ö ÔÓÙÖ Ú Ù Ö Ð Ö Ø ÐÓÖ ØÖ Ö Ù Ø ÓÑÔ Ö Ø Ú Ñ ÒØ Ð ÔÖ Ñ Ö Ñ Ø Ó º ÔÐÙ Ð ÙØ ÓÙØ Ö Ð ÔÓÙÖ Ð Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÙÒ Ò Ñ ÒØ ÔÓÖØ ÙÖ Ñ ÓÖ Ø Ö Ò Ô ÒØ ³ÙÒ Ø ³ ÙÑÙÐ Ø ÓÒ ÙÒ Ø ³ ÒÚ Ö ÓÒ ÓÙ Ö ÔÖÓÕÙ Ñ ÒØ ÐÓÒ Ð ØÝÔ ÓÔ µº ÁÐ Ò Ö ÙÐØ ÐÓÖ ÓÑÑ ÒÓÙ Ð Ú ÖÖÓÒ Ò Ð Ô ØÖ ÙÒ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÙÖ Ð Ò Ø ÕÙ ³ÓÜݹ Ø ÓÒº ÙÜ Ñ Ø Ó Ô ÖÑ ØØ ÒØ Ô Ö Ð Ô Ø ÓÒ Ð Ö ³ Ô ³ Ñ Ð ÓÖ Ö Ð Ó Ð Ò Ø ÕÙ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ø Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ Ò Ð Ö ÔÔÓÖØ ³ Ô Ø ÙØ ÙÖ»Ð Ö ÙÖµº ÁÐ Ø ÒØ Ö ÒØ ÒÓØ Ö ÕÙ ØØ ÖÒ Ö Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ø ÓÑÔ Ø Ð Ú

37 ¾ À ÈÁÌÊ ½º ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Æ ÆÇÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Å Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ ÙØÖ ÑÓ ÕÙ Ð ÑÓ ÓÒØ Øº ÇÒ Ô ÙØ ÐÓÖ ÓÑ Ò Ö Ð Ñ ¹ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÓÑÑ Ð ÑÓÒØÖ ÒØ Ð ØÖ Ú ÙÜ ÖÒ Ö Ä Ö Ò Ä Ö Ò ½ º ÁÐ Ó Ø ÒØ Ô Ö Ð³ ÒØ ÖÑ Ö Ù ÓÒØ Ø ÒØ ÖÑ ØØ ÒØ Ø Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ ÑÔÙÐ ÓÒ ÔÓ¹ Ø Ú ÙÒ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÑÔÓÖØ ÒØ Ð Ò Ø Õ٠гÓÜÝ Ø ÓÒº Ò ³ Ø ØØ ÓÑ Ò ÓÒ ÕÙ ÒÓÙ ÚÓÒ Ó ³ÙØ Ð Ö ÔÓÙÖ ÒÓ ØÖ Ú ÙÜ Ð Ô ØÖ ¾ ÑÓÒØÖ Ð Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ ÔÔÓÖØ Ô Ö Ð³ÙØ Ð Ø ÓÒ ³ÙÒ Ø ÐÐ ÓÑ Ò ÓÒ Ø Ð Ô ØÖ Ô ÖÑ Ø Ñ ÙÜ ÓÑÔÖ Ò Ö Ð Ñ Ò Ñ Ò Ù Ò Ô Ö ØØ Ñ Ø Ó º ÁÐ Ü Ø ØÖ Ô Ù ØÖ Ú ÙÜ ÓÒ ÖÒ ÒØ Ö ÙÐØ Ø ÙÖ Ð Ò Ñ ÒØ Ð³ ع ÑÓ Ô Ö ÓÜÝ ÒØ º ÇÒ ØÖÓÙÚ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ Ð ØÖ Ú ÙÜ ÐÓÖ Ò Å Ö ÙÖ ÙÒ ØÑÓ Ô Ö ³ÓÞÓÒ Å Ö ½ Ø Ð ØÖ Ú ÙÜ Å ÖØ Ì ÐÐÓ Ì ÐÐÓ ¾¼¼ ÙÖ ÙÒ ØÑÓ Ô Ö ³ Ø ÒÓк Ä ØÖ Ú ÙÜ Å Ö ÔÓÖØ ÒØ ÙÖ Ð³ ÒÖ Ñ ÒØ Ð³ ØÑÓ Ô Ö Ò ÓÞÓÒ Ø Ô Ö ÓÒ ÕÙ ÒØ ÙÖ Ð Ò Ñ ÒØ Ð ÓÒ ÒØÖ Ø ÓÒ Ô ÓÜÝ ÒØ º Ð Ô ÖÑ Ø Ô Ö ³ÙÒ ÓÜÝ Ø ÓÒ ÔÖ Ò Ô Ð Ñ ÒØ ÓÒØÖÐ Ô Ö Ð ÓÒ OH Ð ÓÒ Ç Ø ÒØ Ñ ÒÓÖ Ø Ö µ ÙÒ ÓÜÝ Ø ÓÒ Ó Ð³ÓÜÝ Ò ÓÙ ÙÒ ÖÐ ÔÖ ÔÓÒ Ö Òغ Ä Ö ÙÐØ Ø Ó Ø ÒÙ Ô Ö Å Ö ÑÓÒØÖ ÒØ ÙÒ Ò ØØ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ð Ú Ø ³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÕÙ Ô ÖÑ Ø ÔÓÙÖ ÓÒ Ø ÓÒ ÒØ ÕÙ ³Ó Ø Ò Ö ÙÒ ÙØ ÙÖ ½ Ó ÔÐÙ ÑÔÓÖØ ÒØ º Ä ØÖ Ú ÙÜ Å ÖØ Ì ÐÐÓ ÙØ Ð ÒØ ÙÒ ØÑÓ Ô Ö ÓÜÝ ÒØ ÑÓ Ò ÓÑÑÙÒ Ð ³ Ø ³ Ø ÒÓк ØØ ÒÓÙÚ ÐРع ÑÓ Ô Ö ÔÔÓÖØ Ñ Ð ÓÖ Ø ÓÒ Ù Ò ÙÖ Ð Ò Ø ÕÙ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÕÙ ÙÖ Ð³ Ô Ø Ö Ø Ó ÓÜÝ º ij ØÙ Ò Ø ÕÙ ÑÓÒØÖ ÕÙ ÓÒØÖ Ö Ñ ÒØ ÙÜ Ö ÙÐØ Ø ÓÙ ØÑÓ Ô Ö ÙÑ Ð Ü Ø ÙÜ Ö Ñ ÖÓ Ò º Ä ÔÖ Ñ Ö ÔÓÙÖ Ø ÑÔ ³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ò Ö ÙÖ ¼ ÔÖ ÒØ ÙÒ ÖÓ Ò ÐÓ Ö Ø Ñ ÕÙ ÕÙ Ú ¹ Ð ÒØ ÙÜ Ö ÙÐØ Ø ÓÙ ØÑÓ Ô Ö ÙÑ º ÈÓÙÖ Ð Ø ÑÔ ÙÔ Ö ÙÖ Ð ÓÒ ÑÓÒØÖ ÙÒ ÖÓ Ò Ó ÔÐÙ ÑÔÓÖØ ÒØ º ØÖ Ú ÙÜ ÓÒØ ÔÐÙ Ô ÖÑ ÑÓÒØÖ Ö Õ٠гÓÜÝ Ø ÓÒ Ò Ò Ø Ô ÓÖ Ñ ÒØ ÙÒ ØÑÓ Ô Ö ÙÑ Ø ÓÜÝ ÒØ À 2 Ç Ç 2 º º ºµ Ñ ÕÙ³ ÐÐ Ô ÙØ ØÖ Ó Ø ÒÙ ÕÙ Ð ÕÙ Ó ÒØÐ ÓÜÝ Ò ÓÒ ÙØ Ð ÓÙ ÙÒ ÑÔ Ð ØÖ ÕÙ º ÔÔÐ Ø ÓÒ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Å ÙÖ ÒØ Ð ÒÒ ÕÙ ÒÓÙ ÔÖ ÙÒ ÒÓÑ Ö ÑÔÓÖØ ÒØ Ñ Ø Ö ÙÜ Ù Ò Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÕÙ Ñ Ø ÐÐ ÕÙ ÓÒØ ÔÙ ØÖ ÜÔÐÓÖ º ÈÓÙÖ ÓÑÑ Ò Ö ÓÒ Ó Ø Ø Ö Ð Ð ÙÑ Ñ Ø Ö Ù Ñ Ð Ñ Ø ÕÙ Ð Ñ ÖÓ Ð ØÖÓÒ ÕÙ Ø ÙÖØÓÙØ ÔÖ ÙÖ ÙÖ Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ Ô Ö Åº Ò Ø ³ Ø ÙÖ Ð Ð ÙÑ ÕÙ Ð ÔÖ Ñ Ö

38 ½º¾º Ä ÄÁÌÀÇ Ê ÈÀÁ Ì Ä ÅÁ ÊÇË ÇÈÁ ü ÇÊ ÌÇÅÁÉÍ ¾ ØÖ Ú ÙÜ ÓÒØ ÔÓÖØ Ø ½ ¼ º ÇÒ Ô ÙØ ÓÙØ Ö ÕÙ³ Ð Ø Ú ÒÙ Ð Ñ Ø Ö Ù Ö Ö Ò Ð³ÓÜÝ Ø ÓÒ ÐÓ Ð º Ä Ñ Ø Ö ÙÜ ÕÙ Ú ÒÒ ÒØ Ò Ù Ø Ð³ÓÒ ÜÐÙØ Ð ËÇÁ Ë Ð ÓÒ ÇÒ ÁÒ ÙÐ ØÓÖµ ÕÙ Ô ÙØ ØÖ Ñ Ð ÙÜ ØÖ Ú ÙÜ ÔÓÖØ ÒØ ÙÖ Ð Ð Ùѵ ÓÒØ ÙÖØÓÙØ Ð Ñ Ø ÙÜ Ø ÒÓØ ÑÑ ÒØ Ð Ø Ø Ò Ð ÔÐ Ø Ò ÓÙ ÒÓÖ Ð³ ÐÙÑ Ò ÙѺ Ò Ò ÓÒ ØÖÓÙÚ Ð Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ ÁÁÁ¹Î Ø Ð ÕÙ Ð Ð ÓÙ ÒÓÖ Ð³ÁÒȺ ÍÒ Ö ÚÙ ÒÓÒ Ü Ù Ø Ú Ö ÒØ Ñ Ø Ö ÙÜ Ø ÔÖ ÒØ ÙÖ Ð Ø Ð Ù ½º Ä Ñ Ø Ö ÙÜ Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ö Ö Ò Ë Ñ ¹ÓÒ ÙØ ÙÖ Ë Ð ÙÑ Ë µ ½¼ÒÑ ÖÓÙÔ ¾¼¼ Ø ½ ¼ Ñ ÕÙ Ø ÐÐ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ç ½ ÁÒÈ ½ ÒÑ ÒÓ ØÖ Ú ÙÜ ÁÒ Ë ¾¼¼¾ Ð ½¼¼ ÒÑ Ø ½ ¼ ÁÒË» Ë Å ÒÓ ½ Ñ ÒØ Å Ø ÙÜ ËÙ Ø ¾¼¼¾ Ì Ø Ò ½ ÒÑ Ë Ñ Ø ½ ÐÙÑ Ò ÙÑ ½¼ÒÑ Ú ¾¼¼ Æ Ó ÙÑ ¾¼ÒÑ Ù Ö ¾¼¼¾ Æ ØÖÙÖ Ö ¼ÒÑ Ì ÑÙÖ ¾¼¼¼ Ì º ½º ÈÖ ÒØ Ø ÓÒ Ö ÒØ Ñ Ø Ö ÙÜ ÜÔÐÓÖ Ô Ö ÒÓ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ð ØÖ Ú ÙÜ Ö Ö Ò ÓÖÖ ÔÓÒ ÒØ Ø Ð Ö ÓÐÙØ ÓÒ Ó Ø ÒÙ Ä ÔÔÐ Ø ÓÒ ÓÒØ ÐÐ Ù ØÖ ÒÓÑ Ö Ù ÐÐ ÚÓÒØ Ù Ð ÕÙ Ë Ì Ù ËÉÍÁ Ñ Ò Ø ÕÙ Ò Ô ÒØ Ô Ö Ð Ö Ø ÓÒ Ø ÒÙÐ Ø ÓÒ Ò ÒÓÖ ¹ Ø Ùܺ ÉÙ ÐÕÙ ÙÒ ÔÔÐ Ø ÓÒ ÓÒØ Ö ÙÑ Ò Ð Ø Ð Ù ½º ½º¾º Ä ÙØÖ Ø Ò ÕÙ Ð Ø Ó Ö Ô Å Ä³ ÒÓ Ø ÓÒ ÐÓ Ð Ò³ Ø Ô Ð ÙÐ Ñ Ø Ó ³ Ö ØÙÖ Ò ÒÓÑ ØÖ ÕÙ Ó ÖØ Ô Ö Ä³ ź ÁÐ Ü Ø ³ ÙØÖ Ñ Ø Ó ÕÙ Ó Ö ÒØ ÔÓ Ð Ø Ö٠г ź