SIHI dry LA POMPE A VIDE (PRIMAIRE) ENTIÈREMENT. Mercredi 29 Septembre 2010 IEMN Lille. Guy GIBOURDEL

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1 SIHI dry LA POMPE A VIDE (PRIMAIRE) ENTIÈREMENT SECHE! Mercredi 29 Septembre 2010 IEMN Lille Guy GIBOURDEL

2 STERLING & SIHI 1920 Fondation de Siemen & Hinsch àst. Margarethen / Elbe (SIHI) 1925 Déménagement de la Société à Itzehoe 1970 Fondation de SIHI-Anlagentechnik GmbH (Engineered Systems) avec des usines in Tönning, today Dägeling 1971 SIHI absorbe HALBERG-Maschinenbau GmbH, Ludwigshafen % de la société SIHI (actionnaire Hinsch) est achetée par le groupe Thyssen-Bornemisza, 1991 Foundation de Sterling Industry Consult GmbH (SIC), Itzehoe 1996 Les 50% restant aux actinnaires fondateurs (Actionnaire Siemen) sont rachetés par le groupe Thyssen-Bornemisza( TBG), Integration dans le groupe Sterling Fluid Systems 2004 Restructuration de la Société en orientation marchés (Divisions) Slide 2

3 Gamme de produits SIHI - Pompes Process Chimie - Pompes à volutes industrielles - Pompes à Canal latéral - Pompes à fluides chauds - Pompes multicellulaires - Pompes à coupleurs magnétiques - Pompes de tour de refroidissement - Alimentation de chaudière - Pompes à condensats - Mélangeurs de boue Slide 3

4 Gamme de produits SIHI Technologie du Vide - Pompes à vide à anneau liquide - Pompes à vide sèches - Ejecteurs à vapeur & à gaz Compresseurs - Compresseurs à anneau liquide Systèmes de vide - Skids pompes à vide et compresseurs - Systèmes de récupération de COV par Membrane Slide 4

5 Pompes à vide (SIHI) Booster à huile Pompe à diffusion Pompe turbo moléculaire Éjecteur vapeur Anneau liquide + éjecteur air Pompe Cryogénique Pompe ionique, à sublimation Pompe à palettes, à piston Pompes sèches à becs, à vis Pompe sèche SIHI dry Roots ( + SIHI dry, ) Slide 5 hpa

6 Pourquoi les pompes à vide sèches? LES OBJECTIFS : Éviter la pollution du procédé et des vapeurs pompées Maintenir un bon niveau de vide stable dans le temps Supprimer la production d effluents (huile) Assurer le pompage de particules, de vapeurs (agressives) Assurer un fonctionnement fiable sans entretien Limiter la pollution sonore et vibratoire Slide 6

7 Technologie SIHI dry Un moteur par arbre ( synchrone type "brushless") Synchronisation par électronique de contrôle 400V tri Aucun contact mécanique en fonctionnement Sans engrenages lubrifiés: Absence totale d huile! Engrenages secs pour synchronisation initiale Roulements graissés pour au moins heures Vis en acier Inox DIN Corps fonte ductile GGG 40-3 Slide 8

8 SIHI dry : Concept de Construction Carter en fonte ductile GGG 40-3 Pas de corrosion en ambiance sèche Gérer dilatations différentielles avec Inox des vis 2 vis verticales en Inox DIN Sans contact avec jeux larges Vis en Acier Inox non revêtues Cartouche roulements (2x2) roulements à billes céramique Graissés avec graisse inerte synthétique Cartouche en Acier inoxydable Motorisation étanche Slide 9 Barrage de gaz neutre des moteurs pompage de vapeurs condensables ou/et gaz contaminants

9 SIHI dry : Concept de Construction Construction sans palier supérieur côté vide : Etanchéité simplifiée Démontage facile et rapide pour inspection/nettoyage Slide 10

10 Technologie SIHI dry Entraînement électronique synchronisé à sec La position des vis est contrôlée par encodeurs et variation de fréquence Ces engrenages non lubrifiés sont sans contact en fonctionnement Vide 99% sec*! graisse inerte synthétique (base ester) des 4 roulements: (Klüber Asonic HQ selon directive 91/155 CEE normes DIN EN , GMP et HACCP, USDA H2) Compatibilités alimentaire, cosmétique et pharmaceutique Slide 11

11 Technologie SIHI dry SIHI dry : Entraînement électronique 1998 à 2003 :2 variateurs de fréquence Depuis 2003 :électronique de puissance compacte Slide 12

12 Compression & température SIHI dry : Compression interne de type polytropique : Augmentation de la température des gaz Echange de chaleur avec extérieur Slide 13

13 Compression et puissance absorbée Selon taux de compression internes Puissance absorbée Pompe parfaite compression interne progressive Slide 14

14 Compression à vis SIHI dry SIHI dry :Vis à double pas et à pas variable Slide m³/h 250 m³/h 400 m³/h

15 Compression à vis SIHI dry SIHI dry :Vis à double pas pour diminuer forces sur arbres et éviter trous d équilibrage Exemple technologie à simple pas Slide 16

16 Compression à vis SIHI dry SIHI dry :Vis à pas variable Pas large pour débit important à l aspiration Pas variable en continu pour puissance réduite et élévation température limitée Pas fin au refoulement pour taux de compression élevé et vide poussé Slide m³/h // 10-3 hpa

17 Principe de refroidissement pompe SIHI dry Double enveloppe Ré-injection incondensables S1000) Refroidissement interne vis (série H) Slide 18

18 Modes de refroidissement des pompes SIHI dry Double enveloppe + refroidissement vis + refroidisseur de gaz Tgaz Tgaz Tgaz Slide 19

19 Jeux internes larges Pour les applications avec des gaz chargés: CVD, CVI, nanomatériaux Pour éviter l usure Pour pallier les pertes de charge du filtre à particules Jeux de 0.15 à 0.25 mm à froid Slide 21

20 Vitesses élevées pour performances en vide Vitesses de tr/mn à tr/mn Débit et vide proportionnels à la vitesse Jeux réduits à chaud : compression maximale Slide 22

21 Courbes de débit SIHI dry V250 à V400 Puissance réduite à "haute" pression Vide poussé Slide 23

22 Courbes de débit SIHI dry S160 à S1000 Puissance élevée à "haute" pression Vide poussé selon profils de vis et vitesses Slide 24

23 Courbes de débit SIHI dry V1500-S1000 Slide 25

24 Régulation de pression du procédé par variation de fréquence Le débit nécessaire peut être ajusté selon les besoins réels La puissance consommée est réduite au minimum nécessaire Slide 26

25 Systèmes avec Roots V250 V400 V1500 Débit de 80 à m³/h Vide de 10-4 mbar à Atm Pompe Primaire S160 S400 S630 S1000 Montage sur skid avec Roots 1000 Suction capacity [m³/h] ,1 Ex SD4000 Slide 27 PL SIHI dry, January 2005

26 Exemple de groupe SIHI dry & Roots Roots à vitesse variable : - encombrant + léger + performant Conformités de fabrication: Directive machines 2006/42/CE Compatibilité électromagnétique 2004/108/CEM ATEX 94/9/CE Et : EN , DIN EN ISO , DIN EN ISO , EN , EN 50014, EN 50016, EN Slide 28

27 Faible niveau de bruit (54 dba à 74 dba) Comment? Suppression des sources de bruit, par conception: des garnitures mécaniques de la boite d engrenage de l accouplement du moteur ventilé Slide 29

28 Faible niveau de vibrations Slide 30

29 Convivialité d utilisation Commande centralisée sur écran tactile pour plusieurs pompes Commande locale sur écran tactile de la pompe Slide 31

30 Convivialité d utilisation Exemple synoptique contrôle commande Slide 32

31 Applications SIHI dry Métallurgie, Traitements thermiques Dépôts sous vide de couches minces Croissance cristalline, Photovoltaïque Électronique, Lasers, R&D Stérilisation Lyophilisation Dégazage Imprégnation, séchage Transport sous vide Remplissage & recyclage de gaz Vide centralisé et beaucoup d autres Slide 33

32 SIHI dry 11 SD CEA Laser MEGAJOULE Slide 34

33 Merci de votre attention! SIHI dry LA POMPE A VIDE (PRIMAIRE) ENTIÈREMENT SECHE! Mercredi 29 Septembre 2010 IEMN Lille Guy GIBOURDEL