Habilitation Salle Blanche. 1. Habilitation générale

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1 Habilitation Salle Blanche 1. Habilitation générale Alexis Fischer, Jeanne Solard Sorbonne Paris Cité, Université Paris 13, IUT de Villetaneuse

2 Plan de la présentation 1. Historique des micro-nano technologies 2. Que sont les nanotechnologies? 3. Quelques problématiques des micro-nanotechnologies 1. Les poussières ennemis des nano-objets 2. Taille des objets et taille des polluants 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies? 1. Qu'est ce qu'une salle blanche 2. Fonctionnement d'une salle blanche 3. Fonctionnement d'un hotte à flux laminaires 5. Règles d'utilisation d'une salle propre 1. Habillement 2. Comportement 6. Habilitatiopratique pour C(PN)2 7.Consignes de sécurité 8. Charte d'utilisation de C(PN)2

3 1. Historique des nanotechnologies

4 1. Historique des nanotechnologies 1. Origine «There s Plenty of Room at the Bottom» Richard Feynman 29 décembre 1959 American Physical Society meeting California Institute of Technology (CalTech) «Why not write the entire 24 volumes of the Encyclopedia Britannica on the head of a pin»

5 1. Historique des nanotechnologies Objectif : Miniaturiser Les challenges du Dr. Feynman (1000$ prize) 1. «Tiny motor» : 1/64th inch3 2. Write the information from a book page on a surface 1/25,000 smaller in linear scale. + =

6 1. Historique des nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation Miniaturisation

7 1. Historique des nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation L élément de base pour fabriquer les microprocesseurs est le transistor La partie rouge centrale correspond au canal de l entrée G nommé Grille et les deux parties vertes représentent respectivement la Source et le Drain. La finesse de gravure est tout simplement la largeur du canal qui représente la grille (notée L sur le schéma).

8 1. Historique des nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation Technologie des tubes à vides (technologie disparue) Transistor silicium 1947 Technologie à venir?

9 1. Historique des nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation 1947 The Nobel Prize in Physics 1956 was awarded jointly to William Bradford Shockley, John Bardeen and Walter Houser Brattain "for their researches on semiconductors and their discovery of the transistor effect".

10 1. Historique des Nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation

11 1. Historique des Nanotechnologies 1.Historique de la miniaturisation

12 1. Historique des Nanotechnologies Pentium IV 2003 Itanium 2 transistor /chip 410M 42M 1.2M µm Human hair 1 µm Red blood cell 0.1 µm Bacteria Virus transistor size En science et en technologie, ce préfixe désigne un milliardième 12

13 2. Que sont les nanotechnologies? 2. Comment définir les nanotechnologies?

14 2. Que sont les nanotechnologies? 1. Le nanomètre : Changement d'échelle

15 2. Que sont les nanotechnologies? 2. Définition : La nanomètre Le nanomètre est un milliardième de mètre m 1 mm 1 µm 1nm

16 2. Que sont les nanotechnologies? 3. Définition : Les nanotechnologies Les nanotechnologies sont un ensemble d'études et de procédés de fabrication visant à réaliser des composants ou des dispositifs à l'échelle du nanomètre. infinitesimal Vers la miniaturisation et au-delà... La manipulation d'atomes, de molécules, et de matériaux pour former des structures à l'échelle du nanomètre met en jeu de nouvelles propriétés, de nouveaux comportement dus au changement d'échelle et à la physique quantique.

17 2. Que sont les nanotechnologies? 4. Au delà de la miniaturisation...une physique différentes? Lorsque les dimensions L des objets miniaturisés se réduisent les longueurs, les surfaces et les volumes varient comparativement différemment de ce que nous connaissons dans notre monde Les effets de surface (S~L2) deviennent plus faibles que les effets de longueurs (L) Les effets de volume (V~L3) deviennent plus faible que les effets de surface (S~L2)

18 2. Que sont les nanotechnologies? 5. Des phénomènes différents avec une même physique Monde macroscopique : Les force de friction sont liés aux force de gravitation qui dépendent elle même de la masse de l'objet considéré : gravitation =μm. F friction = μ F g L3 Dans le monde microscopique les forces de friction (striction) sont liés aux interactions interatomiques donc aux surfaces (S=L2) de contacts : F striction L 2 Les forces de friction sont plus fortes dans le nanomonde Un micromoteur aura donc plus de mal à tourner On peut utiliser les forces d'adhésion entre objets pour auto-organiser auto-assembler des nano-objets

19 2. Que sont les nanotechnologies? 6. Nouvelles propriétés : Physique quantique Lorsque les tailles des nano-objets avoisinent ~10 nm et au dessous, ces derniers ne contiennent plus qu'un nombre réduit d'atomes. Le comportement individuel des atomes ou molécules n'est plus masqué par une effet statistique. Les propriétés changent : Des substances opaques deviennent transparentes (cuivre, aluminium) des matériaux inertes deviennent catalyseur (platine); des matériaux stables deviennent combustibles (aluminum); des solides deviennent liquides (or);

20 3. Problématiques pour les nanotechnologies?

21 3. Quelques problématiques des Nanotechnologies 1.Tailles des nano-objets et des objets «naturels» 1 nanomètre (1milliardième de mètre) 1 micromètre (1millionième de mètre) 1 millimètre (1millième de mètre) Atomes bactérie 0.1µm-10µm squame 0.3µm-100µm pollens 10µm-150µm Diamètre d'un cheveu humain 100 µm fibre 1-5 mm

22 3. Quelques problématiques des Nanotechnologies 2. Contamination liée à l'activité humaine Cheveux Humains : µm Squame de peau humaine : 0,4 à 10 µm Fumées : 0,01 à 1 µm Poussières domestiques : 0,05 à 100 µm Bacteries : 0, µm

23 3. Quelques problématiques des Nanotechnologies 3. Nature des contaminants humains Postillon: potassium, chlorure, phosphore, magnésium, et sodium pellicule : calcium, chlorure, carbone, et azote Transpiration: sodium, potassium, chlorure, sulfure, aluminium, carbone, et azote Empreintes digitales: sodium, potassium, chlorure, et phosphore

24 3. Quelques problématiques des Nanotechnologies 4. Contamination liée à l'activité humaine Debout ou assis sans mouvement Marche lente 3km/h : particules /min particules /min Normale 5.5km/h : particules /min Rapide 8km/h : particules /min Assis mouvement légers de tête, bras, avant bras particules /min Monter les escaliers particules /min Assis mouvement légers de tête, bras, avant bras particules /min Changement de position Assis à debout particules /min Exercices physiques à particules /min

25 3. Quelques problématiques des Nanotechnologies 5. Les poussières et contaminants - Les poussières présentent dans l'atmosphère (<100µm) sont jusqu'à 1000 fois plus grandes qu'un transistor de microprocesseur moderne (100 nm). - Une seule poussière peut polluer la fabrication d'un très grand nombre d'objets nanoscopiques - Pour éviter la pollution par les poussières, on travaille dans une salle spéciale ou l'air a été filtrée : la salle blanche 2

26 4. Dans quelles conditions et quels environnements faire des nanotechnologies?

27 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies? 1. Atmosphère de travail L'air ambiant contient des particules parfois invisibles. Humidité qui varie avec le temps Température qui varie avec le temps Nécessité de travailler dans un environnement à atmosphère contrôlée Salle blanche = Salle atmosphère contrôlée

28 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 2. Qu'est ce qu'une salle blanche? Une salle blanche est un endroit conçu pour réduire la contamination des procédés et des matériaux Cela est obtenu en supprimant ou en réduisant les sources de contamination Le Federal Standard 209E (USA) définit une salle blanche comme une pièce dans laquelle al concentration des particules aériennes est contrôlée dans des limites spécifiques Les standard britanniques definissent une salle blanche comme une salle avec contrôle de la contamination particulaire construite et utilisée de manière à minimiser, l'introduction, la production et la rétention de particules et avec des contrôle de la température, de l'humidité, des motifs des flux d'air, des mouvements d'air et de la pression. Définition de l'aspec (Association pour l'étude et la prévention de la contamination) : Depuis la parution de la norme NF EN ISO en 1999, le terme de "salle blanche" a été remplacé par le terme de "salle propre" même si l'expression "salle blanche" est encore usitée oralement, voire par écrit. Suivant la norme NF EN ISO : Salle dans laquelle la concentration de particules en suspension dans l'air est maîtrisée et qui est construite et utilisée de façon à minimiser l'introduction, la production et la rétention de particules à l'intérieur de la pièce et, dans laquelle d'autres paramètres pertinents tels que la température, l'humidité et la pression sont maîtrisés comme il convient.

29 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 3. Fonctionnement d'une salle blanche 1.1 Pression (définition)

30 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 4. Fonctionnement d'une salle blanche 1.2 Pressions dans et autour de la salle blanche : - Pression Pin dans l'enceinte de travail - Pression Pex autour de la salle blanche (enveloppe extérieure) Enveloppe extérieure (bâtiment) Pression extérieure Pex Enceinte intérieure Pression intérieure Pin Plancher porteur

31 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 4 Fonctionnement d'une salle blanche 1.2 Pression dans la salle blanche : Si la pression intérieure est plus faible que la pression extérieure les poussières rentrent dans la salle blanche ( pollution ) Enveloppe extérieure (bâtiment) Pression extérieure Pex Enceinte intérieure Pression intérieure Pin Pin < Pex Plancher porteur

32 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 4. Fonctionnement d'une salle blanche 1.2 Pression dans la salle blanche : Si la pression intérieure est plus forte que la pression extérieure les poussières sont expulsées de la salle blanche ( réduction pollution ) Enveloppe extérieure (bâtiment) Pression extérieure Pex Enceinte intérieure Pression intérieure Pin Pin > Pex Plancher porteur

33 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 4. Fonctionnement d'une salle blanche 1.3 Maintenir une pression dans l'enceinte de travail Enveloppe extérieure Pression extérieure Pex Enceinte intérieure Pression intérieure Pin Pin > Pex Plancher porteur

34 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 5. Fonctionnement d'une salle blanche Cascade de pression Pour assurer une meilleure étanchéité de l enceinte aux contaminants extérieurs, on maintient dans celle-ci une légère surpression par rapport aux locaux adjacents. 15 Pa < P <20 Pa Les pressions sont toujours étagées des pièces les plus propres aux plus contaminées. P + = P + ΔP P ++ = P+ +ΔP P +++ = P ++ +ΔP

35 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 6. Fonctionnement d'une salle blanche 1.5 Filtration de l'air soufflée dans la salle propre Enveloppe extérieure Pression extérieure Pex Enceinte intérieure Pression intérieure Pin Pin > Pex Plancher porteur

36 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 7. Fonctionnement d'une salle blanche Niveaux de filtration de l'air Pré-filtres (F7) : (Filtre les feuilles, les insectes) Filtre intermédiaire (F8 à F9) HEPA : High Efficiency Particulate Air filter (H11)

37 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 8. Fonctionnement d'une salle blanche Niveaux de filtration de l'air Pré-filtres Filtre intermédiaire HEPA : High Efficiency Particulate Air filter..

38 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 9. Fonctionnement d'une salle blanche Filtre : HEPA : High Efficiency Particulate Air filter. Développé dans le cadre du projet «Manhattan» pour la filtration de l'air contaminé par les poussières radioactive. Filtration de 99.97% des particules de taille 0.3 µm Les particules de tailles supérieures sont davantage filtrées

39 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 10. Fonctionnement d'une salle blanche Classement des salles blanches en fonction du nombre de contaminant

40 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 11. Fonctionnement d'une salle blanche Classe de salles blanches

41 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 12. Fonctionnement d'une salle blanche Taux de renouvellement de l'air Classe particulaire Zone Zone Zone Régime d écoulement d air Taux de renouvellement de l air de la salle ISO 5 Flux unidirectionnel > 50 volumes /h ISO 7 Flux unidirectionnel ou non unidirectionnel 25 à 30 volumes /h ISO 8 Flux non unidirectionnel 15 à 20 volumes /h C(PN)2 a une surface en atmosphère contrôlée de 195 m 2 et une hauteur sous plafond de 2,45m ce qui correspond à un volume de 477 m3 Le volume horaire d'air traitée est de ~10 000m3/h

42 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 13. Fonctionnement d'une salle blanche Contrôle de l'humidité et de la température Pour contrôler l'humidité on commence par faire se précipiter (rosée) l'eau contenue dans l'air ambiant en la chauffant et en la refroidissant brutalement. Le taux d'humidité descend en dessous de 40 % Dans un deuxième temps on rajoute de l'eau en faisant passer le flux d'air au travers d'eau brumisée (douche) On réchauffe l'air au besoin pour atteindre la bonne température

43 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 14. Contrôle des mouvements d'air Les turbulences déplacent les particules

44 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 15. Écoulement de l'air et nombre de Reynolds Le nombre de Reynolds représente le rapport entre les forces d'inertie et les forces visqueuses. On le définit de la manière suivante : v - vitesse caractéristique du fluide [m/s] D - dimension caractéristique [m] - masse volumique du fluide [kg/m3] (1,3kg/m3 pour l'air) µ - viscosité dynamique du fluide [Pa s ou kg/(m s) ] (1, Ns/m) Ce nombre va nous permettre de détecter l apparition de la turbulence : plus il est élevé, plus l inertie est importante et la viscosité faible, et plus les tourbillons pourront se développer. Un écoulement devient turbulent si Re>2000 Ce nombre de Reynolds critique correspond en gros au moment où les forces visqueuses ne sont plus suffisamment fortes pour résorber les tourbillons.

45 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 16. Écoulements de l'air et nombre de Reynolds Re=1 Re=20 Re=100 Re=10 000

46 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 17. Ecoulement laminaire (hotte) L écoulement laminaire L air sortant d un filtre de type T.H.E.(Hepa ou Ulpa) peut sortir à des vitesses variables, en fonction du réglage des ventilateurs. Régime turbulent : Si v < 0,35 m/s, la vitesse de l air est trop faible, le régime est turbulent Si v > 0,55 m/s, la vitesse de l air est trop forte, le régime est turbulent Régime laminaire Si v est compris entre : 0,35 m/s < v m/s < 0,55 m/s, le régime est laminaire Propriétés principales de l écoulement laminaire Les filets d air ont un sens unidirectionnel (effet de piston d air) Les filets d air se déplacent sans se perturber. Les filets d air peuvent contourner un obstacle modéré et se reformer en aval de celui-ci

47 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 18. Renouvellement de l'air dans une hotte à flux laminaire Débit d un flux d air laminaire/taux de renouvellement de l'air La vitesse de l air étant V=0,45 m/s Surface filtrante S= L x P (1 m²) Le volume d air débité par seconde est D=L. P. v Le volume d'air en 1 heure est : Dh = L. P. v (Par m² filtrant le débit horaire : 60x60x0,45 soit m³/h) v H Sous un flux laminaire à 0,45 m/s protégeant un process et situé à une hauteur H = 1m au dessus de celui-ci, le volume protégé est de 1 m³ Le taux de renouvellement horaire TR/h est de fois à l heure. L l'air est renouvelé toutes les 2,2 secondes P

48 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 19. Fonctionnement d'une hotte à flux laminaire Volume d'air V VE = VB + VA Protection du plan de travail VA entrant introduit des contaminants sur le plan de travail Protection de l'utilisateur VA sortant laisse sortir des contaminants vers l'utilisateur

49 4. Dans quelles conditions faire des nanotechnologies 1.Utilisation d'une hotte à flux laminaire Flux laminaire à l'intérieur de la hotte Le flux laminaire passe à travers le plan de travail ajouré Récupération des contaminants (par exemple solvants) Extraction (aspiration) de l'air contaminé Aspiration de la veine d'air devant l'utilisateur (protection de l'utilisateur) Aspiration de la plus petite veine d'air possible L'écran de la hotte doit être le plus fermée possible. Seuls les avant bras sont placés dans la hotte lorsque les manipulations l'exigent.

50 5. Utilisation d'une salle propre 5. Règles d'utilisation d'une salle Propre 1. Un espace de travail commun 2. Avant d'entrer en salle propre 3. Le sas : pour s'équiper 4. Comportement dans la salle propre

51 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1. Un espace de travail commun : un code de bonne conduite librement consenti? 1. Les utilisateurs constituent le plus grand risque de contamination mais ils sont aussi le moyen de contrôler les contaminations. 2. Un programme de formation sérieux et complet qui détaille différents aspects de la gestion d'une salle propre renforce la capacité des opérateurs et utilisateurs de la salle blanche à contrôler la contamination. 3. La contamination impacte celui qui contamine, mais aussi les autres utilisateurs. 4. Les utilisateurs doivent comprendre les risques pour eux et ceux qu'ils font courir aux autres. 5. Une adhésion volontaire de tous les utilisateurs aux règles de comportements et aux protocoles d'utilisation est un élément important de gestion de la salle propre. 6. Une règle de bonne conduite adoptée par tous pour partager un espace de travail commun de très haute technologie.

52 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1.Avant l'entrée en salle blanche 1. Ne pas fumer 30 minutes avant l'entrée en salle blanche : l'air expiré contient des contaminants 2. L'usage de cosmétiques est interdit (poudre, fars, crèmes,...) car en plus de la génération de grandes particules ils relarguent du fer, du silicium, du carbone, du titane, du magnésium, du soufre, et du calcium. 3.Réduire son activité avant de rentrer en salle blanche. 4.Éviter de rentrer en état de transpiration

53 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1.Procédure d'entrée 1/3 : Sas et banc de passage 1. Le sas est séparé en deux zones grises et bleu séparées par un banc de passage. 2. Le banc de passage matérialise la partie propre de la partie grise. 3. Le passage sur le banc permet de s'équiper progressivement avant d'entrer dans la zone propre

54 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1.Procédure d'entrée 2/3 : habillage dans le sas 1. Une fois les deux pieds équipés de surchausses et posés coté propre il est possible de s'équiper du reste de la tenue. 2. Mettre une combinaison avec une cagoule et des surbottes 3. Mettre les sur-bottes, des gants, un masque, et des lunettes de protection 4. Vous êtes prêt à rentrer dans la salle propre

55 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1. Procédure d'entrée 4/4 : ordre de l'habillement S'habiller du haut vers le bas avec dans l'ordre : 1. Charlotte et cagoule 2. Masque (si nécessaire) 3. Lunettes de protection (si nécessaire) 4. Combinaisons 5. Sur-chaussures 6. Gants On se déshabille dans l'ordre opposé.

56 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1. Le comportement dans une salle propre. 1. Limiter les mouvements et la circulation dans la salle à ce qui est purement nécessaire.comme il l'a été expliqué précédemment toute activités dans la salle propre génère des contaminants. En conséquence, il est important de limité les actions (gestes et paroles) qui génèrent ces contaminants au strictes minimum, c'est à dire à ceux requis pour les travaux. 2. La course et tout autres gestes brusques ne sont pas autorisé. 3. Fumer n'est évidemment pas autorisé dans la salle propre, mais aussi sur l'ensemble de la plateforme. les fumeurs relarguent des particules au moins une demi-heure après avoir fumé. 4. Rien n'est autorisé dans la salle blanche qui ne soit pas strictement nécessaire pour la conduite de process de fabrication dans la salle propre. Ceci inclut tous les objets personnels ; bijoux, clefs, cosmétiques, tabac, nourriture, boisson. 5. Il est interdit de se peigné ou de recoiffer dans la salle propre. Seuls les stylo à billes sont autorisés dans la salle propre. Le papier utilisé est un papier spécifique sans relargage de fibre. 6. Se gratter ou se frotter les mains n'est pas autorisé. 7. Les utilisateurs ne doivent pas ouvrir leur combinaison ni accéder à quelconques objets placés à intérieur de leur combinaison. 8. L'utilisation des mouchoirs est interdit dans la salle propre. L'utilisation de tissu non fibré se fait dans le sas et doit être immédiatement placé dans des poubelles après utilisation.

57 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 1. Description de l infrastructure 2. Procédure d entrée en salle 3. Procédure de décontamination de matériel 4. Règles de comportement générales 5. Procédure d accès et personnes à contacter

58 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Centrale de proximité Paris Nord : Plateforme : 300 m² Salle propre : 200 m² ISO 8 10 hottes à flux laminaire ISO 5 Spécificités : Nanotechnologies pour l'optoélectronique et la photonique utilisant des matériaux alternatifs (semiconducteurs organiques, diamants, oxydes) Contaminant : la poussière Contrôle de l environnement : (T, hygrométrie) Afin que l environnement propre soit stable et permette la réalisation de procédés reproductibles

59 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Centrale de proximité Paris Nord : Conçue suivant la norme ISO Pour éliminer les particules inertes (Poussières, Fibres textiles et végétales, contaminants d origines humaines) Cloisons,sols,et plafonds ne relarguant pas de particules Air extérieur filtré par 4 étages de filtres Surpression de 30 Pa (salle) et 15 Pa (sas) Tenues vestimentaires et consommables ne relarguant pas de particules

60 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Schéma de la centrale d air : située sur le toit de la salle blanche

61 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Plan de la salle Vestiaires SAS Lithographie Electronique Lithographie optique Salle Propre Zone Chimie entrée Caractérisation Local évaporateur

62 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Tenue pour entrer en salle propre et consommables Combinaisons lavées toutes les quinzaines Gants usages uniques Fournitures salle blanche qui ne relarguent pas de particules (papier, chiffons )

63 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Equipements de C(PN)2 Micorscopeélectroni que à balayage Raith Pioneer Lithographie électronique à balayage Raith Pioneer

64 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Local technique : les servitudes Générateur d azote : production d azote industriel Nettoyage des substrats, de la verrerie ChimiePour alimenter les soufflettes Refroidissement d équipements Remise à l azote d équipements sous vide Compresseur : production d air comprimé Pour actionner les vérins, électrovannes des équipements Pour produire de l azote Système sous vide : production de vide d aspiration Pour maintenir les substrats sur les portes-échantillons Système d eau osmosée : production d eau pure déionisée Systèmes d eau de refroidissement Permet le refroidissement des pompes secondaires Permet le refroidissement des bâtis Groupes de pompage : production de vide primaire Pour le fonctionnement des pompes secondaires

65 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 La centrale de proximité Paris Nord est un environnement de qualité : Au niveau scientifique Au niveau sécurité Il est impératif de respecter cet environnement pour maintenir cet environnement de qualité

66 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 En salle blanche,vous êtes le principal vecteur de contamination Assis / au repos En marchant particules 1 million particules par minute par minute En courant 10 millions particules par minute C est votre attitude envers la propreté qui fera le succès ou l échec de la qualité de l environnement de la salle blanche

67 6. Habilitation pratique pour C(PN)2

68 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Badger pour entrer dans la centrale

69 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 BADGER POUR ENTRER DANS LE VESTIAIRE

70 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Procédure d entrée en salle : Le vestiaire : Placer les affaires personnelles dans un casier individuel Se laver les mains Marcher sur le tapis de décontamination avant de rentrer dans le sas Jeter les chewinggum

71 6. Habilitation pratique pour C(PN)2

72 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 PLACER SES AFFAIRES DANS UN CASIER ET FERMER A CLE

73 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 SE LAVER LES MAINS AVEC DE L EAU ET DU SAVON DOUX

74 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 MARCHER SUR LE TAPIS DE «DÉCONTAMNIATION»

75 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 APPUYER SUR LE BOUTON POUR ENTRER DANS LE SAS

76 6. Règles d'utilisation d'une salle propre 1.Procédure d'entrée 1/4 : Le vestiaire 1. Choisir un casier et y poser son sac, sa veste ou son manteau. 2. Retirer les vêtements qui vous feraient transpirer en salle propre 3. Se débarrasser des pulls présentant des fibres évidentes. 4. Y laisser également toutes les affaires personnelles qui peuvent produire des contaminants : Clef, telephone portable, cahier, crayon 5. Se débarrasser de son schwing gum, ou de tout autre aliments. 6. Se laver les mains. 7. Marcher sur le tapis collant pour débarasser la semelle de vos chaussure des contaminants les plus evidents.

77 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Procédure d'entrée en salle propre : le SAS :2/4 Permet de maîtriser : les entrées et sorties des flux (personnes, matériels, matières, consommables, déchets ) la contamination C est une barrière: physique de la contamination psychologique -aéraulique

78 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 1 Prendre les surchausses et les enfiler en enjambant le banc de passage de Banc manière à ce que le de pied touchant la partie passage propre soit chaussé = 2 En cas de rhume Zone élément Zone propre mettre un masque sale de 3 Mettre une charlotte transit ou une cagoule sale/propre 4 Enfiler la combinaison en évitant au maximum qu elle touche par terre Dans le SAS : 5 mettre les surbottes par dessus la combinaisons 6 mettre des lunettes de protection 7 Terminer par les gants en prenant garde de les contaminer le moins possible. Les manches des gants doivent être par-dessus la combinaison 8 Marcher sur le tapis de décontamination avant de rentrer en salle blanche.

79 6. Habilitation pratique pour C(PN)2

80 ENFILER LES SUR CHAUSSURES EN ENJAMBANT LE BANC DE PASSAGE DE MANIÈRE À CE QUE LE PIED TOUCHANT LA PARTIE «PROPRE» SOIT CHAUSSÉ

81 PORTER UN MASQUE CHIRURGICALE EN CAS DE SYMPTÔMES OU PAR PRECAUTION SUPPLEMENTAIRE

82 EVITER QUE LA COMBINAISON NE TOUCHE PAR TERRE METTRE LA CAGOULE EN PREMIER, PUIS LA COMBINAISON RENTRER LA CAGOULE À L INTÉRIEUR DE LA COMBINAISON

83 Boucler les sur-chausses ZIP+Sangles Les lunettes permettent de se protéger des projections

84 RECOUVRIR LES MANCHES DE LA COMBINAISON AVEC LES GANTS APPUYER SUR LE BOUTON POUR ENTRER EN SALLE BLANCHE MARCHE R SUR L E TAPIS DE «DÉ CONTAMNIATION»

85 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 NETTOYER A L ISOPROPANOL TOUT ACCESOIRE ENTRANT EN SALLE BLANCHE

86 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 A la sortie de la salle propre

87 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Utilisation des gants Ne pas toucher son visage avec des gants souillés Changer de gants dès que ceux ci sont souillés Pour enlever les gants Ne pas toucher l'extérieur du gants avec sa main nue. Il peut être souillée par des produits dangereux Se laver les mains après le port des gants

88 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 RANGER LES LUNETTES APRES LES AVOIR NETTOYER

89 RANGER OU DEPOSER AU FOND DU DRESSINGLA COMBINAISON

90 RANGER OU DEPOSER AU FOND DU DRESSINGLA COMBINAISON

91 RETIRER LES SUR CHAUSSURES EN ENJAMBANT LE BANC DE PASSAGE DE MANIÈRE À CE QUE LE PIED TOUCHANT LA PARTIE «SALLE» SOIT DECHAUSSÉ

92 6. Habilitation pratique pour C(PN)2

93 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Procédure de décontamination des objets Décomtamination des objets de petite taille : Déposer votre objet sur le banc de passage Mettre lessurchausseset des gants Prendre du tissus SB et l imbiber d isopropanol Nettoyer l objet avec l isopropanol habiller, changer les gants et récupérer l objet propre Décontamination des objets de grande taille : (autorisation obligatoire!) Mettre des gants Dans la zone sale du sas, effectuer un nettoyage en profondeur de l objet Transférer l objet dans la zone propre en soulevant le banc Nettoyer la surface où le nettoyage a eu lieu

94 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Objets interdits en salle propre : Pour limiter le relarguage de particules et la contamination des procédés Toute nourriture ou boisson Crayons à mine de plomb Papier ordinaire, bois ou carton Limitation de la contamination particulaire : Respecter la procédure d habillement Marcher d un pas normal, ne pas courir pour éviter de provoquer des turbulences d air et générer des particules Ne pas se serrer la main Eviter d entrer en salle blanche en cas de gros rhume Ne pas ouvrir sa combinaison en SB Ne pas toucher la peau avec les gants (éviter de se gratter ) Ne rentrer aucun matériel A l intérieur de la salle vous trouverez des stylos et des feuilles qui ne relargue pas de particules Fermer les portes pour ne pas perturber les équilibres de pression

95 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Respect de l'espace de travail Après une opération, il est obligatoire de : Nettoyer soigneusement l espace de travail Ranger ses affaires Remettre les objets à leurs place Éteindre les appareils s ils ne sont plus utilisés Mettre l espace de travail dans un meilleur état que ce que vous avez trouvé Ne pas emporter avec vous des objets de la salle blanche (pinces, ) Le rangement d une manipulation fait partie intégrante du travail à effectuer

96 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Respect des équipements La plupart des équipements nécessitent une habilitation particulière. Il est nécessaire de signaler à la personne responsable :» Tout défaut de fonctionnement» Les pannes» Ne jamais faire d intervention personnelle sur les appareils Généralités sur le travail en salle blanche Ne jamais travailler seul En cas de doute, poser des questions, aucune question n est stupide Si vous trouvez quelque chose de suspect, il faut immédiatement prévenir la personne qui vous encadre L entraide est de mise pour le bien des personnes et le bon fonctionnement de l infrastructure

97 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 USAGERS Après le test et la validation en salle blanche de la procédure d habillage, vous serez habilités à travailler en salle blanche et deviendrez USAGER. Pour travailler dans les zones chimie il est nécessaire de passer l habilitation chimie Pour travailler sur certains équipements, il faut une habilitation spécifique sur ces équipements Seul les usagers habilités sont autorisés à travailler en salle propre. Ceux ci doivent : Travailler de façon sécuritaire et ordonné Connaître les procédures d urgences Respecter les procédures d habillement et introduction d objet Acquérir la formation nécessaire pour utiliser un équipement Demander de l aide en cas de questionnement Informer le personnel en cas de défectuosité Signaler à ses collègues les oublis et les erreurs

98 6. Habilitation pratique pour C(PN)2 Accès à la salle blanche Pour accéder à la salle blanche les étapes sont les suivantes : Habilitation Signature de la charte Contribution financière de l'équipe, du laboratoire ou de la formation Carte d'accès avec droit d'accès attribué Horaires d ouvertures de la salle blanche : De 9h00 à 18h00 Lundi au vendredi Personnes à contacter en cas de problème : J.Solard bureau L200 / poste 4036 A. Fischerbureau L203 / poste 3082 M.Chakaroun bureau L203 / poste3082 M. Lee bureau N100 / poste 3678

99 7. Consignes de sécurité

100 7. Consignes d'évacuation

101 7. Consignes d'évacuation

102 8. Charte d'utilisation de C(PN)2

103 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 1 à 3 de la charte Article 1 : Définition La centrale de proximité en nanotechnologies de Paris Nord intitulée C(PN)2, est située à l'iut de Villetaneuse sur le campus de l'université Paris 13. C'est une plateforme de nanofabrication et de caractérisation de 300m2 qui inclut un ensemble des salles à atmosphère contrôlée, des salles de caractérisation, des annexes techniques. C(PN)2 est labellisée par le CNRS comme centrale de proximité. Article 2 : Spécificités C(PN)2 a pour spécificités et pour objectifs l'étude, la fabrication et la caractérisation de nanostructures dans des matériaux éventuellement semi-conducteurs dits alternatifs (matériaux organiques, diamants, oxydes). Sont visés des applications des dispositifs optiques, optoélectroniques, photoniques et magnétiques. Article 3 : mutualisation d'équipements scientifiques et de moyens C(PN)2 a pour objectifs la mutualisation d'un ensemble d'équipements scientifiques sensibles et de moyens (fluides spéciaux, consommables) au profit des utilisateurs.

104 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 4 et 5 de la charte Article 4: Utilisateurs C(PN)2 permet de réaliser des missions d'enseignement, de recherche et de transferts industriels, et reçoit par conséquent des publics variés constitués d'étudiants, de stagiaires, de doctorants, d'enseignants, de chercheurs et d'industriels. L'hétérogénéité des utilisateurs fait peser des risques potentiels pour les équipements et pour les différentes catégories d'utilisateurs et tout particulièrement pour les étudiants. Chaque utilisateur a donc le devoir de prendre toutes les précautions nécessaires à la protection des autres utilisateurs. Article 5 : Risques pour les personnes, les équipements et l'infrastructure. L'utilisation de gaz, d'acides, de solvant et de matériaux fait peser un risque pour les utilisateurs. Les équipements et les infrastructures (pollution) peuvent également être endommagées par le non respect des règles d'utilisation. C(PN)2 a été conçue suivant certains principes pour minimiser les risques.

105 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 6 de la charte Articles 6 : Habilitations Les utilisateurs de C(PN)2 sont préalablement informés des risques et formés aux règles de bonnes utilisation par le biais d'habilitations. Différentes catégories d'habilitations existent afin d'informer et de former les utilisateurs aux différentes usages et risques pour les personnes et les équipements. L'accès à la salle blanche est autorisé suite à une habilitation Salle Blanche (Niveau 1). L'utilisation des solvants des acides et des différents fluides spéciaux (Gaz, eau déionisée,...) est autorisée par une habilitation Chimie (niveau 2). L'habilitation aux équipements standard permet d'utiliser les équipements de base en caractérisation. L'utilisation des équipements spécifiques (Aligneurs de masques, machine de gravure, machines de dépôts, microscopes, équipements de caractérisation) est autorisée par une habilitation spécifique sur chaque équipements.

106 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 7 à 8 de la charte Article 7 : Accès aux locaux En signant la charte d'utilisation de C(PN)2, les habilités s'engagent à respecter scrupuleusement les règles d'hygiène et de sécurité exposés lors de la procédure d'habilitation. Les utilisateurs habilités ayant approuvés remplis et signés la présente charte d'utilisation se voient remettre un badge d'accès individuel. Chaque utilisateur s'engage à ne pas transmettre son badge ni à en faire profiter un autre utilisateur. Article 8 : Réservation Les utilisateurs doivent informer les responsables de leur souhaits d'accéder aux locaux (A. Fischer (3082), J. Solard(4036)), réservation sur GPU ( Un planning d utilisation sera régulièrement établi en fonction des demandes, des occupations pédagogiques ou des contraintes de partenariats industriels. En fonction des disponibilités l'accès pourra être refusé temporairement lorsque des contraintes de services et d'occupation de la salle l'exigent (utilisation pédagogique).

107 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 9 et 10 de la charte Article 9 : Horaires: L'accès aux locaux se fait dans la plage horaire autorisée et après réservation de la salle sur le système informatique de réservation de salle (GPU : Les plages horaires autorisées sont définies pour chaque catégories d'utilisateurs. Catégorie Niveau de badge horaire jours Etudiants, stage Niveau 4 9H30-12H30 et 14H-17h (*) en présence d'un enseignant obligatoire Lundi-Vendredi (hors vacances scolaires) Doctorants Niveau 3 9H00-18h Lundi Vendredi Enseignantschercheurs Niveau 2 8H00-20h Lundi Samedi Service Niveau h Lundi au dimanche Article 10 : Conditions générales d'utilisation La protection des utilisateurs et notamment des étudiants devant faire l'objet d'attention particulière de la part de tous, chaque utilisateurs s'engage à respecter les règles d'utilisation qui ont été présentés lors des habilitation. Tout manquement pourra être sanctionné par une suspension des droits d'accès temporaire ou définitive.

108 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Articles 9 et 10 de la charte Article 11 : Travaux et publications La Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord étant labellisée par le CNRS, elle publie annuellement un rapport qui recense les travaux qui y ont été réalisés. De ce fait, tout travaux utilisant les équipements de la CPN2 peuvent faire mention de l affiliation suivante : (b) Université Paris Sorbonne Cité, Centrale de Proximité en Nanotechnologies de Paris Nord. Université Paris 13, 99, Av. JB Clément, Villetaneuse, France Les chercheurs, enseignants-chercheurs des laboratoires qui utilisent des résultats obtenus dans la centrale de proximité, s'engagent suivant l'apport des ingénieurs ou des EC de C(PN)2 dans leurs résultats à les citer ou à les remercier dans l ensemble des présentations (publications, posters, ). Ils acceptent également de figurer dans les rapports d activité et les posters technologiques de la centrale C(PN)2. Le laboratoire ou le chercheur accueilli s engage à informer régulièrement la centrale C(PN)2 des résultats obtenus (liste de publication, brevet, )grâce aux travaux réalisés au sein de C(PN)2. Ils transmettent aux responsables (A. Fischer mailto:fischer@iutv.univ-paris13.fr) de la salle blanche une copie de ces publications et travaux. Article 12 : Participation aux frais fonctionnement de la salle blanche : Une partie des frais de fonctionnement est pris en charge par les utilisateurs. Les montants des participations de chaque catégorie d'utilisateurs (formations, chercheurs, partenaires extérieurs) sont définis par le comité de pilotage.

109 Charte d'utilisation de C(PN)2 1. Pour accéder à la salle blanche Etudiants/ personnels Inscription étudiants Demande d'accès Inscription formation de l'école Doctorale Habilitation théorique+pratique Habilitation théorique + pratique Signature de la charte Signature de la charte Accès à la salle blanche dans le cadre des TP et projets tuteurés accompagnés des enseignants Contribution financière (équipe + ANR) Activation du badge d'accès Accès à la salle blanche