T /pm (1) , ou nombre de molécules qui arrivent ou repartent d'une surface par unité de surface et de temps, s'exprime par (avec

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1 I. INTRODUCTION ET BUT DE LA ANIPULATION Les techniques d évaporation de substances chimiques sous vide, en vue de déposition de couches minces sur des substrats rigides, conduisent à de multiples applications: fabrication de filtres optiques interférentiels, de composants micro-électroniques, de cellules solaires photovoltaïques, etc. Il existe une grande variété des méthodes et techniques d'évaporation qui emploient des sources de chauffage simples ou sophistiquées telles que l'effet Joule, l'induction RF, les bombardements électronique, ionique ou photonique (laser), les ultrasons, etc. On se propose ici de se familiariser avec l'évaporation par effet Joule, avec quelques notions des techniques du vide, et finalement de fabriquer une cellule solaire. II. PHÉNOÉNOLOGIE 1. Évaporation par effet Joule Le processus se déroule dans un espace fermé où l on maintient un vide approprié. La méthode consiste à placer les substances à évaporer dans des nacelles métalliques ( o, W, Ta, etc.) qui, parcourues par un courant électrique fournissent par effet Joule, l énergie nécessaire à l évaporation. La plupart des matériaux ne présentent pas d'inconvénients à l'évaporation, par contre certains matériaux comme le Si,Al,Co,Fe et Ni sont hautement réactifs et nécessitent des creusets spéciaux. Au cas où des réactions chimiques seraient à craindre avec la nacelle, on peut éventuellement intercaler un creuset en céramique (p. ex. nitrure de bore) entre la nacelle à utiliser et le matériau à évaporer. Il existe des tables indiquant le type de nacelle à utiliser selon les matériaux à évaporer. Enfin il convient de s assurer qu aucune réaction chimique indésirable ne se produise entre le matériau évaporé et l atmosphère résiduelle.. Rappel théorique D'après la théorie cinétique des gaz et la loi de distribution des vitesses de axwell-boltzmann (théorie classique), la vitesse moyenne de déplacement des molécules de masse m dans un gaz porté à une température T est donnée par v = 8k B T /pm (1) et le flux moléculaire, ou nombre de molécules qui arrivent ou repartent d'une surface par unité de surface et de temps, s'exprime par (avec g la masse moléculaire et P g la pression en Torr) P Pg mk T T B g moléc. cm s ()

2 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K5- Le flux moléculaire et le libre parcours moyen l, défini comme étant la distance moyenne parcourue par une molécule entre deux chocs consécutifs, sont deux paramètres physiques importants dans la technologie de déposition de couches minces. Ces deux paramètres permettent de mieux comprendre le problème de la contamination des surfaces par les gaz résiduels et la perte d'énergie cinétique des molécules par les collisions multiples. La pression dans l espace d évaporation doit être assez basse pour que le libre parcours moyen l des atomes ou molécules évaporés soit supérieur ou égal à la distance h qui sépare le substrat de la nacelle. Le contrôle de la pression est important à fin d'éviter des collisions multiples entre les atomes N,H O,CO, etc.) et les atomes évaporés. En effet, la fraction et/ou molécules du milieu ambiant ( N d'atomes qui sont déviés de leur direction original dans une direction aléatoire après les collisions est N N h l 0 exp.1 Libre parcours moyen l. On peur définir l v où est le temps moyen entre deux collisions. Pour calculer l, on suppose toutes les molécules immobiles sauf une animée d'une vitesse relative moyenne v v (loi de distribution des vitesses de axwell-boltzmann). Cette molécule ne touche les autres que si leurs centres se trouvent à l'intérieur d'un cylindre de section 4 r dont son axe est le support de v où r est le rayon de la molécule (Fig. 1). rel rel r r V rel Fig. 1 Section efficace de collision = 4 r Si n est le nombre de molécules par unité de volume, on en déduit que le nombre total de chocs par second est donné par 1 v n v rel, d'où on obtient l 1 n. Une formule empirique donne l pour une atmosphère résiduelle d azote (résultats pratiquement valables pour l air) [ ] = P[ Torr] l cm. Perte d'énergie par collision élastique. Lors d'une collision élastique entre une particule incidente de masse immobile de masse j, l'énergie transmise E t est donnée par i et énergie (3) E i et une autre 4 i j Et Ei cos E cos ik i j (4)

3 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K5-3 où est l'angle de déviation. Par intégration sur toutes les directions de l'espace, on trouve que la valeur moyenne de l'énergie totale transmise est cos d Et Ei K K cos d 3 (5) Ceci implique que, si la pression dans l'enceinte n'est pas suffisamment basse, les molécules évaporées perdront rapidement leurs énergies initiales par de collisions multiples (thermalisation) avant même d'arriver sur le substrat, d'où une mauvaise adhérence..3 Vitesse de déposition et effets de géométrie. La vitesse de déposition des molécules (par unité de surface et de temps) sur un substrat dépende principalement de la masse et densité des molécules et de la géométrie du dispositif expérimental. Dans le cas d'une source d'émission ponctuelle et constante et d'un substrat plan situé a une distance r de la source, la vitesse de déposition dans une direction définie par l'angle obéi à la loi de Knudsen, c'est-à-dire qu'elle varie selon cos r. Dans un élément d'angle solide d il s'évapore une quantité m md 4 m et densité (voir Fig. ). L'épaisseur correspondant à du matériel de masse m est alors e m ds m d ds m r (6) a) b) ds r d h o x r Fig. a) Angle solide d d'évaporation. b) Évaporation sur un support plan situé à une distance h de la source. Si la déposition s'effectue sur une surface plane 1 cos direction d'évaporationalors ds ds, inclinée d'un angle par rapport à la e( ) m 4 cos r (7) On peut facilement montrer que la distribution spatiale de l'évaporation a un grand effet sur la homogénéité latérale de la couche déposée. L'équation (6) peut s'écrire comme suit (Fig. b) 3 e(x) m 4 h r m 4 h h x (8) 3

4 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K Conditions requises pour une bonne condensation 3.1 Contamination Le tableau 1 montre comparativement les divers paramètres physiques discutés ci-dessus. On peut 5 constater qu'à 10 Torr ou son équivalent en nombre de couches atomiques par second reste assez important. Ce qui veut dire que même à résiduels est loin d'être négligeable. Pression [Torr] l [cm] Collisions [s -1 ] 5 10 Torr la contamination des surfaces par les gaz Ø [cm - s -1 ] Nb de couches atomiques Tableau 1 Valeurs estimées pour l'air à température ambiante T a 3. État de surface à recouvrir Une bonne adhésion de couche mince nécessite une propreté irréprochable de la surface du substrat. Cette dernière s obtient progressivement comme suit: avec des dissolvants organiques a) nettoyage manuel b) nettoyage par ultrasons juste avant la déposition: c) dernières impuretés éloignées par chauffage sous vide d) éventuelles couches absorbées par effluvage, c est-à-dire par bombardement ionique dans une atmosphère inerte (gaz rare) ou active (oxygène) III. ONTAGE EXPÉRIENTAL L'équipement complet d'un dispositif d'évaporation est composé principalement: d'une enceinte à vide en verre ou en acier d'un groupe de pompage (pompes mécanique et à diffusion d'huile) d'une source d'évaporation, caches et des porte substrats des appareils de mesures de pression, température et épaisseur de la couche Dans ce TP, nous utiliserons un équipement BALZERS. L'enceinte à vide (cylindrique en acier) contient les nacelles, substrats, caches mobiles et sondes de pression. Elle comporte divers portes ou fenêtres qui permettent de communiquer avec l extérieur par des amenées étanches de courant électrique, une jonction avec le groupe de pompage et une porte frontale vitrée dont l ouverture permet d accéder aux nacelles.

5 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K5-5 Attention: avant de bloquer cette porte avec les poulets de serrage, il convient de la pousser contre la flasque de fermeture EN AINTENANT SON PLAN PARALLELE A LA FLASQUE (en agissant simultanément avec les deux mains). Le vide, l effluvage et le chauffage des creusets se font par l intermédiaire de deux tableaux de commandes, dont on prendra connaissance sur place. La manière de procéder est décrite dans le paragraphe évaporation sous vide affiché sur place et reproduit en annexe 1. Principales précautions à prendre: a) ne pas altérer la propreté ni des substrats, ni de l'enceinte y compris les creusets (si possible employez des gants en caoutchouc b) ne pas fondre les creusets Ces derniers, l un pour l or, l autre pour l argent (ne pas les mélanger), sont en tungstène qui fond à 3650 K, donc largement au-dessus des points de fusion de l argent (134 K ) et de l or (1336 K ). En principe, dès que l on voit apparaître la fusion en boule, soit de l argent, soit de l or (qui s évapore plus lentement que l argent), on cesse d augmenter le courant d alimentation des nacelles. IV. TRAVAUX A EFFECTUER 1) A l'aide des formules () et (3), déterminer les conditions idéales de travail compte tenu de la géométrie du dispositif expérimentale. ) Estimer l'inhomogénéité d'épaisseur en pourcentage ( ex e 0 ) due aux effets de géométrie pour x h 4. 3) Estimation de l'épaisseur de la couche déposée. En sachant que la masse m d'un matériel de densité s'évapore de façon isotrope et qu'elle forme une couche homogène d'épaisseur e a l'intérieure de la surface S e d'une demi sphère de rayon r, montrez que e m r En réalité la géométrie du creuset limite l'angle solide à conduit finalement à une épaisseur réduite e m r au lieu de, ce qui Calculez les masses d'ag et Au nécessaires pour déposer 00 Å d'épaisseur sachant que la distance d entre la source et le substrat est de 1 m. 4) Dessiner le schéma complet du dispositif expérimental. Expliquer le fonctionnement de la pompe à diffusion d'huile et des jauges de mesure de la pression. Évaporation des couches minces Les diagrammes de pression et de vapeur de l argent et de l or aident à comprendre ce qui se passe au sujet des pressions et des températures en causes (voir diagrammes sur place). 5) Réalisation d un miroir semi-transparent par déposition d une couche mince d argent d épaisseur e 8 10 m 0.0 m 00 A sur un substrat de verre (porte-objet pour microscope).

6 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K5-6 6) Réalisation d une cellule solaire élémentaire. ontez la plaquette de Si sur le porte substrat en forme de pince (le fixer par un coin). Après nettoyage ionique (effluvage), sur l une des faces de la plaquette de silicium amorphe a-si, évaporer une couche d Ag d environ 00 A. Sur l autre face, une couche analogue d Au. Placée entre les mâchoires d un contacteur ad-hoc relié à un microampèremètre, la cellule peut être testée en l éclairant avec une lampe usuelle (Fig. 3). Ce genre de cellule ne peut qu illustrer un principe de base. Industriellement, ces types de cellules sont faites de feuilles de silicium amorphe dopée, sur les faces desquelles on dépose des couches aptes à développer des jonctions respectivement négatives n et positives p. Actuellement, leur rendement théorique de 15 % ne dépasse en fait guère 7 %. Fig. 3 : Images du dispositif expérimental

7 EPFL-TRAVAUX PRATIQUES DE PHYSIQUE K5-7 ANNEXE 1 ÉVAPORATION SOUS VIDE ise en marche: Vanne sur 0. Enclencher la pompe à palettes. Attendre que la pression baisse à environ 10 Torr. Enclencher la pompe à diffusion. Vanne sur. Attendre environ 0 minutes. Vider l enceinte: Vanne sur 1. Pompage préliminaire sur l enceinte jusqu à environ 5 minutes). Vanne sur 3. Vider l enceinte avec la pompe à diffusion. 10 Torr (durée Effluvage: Évaporation: Arrêt: A la pression de 510 Torr, vanne sur 1, (environ 30 sur la microfuite) mettre: sélecteur de l unité ÉVAPORATION CONTROL sur GLOW. DIS. le potentiomètre sur 4. (durée environ 5 minutes) Ensuite, mettre le potentiomètre sur 0, le sélecteur sur OFF. 5 Abaisser la pression à 10 Torr. Sélecteur sur HEATER 1 : creuset du fond pour Ag. Agir sur les potentiomètres pour alimenter les creusets (NE PAS LES FAIRE FONDRE!) ême action pour HEATER : creuset avant pour Au. Potentiomètre sur 0, puis sélecteur sur OFF. Jauge sur V. ise à air de l'enceinte: Arrêt des pompes: Vanne sur 0, puis peser sur FLUT VENTIL (bouton blanc) pour laisser entrer l air dans l'enceinte. Laisser fonctionner la pompe à palettes durant au moins 0 minutes, après avoir déclenché la pompe à diffusion. Vanne sur 0 et arrêt de la pompe à palettes.