Nom : INSTITUT DES NANOTECHNOLOGIES DE LYON Sigle: INL. Bâtiment Blaise Pascal 7, avenue Jean Capelle VILLEURBANNE Cedex
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1 L PRESENTATION GENERALE INL Nom : INSTITUT DES NANOTECHNOLOGIES DE LYON Sigle: INL Organismes de rattachement : CNRS, INSA, ECL, UCBL, CPE Adresse : Bâtiment Blaise Pascal 7, avenue Jean Capelle VILLEURBANNE Cedex Site Web : Directeur du Centre de Compétences : Catherine BRU-CHEVALLIER Titre : Directeur de Recherche CNRS Tel : catherine.bru-chevallier@insa-lyon.fr EFFECTIF DU CENTRE DE COMPETENCES : 245 personnes Permanent Temporaire Chercheurs doctorants Enseignants Chercheurs 66 Ingénieurs 12 6 Techniciens 26 2 THEMES DE RECHERCHE : MATERIAUX FONCTIONNELS ELECTRONIQUE PHOTONIQUE ET PHOTOVOLTAÏQUE BIOTECHNOLOGIE ET SANTE ACTIVITE CONCERNANT LES PLASMAS FROIDS DEPOTS ET CARACTERISATION DE FILMS MINCES DIELECTRIQUES ET METALLIQUES POUR L ELECTRONIQUE ET L OPTIQUE GRAVURE IONIQUE REACTIVE MULTI-MATERIAUX ET CARACTERISATIONS ASSOCIEES TRAITEMENT DE SURFACE Effectif : 10 personnes Contact : Jean-Louis LECLERCQ Tel : jean-louis.leclercq@ec-lyon.fr
2 PLASMAS FROIDS : Typologie et Applications du Centre de Compétences Recherche Académique Recherche Appliquée Centre Technique Industriel du Process Traitements et Revêtements de Surface Microtechnologies Microélectronique Plastiques Textiles Sources lumineuses Détoxication Stérilisation Autres
3 TECHNIQUES MAÎTRISEES GRAVURE IONIQUE REACTIVE MULTI-MATERIAUX Contact : Pierre CREMILIEU Tel : pierre.cremillieu@ec-lyon.fr Site UCB : Contact : Patrick PITTET Tel : patrick.pittet@univ-lyon1.fr Site INSA : Contact : Khaled AYADI Tel : khaled.ayadi@insa-lyon.fr ACTIVATION DE SURFACE Contact : Pierre CREMILIEU Tel : pierre.cremillieu@ec-lyon.fr Site UCB : Contact : Patrick PITTET Tel : patrick.pittet@univ-lyon1.fr
4 TECHNIQUES MAÎTRISEES (SUITE) DEPOT DE FILMS MINCES DIELECTRIQUES ET METALLIQUES Contact : Pierre CREMILIEU Tel : pierre.cremillieu@ec-lyon.fr Contact : Philippe REGRENY Tel : philippe.regreny@ec-lyon.fr Site UCB : Contact : Nicolas TERRIER Tel : nicolas.terrier@univ-lyon1.fr Site INSA : Contact : Khaled AYADI Tel : khaled.ayadi@insa-lyon.fr Contact : Joelle GREGOIRE Tel : joelle.gregoire@insa-lyon.fr CONTROLE OPTIQUE IN SITU DES DEPOTS DE FILMS PAR CVD PLASMA Contact : Brice DEVIF Tel : brice.devif@ec-lyon.fr Contact : Philippe REGRENY Tel : philippe.regreny@ec-lyon.fr
5 TECHNIQUES MAÎTRISEES (SUITE ET FIN) CARACTERISATION OPTIQUE DES FILMS MINCES Contact : Brice DEVIF Tel : brice.devif@ec-lyon.fr CARACTERISATION DE SURFACE Contact : David ALBERTINI Tel : david.albertini@insa-lyon.fr
6 EQUIPEMENTS Utilisation envisageable pour a - Test b - Prototypage c - Présérie d - Application industrielle PROCEDES PLASMA DEPOT CVD PLASMA ECR PRECURSEURS GAZEUX 2 cm DEPOT CVD PLASMA ECR PRECURSEURS LIQUIDES 5 cm DEPOT PECVD PRECURSEURS GAZEUX 11 cm PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE 11 cm GRAVURE IONIQUE REACTIVE 11 cm NETTOYAGE/ACTIVATION/DELACAGE 11 cm CARACTERISATION Type de caractérisation : 1 Optique 2 Métallurgique 3 Chimique 4 Mécanique 5 Physique 6 Electrique ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE 1 ELLIPSOMETRIE IN SITU 1 SPECTRO-REFLECTOMETRE 1 ANALYSE XPS 3 MESURE DES CONTRAINTES MECANIQUES 4 DIFFRACTION X MICROSCOPIE A FORCE ATOMIQUE MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE CATHODOLUMLINESCENCE* PROFILOMETRIE (mécanique et optique)
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8 Technologies Processus x Propriétés d emploi Applications Secteurs Industriels DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTE PAR PLASMA (PECVD) Dépôt / Gravure Dépôt SiO SiN TiO a-si Substrat Tous substrats Optique Electronique Microtechnolo gies PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE GRAVURE IONIQUE REACTIVE Dépôt Cibles Si/ITO/Al/ Ni/Pt/Cr/B/ PZT/STO/ BTO/Ta/A u/ti Gaz Ar/O2/N2/ Ar-H2 Gravure CH4/H2/Ar O2 SF6/CHF3 Cl2 Tous substrats Tous substrats Optique Electronique Microtechnolo gies Optique Electronique Microtechnolo gies Prestations ou missions envisageables : Veille technologique Expertise / Conseils Etude et mise au point de procédés et matériaux Aide à l innovation Thèse cofinancée Assistance technique Formation Caractérisation Partenariat avec l entreprise Contrat européen MAJ 06/2012
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